【技术实现步骤摘要】
一种统计过程的控制方法和系统
本专利技术涉及一种统计过程控制方法和系统，特别涉及一种适用于早期异常监测的过程控制方法和系统。
技术介绍
统计过程控制(StatisticalProcessControl)作为质量控制中的一项重要方法，现已被广泛应用于半导体制造领域。统计过程控制是一种应用统计学技术对过程中的各个阶段进行评估和监控，建立并保持过程处于可接受的稳定水平，从而保证产品与服务符合规定的要求的技术。同样地，统计过程控制图就是对过程质量特性值进行测定、记录、评估，从而监测过程是否处于控制状态的一种统计图表。其最大特点在于，将过程由静态控制转变为实时的动态跟踪控制，在其上可以很方便地了解过去、分析现状与预测未来的质量状况，是一种可以在现场直接研究质量特性数据随时间变化的统计规律的动态方法。如图1，传统控制图上有中心线(centralline,CL)、上控制限(uppercontrollimit,UCL)和下控制限(lowercontrollimit,LCL)，再按照时间顺序对抽取的样本统计量描点。若控制图中的样本点落在UCL与LCL之外或样本点在UCL与LCL之间...
【技术保护点】
1.一种统计过程的控制方法，适用于对连续样本数据进行早期异常监测，其特征在于，首先收集样本数据，对收集的样本数据正态化处理，当样本量大于2且未达到30时，统计过程的控制图为双重控制限，计算所述样本数据的双控制限，根据计算所得的双控制限，判断接下来收集的样本数据是受控数据还是失控数据；若新收集的连续样本数据为受控数据，则根据双控制限公式计算得到新的受控数据的双控制限；若新收集的连续样本数据为失控数据，需要及时采取措施进行改善；当样本量到达30个时，统计过程的控制图为单控制限。
【技术特征摘要】
1.一种统计过程的控制方法，适用于对连续样本数据进行早期异常监测，其特征在于，首先收集样本数据，对收集的样本数据正态化处理，当样本量大于2且未达到30时，统计过程的控制图为双重控制限，计算所述样本数据的双控制限，根据计算所得的双控制限，判断接下来收集的样本数据是受控数据还是失控数据；若新收集的连续样本数据为受控数据，则根据双控制限公式计算得到新的受控数据的双控制限；若新收集的连续样本数据为失控数据，需要及时采取措施进行改善；当样本量到达30个时，统计过程的控制图为单控制限。2.如权利要求1所述的一种统计过程的控制方法，其特征在于，所述单控制限为外控制限，分别为外控制上限OUCL，外控制下限OLCL；所述双重控制限是在外控制限内部增加了一个内控制限，分别为内控制上限IUCL,内控制下限ILCL；其中，所述内控制限上、下控制限与外控制限相应的上、下控制限之间的区域构成了一个待定区域，所述内控制限之间的区域为正常区域，其他的区域为异常区域；落在异常区域的样本数据，属于失控数据，需要及时采取措施进行改善，落在正常区域的样本数据，属于受控数据，不需要采取措施；而落在待定区域的样本数据，属于受控数据，暂时不需要采取措施，而是在累积足够的样本数据后，再作判断，其中，所述待定区域会随着样本数据的累积而慢慢消失，当到达30个样本数据点后，待定区域完全消失，统计过程的控制图变为由外控制限构成的单控制限控制图。3.如权利要求2所述的一种统计过程的控制方法，其特征在于，第i+1个样本数据对应的内控制限为对应的外控制限为第i个移动极差对应的内控制限ILCL＝0第i个移动极差对应的外控制限OLCL＝0其中，前i+1个样本数据的均值为第i个移动极差为Ri，前i个移动极差的均值为的置信区间为4.如权利要求2所述的一种统计过程的控制方法，其特征在于，若当前样本数据为失控数据，对所述的失控数据进行失效分析，查找产生失控数据的因素；根据失效分析，判断失控数据是正确的失控数据或是错误的失控数据，对于错误的失控数据，则需要剔除数据。5.一种统计过程的控制系统，适用于对连续样本数据进行...
【专利技术属性】
技术研发人员：不公告发明人，
申请(专利权)人：枘熠集成电路上海有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31
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