石英管加热器制造技术

本实用新型专利技术涉及一种石英管加热器，其包括一长筒形石英管以及置于石英管内的至少一电热丝，所述石英管管口内塞有一隔热棉，所述石英管管口外还设有用于密封的一金属件，所述金属件盖设于石英管管口外，所述电热丝的一端固定在金属件上，所述电热丝的另一端悬置于石英管内，所述金属件包括一主体、凸出于主体的一提手以及设置于主体侧壁上的若干卡扣。本实用新型专利技术提出一种石英管加热器，其在现有技术的结构上进行了改进，其结构合理，加热效率高，而且具备循环水冷却降温功能，更加适用于半导体晶体材料的制备。

【技术实现步骤摘要】
石英管加热器
本技术涉及半导体材料制备领域，尤其涉及半导体晶体生长所用的一种石英管加热器。
技术介绍
现有的半导体晶体生长所用的加热器，热利用效率低，且隔热效果不好，热量都无效的散发，对加热器的零部件以及与之配合的其他零部件的耐高温性能提出了很高的挑战。因此，有必要设计一种新的加热器以解决上述技术问题。
技术实现思路
本技术的目的在于克服上述技术问题，提出一种热利用效率高、结构合理的石英管加热器。为实现前述目的，本技术采用如下技术方案：一种石英管加热器，其包括一长筒形石英管以及置于石英管内的至少一电热丝，所述石英管管口内塞有一隔热棉，所述石英管管口外还设有用于密封的一金属件，所述金属件盖设于石英管管口外，所述电热丝的一端固定在金属件上，所述电热丝的另一端悬置于石英管内，所述金属件包括一主体、凸出于主体的一提手以及设置于主体侧壁上的若干卡扣。作为本技术的进一步改进，所述金属件与石英管结合处形成一卡槽。作为本技术的进一步改进，所述金属件上开设有若干出线孔。作为本技术的进一步改进，所述金属件内开设有一冷却水槽。本技术提出一种石英管加热器，其在现有技术的结构上进行了改进，其结构合理，加热效率高，而且本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种石英管加热器，其特征在于：其包括一长筒形石英管以及置于石英管内的至少一电热丝，所述石英管管口内塞有一隔热棉，所述石英管管口外还设有用于密封的一金属件，所述金属件盖设于石英管管口外，所述电热丝的一端固定在金属件上，所述电热丝的另一端悬置于石英管内，所述金属件包括一主体、凸出于主体的一提手以及设置于主体侧壁上的若干卡扣。

【技术特征摘要】
1.一种石英管加热器，其特征在于：其包括一长筒形石英管以及置于石英管内的至少一电热丝，所述石英管管口内塞有一隔热棉，所述石英管管口外还设有用于密封的一金属件，所述金属件盖设于石英管管口外，所述电热丝的一端固定在金属件上，所述电热丝的另一端悬置于石英管内，所述金属件包括一主体、凸出于主体...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗爱斌，周铁军，宾启雄，陈章水，易明辉，李勇，吴远高，刘留，
申请(专利权)人：广东先导先进材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44