【技术实现步骤摘要】
图像处理装置、图像处理方法和存储介质
本公开的示例性实施例涉及一种图像处理装置、方法和存储介质，该图像处理装置用于获取并处理被检体的图像，诸如用于获取具有光泽表面的被检体的图像并且光学评估被检体的光学评估装置。
技术介绍
作为用于检测存在于作为光泽被检体的工件的表面上的缺陷的技术，已知如下技术，其中，使用用于以周期性条纹图案发光的光源向工件照射光，并且通过照相机对由工件反射的光进行摄像。在日本特开2014-002125号公报中描述的检查方法中，用具有周期性变化的辉度的光来照射工件，计算摄像的反射光图像的这种辉度变化的振幅及其平均值等，并且根据这些值检测工件的缺陷。在日本特开2000-018932号公报中描述的检查方法中，通过转变照明工件的光的明暗图案来对多个图像进行摄像，计算各个像素中的评估量(诸如最大值或最小值)，在像素之间比较评估量，由此检查微小缺陷。
技术实现思路
根据本公开的实施例的图像处理装置包括：照明单元，其被构造为，使用如下构件将条纹光投影到被检体上，在所述构件中，在第二方向上以周期P间隔布置有不透射至少一部分入射光的多个非透射部，其中，各个非透射部在第...
【技术保护点】
1.一种图像处理装置，所述图像处理装置包括：照明单元，其被构造为，使用如下构件将条纹光投影到被检体上，在所述构件中，在第二方向上以周期P间隔布置有不透射至少一部分入射光的多个非透射部，其中，各个非透射部在第二方向上的长度短于该非透射部在与第二方向交叉的第一方向上的长度；摄像单元，其被构造为，对由照明单元投影了条纹光的所述被检体的图像进行摄像；图像处理单元，其被构造为，对由摄像单元摄像的N个图像进行处理，以生成包括与所述被检体的表面有关的信息的处理图像；以及驱动单元，其被构造为，使所述构件和所述被检体在第二方向上相对移位，其中，所述摄像单元被设置成通过所述构件对所述被检体进行...
【技术特征摘要】
2017.06.14 JP 2017-1167811.一种图像处理装置，所述图像处理装置包括：照明单元，其被构造为，使用如下构件将条纹光投影到被检体上，在所述构件中，在第二方向上以周期P间隔布置有不透射至少一部分入射光的多个非透射部，其中，各个非透射部在第二方向上的长度短于该非透射部在与第二方向交叉的第一方向上的长度；摄像单元，其被构造为，对由照明单元投影了条纹光的所述被检体的图像进行摄像；图像处理单元，其被构造为，对由摄像单元摄像的N个图像进行处理，以生成包括与所述被检体的表面有关的信息的处理图像；以及驱动单元，其被构造为，使所述构件和所述被检体在第二方向上相对移位，其中，所述摄像单元被设置成通过所述构件对所述被检体进行摄像，并且其中，每当通过所述驱动单元将所述构件和所述被检体在第二方向上相对移位彼此不同的、除周期P的整数倍之外的变化量ΔXi时，所述摄像单元进行摄像，并且获取N个图像，其中i＝1，2，...N。2.根据权利要求1所述的图像处理装置，其中，所述图像处理单元使用与相位偏移4πΔXi/P弧度的频率分量的强度变化有关的信息，根据所述N个图像生成处理图像。3.根据权利要求2所述的图像处理装置，其中，所述图像处理单元从与强度变化有关的信息中获取所述频率分量的振幅、相位和相位差中的至少一者，并且生成振幅图像、相位图像和相位差图像中的至少一者作为处理图像。4.根据权利要求1所述的图像处理装置，其中，所述摄像单元的焦点位置被设置为距所述被检体的表面的距离在±D/2以内的位置，其中，D是所述被检体的表面与所述构件之间的距离。5.根据权利要求4所述的图像处理装置，其中，所述摄像单元包括非远心光学系统。6.根据权利要求1所述的图像处理装置，其中，所述摄像单元的物侧数值孔径NA和所述被检体与所述构件之间的距离D满足以下表达式：D×tan(asin(NA))/P≥0.35。7.根据权利要求1所述的图像处理装置，其中，非透射部的宽度与所述周期P的比为大于或等于33％、且小于或等于67％。8.根据权利要求1所述的图像处理装置，其中，所述摄像单元包括物侧远心光学系统。9.根据权利要求1所述的图像处理装置，其中，所述照明单元包括所述构件和设置在所述构件周围的区域中的光源。10.根据权利要求1所述的图像处理装置，其中，所述照明单元包括所述构件、半反射镜和光源，并且其中，从所...
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。