距离传感器和距离传感器的驱动方法技术

本发明专利技术涉及一种距离传感器，其向蓄积节点注入等量的电流，并且基于各个蓄积节点的电荷量的差分信息求取至对象物的距离，其中，蓄积节点与光敏区域的电荷因第一和第二传送电极(11，12)的驱动而分开的电荷收集区域(9b，9c)分别结合，该距离传感器通过向各个蓄积节点注入等量的电流而避免各蓄积节点的起因于干扰光的饱和，另一方面，由于按分别表示电极驱动图案的多个帧使第一和第二传送电极(11，12)驱动而不易受到电流注入的影响，获得各个蓄积节点的电荷量的差分信息。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】距离传感器和距离传感器的驱动方法
本专利技术涉及距离传感器和距离传感器的驱动方法。
技术介绍
已知有基于从光源射出脉冲光的定时与来自对象物的反射光到达的定时的时间差来测量至对象物的距离的飞行时间(TOF：Time-of-Flight)法。例如，在下述的专利文献1中记载有基于TOF法的距离传感器。该专利文献1中记载的距离传感器包括电荷分开型的结构，将在照射脉冲状的光之后的第一期间产生的电荷和在第一期间后的第二期间产生的电荷蓄积在与不同的电荷收集区域分别结合的蓄积节点。然后，基于蓄积在这些蓄积节点的电荷量的比，计算至对象物的距离。此外，在非专利文献1中，记载有照射三角波状的光，基于照射光及其反射光的相位差测量至对象物的距离的方法。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2011-133464号公报非专利文献非专利文献1：DavidStoppaetal.,Introductionto3DTime-of-FlightImageSensors,EuropeanSolid-StateCircuitsConference(ESSCIRC),EuropeanSolid-StateDeviceConf本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种距离传感器，其特征在于，是向对象物照射光并通过检测来自所述对象物的反射光来测量至所述对象物的距离的距离传感器，包括：向所述对象物反复照射脉冲状的所述光的光照射部；半导体基板，其具有产生与所述反射光的光量相应的电荷的光敏区域；和分别以与所述光敏区域相隔规定距离的状态配置并收集来自所述光敏区域的电荷的第一和第二电荷收集区域；第一传送电极，其配置在所述光敏区域与所述第一电荷收集区域之间的区域上，能够设定为能够从所述光敏区域向所述第一电荷收集区域进行电荷传送的导通电位或使该电荷传送停止的断开电位；第二传送电极，其配置在所述光敏区域与所述第二电荷收集区域之间的区域上，能够设定为能够从所述光敏区域...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.05.02 JP 2016-0926601.一种距离传感器，其特征在于，是向对象物照射光并通过检测来自所述对象物的反射光来测量至所述对象物的距离的距离传感器，包括：向所述对象物反复照射脉冲状的所述光的光照射部；半导体基板，其具有产生与所述反射光的光量相应的电荷的光敏区域；和分别以与所述光敏区域相隔规定距离的状态配置并收集来自所述光敏区域的电荷的第一和第二电荷收集区域；第一传送电极，其配置在所述光敏区域与所述第一电荷收集区域之间的区域上，能够设定为能够从所述光敏区域向所述第一电荷收集区域进行电荷传送的导通电位或使该电荷传送停止的断开电位；第二传送电极，其配置在所述光敏区域与所述第二电荷收集区域之间的区域上，能够设定为能够从所述光敏区域向所述第二电荷收集区域进行电荷传送的导通电位或使该电荷传送停止的断开电位；和驱动部，其通过依次执行分别构成用于驱动所述第一和第二传送电极的电极驱动图案并且按等间隔的时刻t0、t1、……、t9定义的多个帧，驱动所述第一和第二传送电极，所述光照射部在所述多个帧分别在时刻t1～t3之间照射所述光，所述驱动部，在所述多个帧中的第1帧将所述第一传送电极在时刻t0～t2和t4～t6之间设定为导通电位，而将所述第二传送电极在时刻t2～t4和t6～t8之间设定为导通电位，在不同于所述第1帧的第2帧，将所述第一传送电极在时刻t1～t3和t5～t7之间设定为导通电位，而将所述第二传送电极在时刻t3～t5和t7～t9之间设定为导通电位。2.一种距离传感器，其特征在于，是向对象物照射光并通过检测来自所述对象物的反射光来测量至所述对象物的距离的距离传感器，包括：向所述对象物反复照射脉冲状的所述光的光照射部；半导体基板，其具有产生与所述反射光的光量相应的电荷的光敏区域；和分别以与所述光敏区域相隔规定距离的状态配置并收集来自所述光敏区域的电荷的第一和第二电荷收集区域；第一传送电极，其配置在所述光敏区域与所述第一电荷收集区域之间的区域上，能够设定为能够从所述光敏区域向所述第一电荷收集区域进行电荷传送的导通电位或使该电荷传送停止的断开电位；第二传送电极，其配置在所述光敏区域与所述第二电荷收集区域之间的区域上，能够设定为能够从所述光敏区域向所述第二电荷收集区域进行电荷传送的导通电位或使该电荷传送停止的断开电位；和驱动部，其通过依次执行分别构成用于驱动所述第一和第二传送电极的电极驱动图案并且按等间隔的时刻t0、t1、……、t8定义的多个帧，驱动所述第一和第二传送电极，所述光照射部在所述多个帧分别在时刻t1～t3之间照射所述光，所述驱动部，在所述多个帧中的第1帧将所述第一传送电极在时刻t0～t1和t4～t5之间设定为导通电位，而将所述第二传送电极在时刻t2～t3和t6～t7之间设定为导通电位，在不同于所述第1帧的第2帧，将所述第一传送电极在时刻t1～t2和t5～t6之间设定为导通电位，而将所述第二传送电极在时刻t3～t4和t7～t8之间设定为导通电位。3.一种距离传感器，其特征在于，是向对象物照射光并通过检测来自所述对象物的反射光来测量至所述对象物的距离的距离传感器，包括：向所述对象物反复照射脉冲状的所述光的光照射部；半导体基板，其具有产生与所述反射光的光量相应的电荷的光敏区域；和分别以与所述光敏区域相隔规定距离的状态配置并收集来自所述光敏区域的电荷的第一～第四电荷收集区域；第一传送电极，其配置在所述光敏区域与所述第一电荷收集区域之间的区域上，能够设定为能够从所述光敏区域向所述第一电荷收集区域进行电荷传送的导通电位或使该电荷传送停止的断开电位；第二传送电极，其配置在所述光敏区域与所述第二电荷收集区域之间的区域上，能够设定为能够从所述光敏区域向所述第二电荷收集区域进行电荷传送的导通电位或使该电荷传送停止的断开电位；第三传送电极，其配置在所述光敏区域与所述第三电荷收集区域之间的区域上，能够设定为能够从所述光敏区域向所述第三电荷收集区域进行电荷传送的导通电位或使该电荷传送停止的断开电位；第四传送电极，其配置在所述光敏区域与所述第四电荷收集区域之间的区域上，能够设定为能够从所述光敏区域向所述第四电荷收集区域进行电荷传送的导通电位或使该电荷传送停止的断开电位；和驱动部，其通过依次执行分别构成用于驱动所述第一～第四传送电极的电极驱动图案并且按等间隔的时刻t0、t1、……、t8定义的多个帧，驱动所述第一～第四传送电极，所述光照射部在所述多个帧分别在时刻t1～t3之间照射所述光，所述驱动部在所述多个帧分别按如下方式设定：将所述第一传送电极在时刻t0～t1和t4～t5之间设定为导通电位，将所述第二传送电极在时刻t1～t2和t5～t6之间设定为导通电位，将所述第三传送电极在时刻t2～t3和t6～t7之间设定为导通电位，将所述第四传送电极在时刻t3～t4和t7～t8之间设定为导通电位。4.如权利要求1～3中的任一项所述的距离传感器，其特征在于：所述半导体基板还具有以与所述光敏区域相隔规定距离的状态配置并收集来自所述光敏区域的电荷的第五电荷收集区域，该距离传感器还包括配置在所述光敏区域与所述第五电荷收集区域之间的区域上的第五传送电极，所述驱动部将所述第五传送电极除其它传送...

【专利技术属性】
技术研发人员：岛田明洋，间瀬光人，平光纯，铃木高志，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP