一种基于单模-多模-单模结构的马赫-曾德干涉仪光纤气压传感器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种基于单模‑多模‑单模结构的马赫‑曾德干涉仪光纤气压传感器，其特征在于：该传感器由单模光纤1、多模光纤、单模光纤2依次熔接而成，其中多模光纤内部有一空气腔，且在其上方有一微通道，使得空腔与外界空气相通，从而可保持与外界气压一致。应用时，将传感器置于待测气压的空间中，利用光纤光谱仪测量其输出光谱即可解调出待测气压的变化值。本实用新型专利技术具有灵敏度高、制作成本低和结构紧凑且坚固等优点，可应用于气压的高精度测量。

【技术实现步骤摘要】
一种基于单模-多模-单模结构的马赫-曾德干涉仪光纤气压传感器
本技术属于光纤传感
，具体涉及一种基于单模-多模-单模结构的马赫-曾德干涉仪光纤气压传感器。
技术介绍
压力测量在医药、汽车制造业和井下油气勘探等领域有着重要的应用。现有的气压传感器主要有电子气压传感器和光纤气压传感器。电子气压传感器作为传统的气压传感器，主要分为压阻式传感器和谐振式气压传感器两类。压阻式传感器是利用压力敏感元件受力时，电阻率发生变化，通过测量电路就可得到正比于力变化的电信号输出，其具有体积小、灵敏度高的优点，但受温度影响大且制作工艺复杂、造价高。谐振式气压传感器是将谐振元件所受的压力值转换为频率信号的传感器，当外界气压发生变化时，振动元件的固有振动频率随之改变，通过相应的测量电路，就可得到与压力值成一定关系的电信号。谐振气压传感器具有精度高，结构紧凑等优点，但同样其加工工艺复杂，生产周期长，成本较高。光纤传感器是近年发展起来的新型传感器，与传统的传感器相比，光纤气压传感器具有温度稳定性好、抗电磁干扰和安全性高等独特优势。因此，光纤传感器尤其适合在高温、易爆等恶劣环境下进行压力测试。各种结构和制造技术本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于单模‑多模‑单模结构的马赫‑曾德干涉仪光纤气压传感器，包括单模光纤1、多模光纤和单模光纤2三部分，由它们依次熔接构成，其特征在于：多模光纤内部有一空气腔，其沿光纤轴向长为20‑25μm、径向长为10‑15μm，位于偏离中心一侧，且在空腔上方有一微通道，直径为10‑15μm，使空腔与外界空气相通。

【技术特征摘要】
1.一种基于单模-多模-单模结构的马赫-曾德干涉仪光纤气压传感器，包括单模光纤1、多模光纤和单模光纤2三部分，由它们依次熔接构成，其特征在于：多模光纤内部有一空气腔，其沿光纤轴向长为20-25μm、径向长为10-15μ...

【专利技术属性】
技术研发人员：常冉，徐贲，张艺馨，
申请(专利权)人：中国计量大学，
类型：新型
国别省市：浙江,33