用于使用局部自适应阈值识别制造组件缺陷的系统、方法及计算机程序产品技术方案

本发明专利技术提供一种用于使用局部自适应阈值识别制造组件缺陷的系统、方法及计算机程序产品。在使用时，针对制造装置的目标及参考组件接收图像。另外，从所述目标及参考组件图像产生差异图像，且从所述差异图像识别所述目标组件的缺陷候选。此外，针对所述差异图像中的位置处的所述经识别缺陷候选中的每一者：基于所述缺陷候选的所述位置周围的局部区域确定阈值，且比较所述缺陷候选的所述位置处的信号与所述阈值以确定所述缺陷候选是否为缺陷。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于使用局部自适应阈值识别制造组件缺陷的系统、方法及计算机程序产品相关申请案本申请案主张2016年3月17日申请的第62/309,613号美国临时专利申请案的权益，所述美国专利申请案的全部内容以引用的方式并入本文中。
本专利技术涉及制造组件的检验，且更特定来说涉及检测制造组件中的缺陷。
技术介绍
缺陷检验在用于集成电路(IC)制造的半导体晶片处理的良率管理中起关键作用。对于其它制造组件，情况可同样如此。识别是否存在缺陷是基于从光学系统获得的晶片图像。当前，可通过比较制造装置的目标组件(例如，目标裸片的部分)与所述制造装置的参考组件(例如，其它参考裸片的对应部分)而检测制造组件(例如，晶片)中的缺陷，这是因为晶片常常经配置而至少在同一附近(inasamevicinity)具有重复裸片(即，跨裸片具有重复图案)。举例来说，所述参考裸片可能邻近于或以其它方式最接近目标裸片。一般来说，检验系统通过针对比较目的取得目标及参考组件的图像而完成此。举例来说，激光扫描仪将跨多个裸片扫描晶片的线以收集那条线的图像。接着，检验系统将取得目标及参考裸片中的每一者的对应部分的一块图像。接着，通过使用图像执行两个单独比较以产生两个单独结果而检测缺陷，一个比较是在目标组件与参考组件中的一者之间，且另一比较是在目标组件与参考组件中的另一者之间。通常使用组合那些比较结果的值作为目标组件中的缺陷的信号。此往往称为双重检测。然而，不幸地，目标及参考组件图像包含来自系统及过程的显著噪声。此噪声问题是限制检验系统的灵敏度的主要问题之一。因此，提取噪声统计资料对于检验算法是至关重要的。现有检验算法跨整个区(关照区域群组)收集噪声统计资料。然而，随着设计规则的缩小，在逻辑区中采用越来越多的检验工具。通常，逻辑区在设计图案方面如此复杂，使得整个区的统计资料对于具有可能缺陷的特定局部区域不具足够代表性。此将限制检验算法灵敏度。因此，需要解决与用于制造组件中的缺陷检测的现有技术相关联的这些及/或其它问题。
技术实现思路
提供一种用于使用局部自适应阈值识别制造组件缺陷的系统、方法及计算机程序产品。在使用时，接收制造装置的目标组件的第一图像，针对所述目标组件接收所述制造装置的第一参考组件的第二图像，且针对所述目标组件接收所述制造装置的第二参考组件的第三图像。另外，基于所述第一图像与所述第二图像的第一比较产生第一差异图像，所述第一差异图像指示所述第一图像与所述第二图像之间的差异，基于所述第一图像与所述第三图像的第二比较产生第二差异图像，所述第二差异图像指示所述第一图像与所述第三图像之间的差异，且基于所述第一差异图像及所述第二差异图像产生第三差异图像，所述第三差异图像指示所述目标组件的缺陷信号。从所述第三差异图像识别出缺陷候选。此外，针对所述第三差异图像中的位置处的经识别缺陷候选中的每一者：基于所述缺陷候选的所述位置周围的局部区域确定阈值；且比较所述缺陷候选的所述位置处的信号与所述阈值以确定所述缺陷候选是否为缺陷。附图说明图1A展示说明包含可在计算机系统上执行以执行本文中描述的计算机实施方法的一或多者的程序指令的非暂时性计算机可读媒体的一个实施例的框图。图1B是说明经配置以检测制造装置上的缺陷的检验系统的一个实施例的侧视图的示意图。图2说明根据实施例的用于使用局部自适应阈值识别制造组件缺陷的方法。图3说明根据实施例的用于从由检验系统的单个通道收集的信息确定局部自适应阈值的方法。图4说明根据实施例的用于从由检验系统的多个通道收集的信息确定局部自适应阈值的方法。图5说明根据实施例的用于配置用于识别制造组件缺陷的设置的用户接口。具体实施方式以下描述揭示经提供用于使用局部自适应阈值识别制造组件缺陷的系统、方法及计算机程序产品。应注意，可在任何集成及/或单独计算机及检验系统(例如，晶片检验、主光罩检验、激光扫描检验系统等)(例如下文关于图1A到B描述的检验系统)的上下文中实施此系统、方法及计算机程序产品，包含下文描述的各种实施例。额外实施例涉及一种非暂时性计算机可读媒体，其存储可在计算机系统上执行以执行用于使用局部自适应阈值识别制造组件缺陷的计算机实施方法的程序指令。图1A中展示一个此实施例。特定来说，如图1A中展示，计算机可读媒体100包含可在计算机系统104上执行的程序指令102。计算机实施方法包含下文关于图2描述的方法的步骤。其程序指令可执行的计算机实施方法可包含本文中描述的任何其它操作。实施例如本文中描述的方法的方法的程序指令102可存储于计算机可读媒体100上。计算机可读媒体可为存储媒体，例如磁盘或光盘、或磁带，或所属领域中已知的任何其它适合非暂时性计算机可读媒体。作为选项，计算机可读媒体100可定位于计算机系统104内。程序指令可以各种方式中的任何者实施，所述方式包含基于程序的技术、基于组件的技术及/或面向对象技术等。举例来说，可视需要使用ActiveX控件、C++对象、JavaBeans、微软基础类别(“MFC”)或其它技术或方法论来实施程序指令。计算机系统104可采取各种形式，包含个人计算机系统、图像计算机、主计算机系统、工作站、网络设备、因特网设备或其它装置。一般来说，术语“计算机系统”可广泛定义为涵盖具有执行来自存储器媒体的指令的一或多个处理器的任何装置。计算机系统104还可包含所属领域中已知的任何适合处理器，例如并行处理器。另外，计算机系统104可包含具有高速处理及软件的计算机平台，其作为独立工具或网络工具。额外实施例涉及一种经配置以检测制造装置上的缺陷的系统。图1B中展示此系统的一个实施例。系统包含经配置以针对制造于晶片(或另一装置)上的组件产生输出的检验系统105，其在此实施例中如本文中进一步描述那样配置。系统还包含经配置以执行下文关于图2描述的操作的一或多个计算机系统。一或多个计算机系统可经配置以执行根据本文中描述的实施例中的任何者的这些操作。计算机系统及系统可经配置以执行本文中描述的任何其它操作且可如本文中描述那样进一步配置。在图1B中展示的实施例中，计算机系统中的一者是电子自动化设计(EAD)工具的部分，且检验系统及计算机系统的另一者并非EAD工具的部分。这些计算机系统可包含例如上文关于图1A描述的计算机系统104。举例来说，如图1B中展示，计算机系统中的一者可为包含于EAD工具106中的计算机系统108。EAD工具106及包含于此工具中的计算机系统108可包含任何市售EAD工具。检验系统105可经配置以通过用光扫描晶片且在扫描期间检测来自所述晶片的光而针对制造于所述晶片上的组件产生输出。举例来说，如图1B中展示，检验系统105包含光源120，其可包含所属领域中已知的任何适合光源。可将来自光源的光引导到光束分离器118，光束分离器118可经配置以将来自光源的光引导到晶片122。光源120可耦合到任何其它适合元件(未展示)，例如一或多个聚光透镜、准直透镜、中继透镜、物镜、光圈、光谱滤光片、偏光组件及类似物。如图1B中展示，光可以法向入射角引导到晶片122。然而，光可以包含接近法向及倾斜入射的任何适合入射角引导到晶片122。另外，光或多个光束可以一个以上入射角循序或同时引导到晶片122。检验系统105可经配置以按任何适合方式用光在晶片本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种非暂时性计算机可读媒体，其存储具有可由处理器执行以执行方法的代码的计算机程序产品，所述方法包括：接收制造装置的目标组件的第一图像，针对所述目标组件接收所述制造装置的第一参考组件的第二图像，且针对所述目标组件接收所述制造装置的第二参考组件的第三图像；基于所述第一图像与所述第二图像的第一比较产生第一差异图像，所述第一差异图像指示所述第一图像与所述第二图像之间的差异；基于所述第一图像与所述第三图像的第二比较产生第二差异图像，所述第二差异图像指示所述第一图像与所述第三图像之间的差异；基于所述第一差异图像及所述第二差异图像产生第三差异图像，所述第三差异图像指示所述目标组件的缺陷信号；从所述第三差异图像识别缺陷候选；针对所述第三差异图像中的位置处的所述经识别缺陷候选中的每一者：基于所述缺陷候选的所述位置周围的局部区域确定阈值，比较所述缺陷候选的所述位置处的信号与所述阈值以确定所述缺陷候选是否为缺陷。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.03.17 US 62/309,613;2016.07.27 US 15/221,5421.一种非暂时性计算机可读媒体，其存储具有可由处理器执行以执行方法的代码的计算机程序产品，所述方法包括：接收制造装置的目标组件的第一图像，针对所述目标组件接收所述制造装置的第一参考组件的第二图像，且针对所述目标组件接收所述制造装置的第二参考组件的第三图像；基于所述第一图像与所述第二图像的第一比较产生第一差异图像，所述第一差异图像指示所述第一图像与所述第二图像之间的差异；基于所述第一图像与所述第三图像的第二比较产生第二差异图像，所述第二差异图像指示所述第一图像与所述第三图像之间的差异；基于所述第一差异图像及所述第二差异图像产生第三差异图像，所述第三差异图像指示所述目标组件的缺陷信号；从所述第三差异图像识别缺陷候选；针对所述第三差异图像中的位置处的所述经识别缺陷候选中的每一者：基于所述缺陷候选的所述位置周围的局部区域确定阈值，比较所述缺陷候选的所述位置处的信号与所述阈值以确定所述缺陷候选是否为缺陷。2.根据权利要求1所述的非暂时性计算机可读媒体，其中所述制造装置是具有重复裸片的晶片。3.根据权利要求2所述的非暂时性计算机可读媒体，其中所述目标组件是所述裸片中的第一者的部分，且所述第一及第二参考组件分别为所述裸片中的第二者及第三者的对应部分。4.根据权利要求1所述的非暂时性计算机可读媒体，其中从检验系统接收所述第一、第二及第三图像。5.根据权利要求1所述的非暂时性计算机可读媒体，其中将具有至少一预定义最小信号电平的所述第三图像中的全部位置确定为缺陷候选。6.根据权利要求5所述的非暂时性计算机可读媒体，其中由用户预定义所述最小信号电平。7.根据权利要求5所述的非暂时性计算机可读媒体，其中所述最小信号电平预定义为默认值。8.根据权利要求1所述的非暂时性计算机可读媒体，其中使用预定义窗大小来确定所述局部区域。9.根据权利要求8所述的非暂时性计算机可读媒体，其中所述局部区域以所述缺陷候选为中心。10.根据权利要求8所述的非暂时性计算机可读媒体，其中所述预定义窗大小可由用户配置。11.根据权利要求1所述的非暂时性计算机可读媒体，其中所述局部区域排除所述缺陷候选。12.根据权利要求11所述的非暂时性计算机可读媒体，其中所述局部区域围绕以所述缺陷候选为中心的信号方块。13.根据权利要求12所述的非暂时性计算机可读媒体，其中所述信号方块的大小是用户可配置的。14.根据权利要求1所述的非暂时性计算机可读媒体，其中所述阈值是依据针对所述缺陷候选的所述位置周围的所述局部区域确定的噪声统计资料而确定。15.根据权利要求14所述的非暂时性计算机可读媒体，其中所述噪声统计资料是依据对应于所述局部区域中的每一位置的强度范围而确定，从所述第一、第二及第三图像中的每一对应位置...

【专利技术属性】
技术研发人员：黃彤，姜旭光，永·张，
申请(专利权)人：科磊股份有限公司，
类型：发明
国别省市：美国,US