石英玻璃摆片的清洗方法技术

本发明专利技术是关于一种石英玻璃摆片的清洗方法，将石英玻璃摆片置于清洗篮，依次经过酸洗、漂洗、超声清洗和慢拉干燥。本发明专利技术的石英玻璃摆片清洗方法，通过氢氟酸稀溶液能有效去除表面粘附物，其后的漂洗和三级超声清洗进一步保证表面洁净度，最后在纯水中慢拉干燥依靠水的表面张力和热风风切保证不留水渍，提高石英玻璃摆片后续镀膜附着力。并且一次清洗的摆片数量多，自动清洗和干燥，避免了人工清洗造成的摆片挠性梁损毁。

【技术实现步骤摘要】
石英玻璃摆片的清洗方法
本专利技术涉及一种石英玻璃领域，特别是涉及一种石英玻璃摆片的清洗方法。
技术介绍
目前石英玻璃摆片经酸刻蚀加工后的挠性梁约20um厚，玻璃表面会有有机或者无机粘附物，酸液残留等；通过清水多次清洗去除残留酸液，然后置于酒精或氯仿等有机溶液中使用毛刷人工刷洗去除表面粘附物，最后使用纯水或者易会挥发的有机溶剂漂洗后干燥。上述方法中存在以下不足：(1)人工使用毛刷清洗过程中容易造成摆片挠性梁损坏；(2)摆片清洗后洁净程度不高。
技术实现思路
本专利技术的主要目的在于，提供一种新型的石英玻璃摆片的清洗方法，所要解决的技术问题是使其实现石英玻璃摆片的高效清洗，从而更加适于实用。本专利技术的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。依据本专利技术提出的一种石英玻璃摆片的清洗方法，将石英玻璃摆片置于清洗篮，依次经过酸洗、漂洗、超声清洗和慢拉干燥。本专利技术的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。优选的，前述的石英玻璃摆片的清洗方法，其中所述的清洗篮为耐酸的塑料制品。优选的，前述的石英玻璃摆片的清洗方法，其中所述的清洗篮中放置多个石英玻璃摆片，相邻的两个石英玻璃摆片的间距大于等于5mm。优选的，前述的石英玻璃摆片的清洗方法，其中所述的酸洗的溶液为氢氟酸溶液，质量浓度为0.5-3％，酸洗的时间为2-5min。优选的，前述的石英玻璃摆片的清洗方法，其中所述的漂洗包括：采用电阻率大于18MΩ·cm的去离子水进行溢流漂洗。优选的，前述的石英玻璃摆片的清洗方法，其中所述的超声清洗包括一级清洗、二级清洗和三级清洗，超声清洗的温度为35-45℃。优选的，前述的石英玻璃摆片的清洗方法，其中所述的一级清洗的振动频率为40-50kHz；所述的二级清洗的振动频率为40-50kHz；所述的三级清洗的振动频率为115-125kHz。优选的，前述的石英玻璃摆片的清洗方法，其中所述的慢拉干燥包括：将所述的清洗篮置于水中，将清洗篮以1-3mm/min速率提出水面，当清洗篮完全离开水面时，用热风吹扫所述的清洗篮。优选的，前述的石英玻璃摆片的清洗方法，其中所述的热风经过100级高效过滤网处理，所述的热风的温度为60-100℃。借由上述技术方案，本专利技术石英玻璃摆片的清洗方法至少具有下列优点：本专利技术的石英玻璃摆片清洗方法，通过氢氟酸稀溶液浸泡2-5min能有效去除表面粘附物，其后的漂洗和三级超声清洗进一步保证表面洁净度，最后在纯水中慢拉干燥依靠水的表面张力和热风风切保证不留水渍，提高石英玻璃摆片后续镀膜附着力。并且一次清洗的摆片数量多，自动清洗和干燥，避免了人工清洗造成的摆片挠性梁损毁。上述说明仅是本专利技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本专利技术的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本专利技术的较佳实施例并配合附图详细说明如后。附图说明图1是清洗篮的俯视图。图2是酸洗工位的结构示意图。图3是纯水漂洗工位的结构示意图。图4是纯水超声清洗工位的结构示意图。图5是慢拉干燥工位的结构示意图。具体实施方式为更进一步阐述本专利技术为达成预定专利技术目的所采取的技术手段及功效,以下结合附图及较佳实施例，对依据本专利技术提出的石英玻璃摆片的清洗方法其具体实施方式、结构、特征及其功效，详细说明如后。在下述说明中，不同的“一实施例”或“实施例”指的不一定是同一实施例。此外，一或多个实施例中的特定特征、结构、或特点可由任何合适形式组合。本专利技术的一个实施例提出的一种石英玻璃摆片的清洗方法，将石英玻璃摆片置于清洗篮，依次经过酸洗、漂洗、超声清洗和慢拉干燥。本专利技术的另一实施例提出的一种石英玻璃摆片的清洗装置，包括酸洗工位、纯水漂洗工位、纯水超声清洗工位和慢拉干燥工位。优选的，清洗篮为耐酸的塑料制品。如图1所示，清洗篮中设有均匀排布的耐蚀齿条1，其中石英玻璃摆片与清洗篮为三点接触，相邻的耐蚀齿条对石英玻璃摆片起夹持作用，清洗篮底面对石英玻璃摆片起托持作用。清洗篮中可放置多个石英玻璃摆片，相邻的两个石英玻璃摆片的间距大于等于5mm。优选的，酸洗在酸洗工位进行，酸洗工位示意图如图2所示，酸洗工位使用PVC材质等耐氢氟酸腐蚀的可密封容器；酸洗的溶液为氢氟酸溶液，质量浓度为0.5-3％，酸洗的时间为2-5min。石英玻璃摆片与氢氟酸发生反应如下所示：SiO2+4HF→SiF4+2H2O；石英玻璃摆片表面发生的化学反应，从而刻蚀去除石英玻璃摆片表面以及其上的顽固粘附物，在酸洗过程中需要控制酸洗时间和酸洗温度，保证石英玻璃摆片刻蚀去除的厚度小于0.5um。优选的，其中漂洗包括：采用电阻率大于18MΩ·cm的去离子水进行溢流漂洗。漂洗在纯水漂洗工位进行，纯水漂洗工位示意图如图3所示。纯水漂洗工位使用PVC材质等耐氢氟酸腐蚀容器，设有自动进水2、溢水开关3，并在溢水开关前装有碱盒4，碱盒内装有碳酸钙颗粒，保证最终排水是中性。酸洗完成后将清洗篮转至纯水漂洗工位，打开进水开关后水从容器底部进入，溢水开关保持常开状态，当纯水到达上部限位孔时自动溢流排出；纯水漂洗3-5min方可将酸洗残留的氢氟酸洗净。优选的，超声清洗在纯水超声清洗工位进行，纯水超声清洗工位示意图如图4所示。采用不锈钢水槽，包括一级清洗槽5、二级清洗槽6和三级清洗槽7，清洗槽底部均匀分散装有多个超声发生器8，清洗槽均具有自动进水开关9、溢水开关10以及电加热器11。超声清洗包括一级清洗、二级清洗和三级清洗，超声清洗的温度为35-45℃。一级清洗的振动频率为40-50kHz；二级清洗的振动频率为40-50kHz；三级清洗的振动频率为115-125kHz。纯水漂洗后的石英玻璃摆片表面、镂空缝隙中可能会粘附空气中灰尘，需要进行超声波清洗。一级清洗和二级清洗主要去除玻璃表面及缝隙中较大颗粒，三级清洗主要去除缝隙中的微小颗粒。优选的，慢拉干燥在慢拉干燥工位进行，慢拉干燥工位的示意图如图5所示。慢拉干燥工位底部设有纯水池12，具有进水开关13、溢水开关14，并且有向上提拉的运动装置15，上部装有热风鼓风机16及高效空气过滤网17。慢拉干燥包括：将清洗篮置于慢拉干燥工位的提拉装置上，打开进水、溢水开光后将清洗篮全部浸没于纯水池中，深度大于30mm，并设定提拉速度为1-3mm/min，再打开热风鼓风机，在摆片全部脱离纯水后，热风吹干5-15min后取出。优选的，热风经过100级高效过滤网处理，热风的温度为60-100℃。实施例1本专利技术的一个实施例提出一种石英玻璃摆片的清洗装置，主要包括酸洗工位、纯水漂洗工位、纯水超声清洗工位、慢拉干燥工位四个部分。酸洗工位使用PVC材质等耐氢氟酸腐蚀的可密封容器，内部装有质量分数0.5-3％的氢氟酸溶液；纯水漂洗工位使用PVC材质等耐氢氟酸腐蚀的容器，具备自动进水、溢水开关；纯水超声清洗工位包括至少三级清洗，采用不锈钢水槽，底部均匀分散装有多个超声发生器，一级清洗槽的超声发生器的振动频率为45KHz，二级清洗槽的超声发生器的振动频率为45KHz，三级清洗槽的超声发生器的振动频率为120KHz，同时三级清洗槽均具有自动进水、溢水开关以及加热功能；慢拉干燥工位底部设有纯水池，具有进水、溢水开关，并且有向上提拉的运动装置，上部装有热风鼓风机及100级高效空气过滤网。本专利技术的另一实施例提出一种石英玻璃摆片的清本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种石英玻璃摆片的清洗方法，其特征在于，将石英玻璃摆片置于清洗篮，依次经过酸洗、漂洗、超声清洗和慢拉干燥。

【技术特征摘要】
1.一种石英玻璃摆片的清洗方法，其特征在于，将石英玻璃摆片置于清洗篮，依次经过酸洗、漂洗、超声清洗和慢拉干燥。2.根据权利要求1所述的石英玻璃摆片的清洗方法，其特征在于，所述的清洗篮为耐酸的塑料制品。3.根据权利要求1所述的石英玻璃摆片的清洗方法，其特征在于，所述的清洗篮中放置多个石英玻璃摆片，相邻的两个石英玻璃摆片的间距大于等于5mm。4.根据权利要求1所述的石英玻璃摆片的清洗方法，其特征在于，所述的酸洗的溶液为氢氟酸溶液，质量浓度为0.5-3％，酸洗的时间为2-5min。5.根据权利要求1所述的石英玻璃摆片的清洗方法，其特征在于，所述的漂洗包括：采用电阻率大于18MΩ·cm的去离子水进行溢流漂洗。6.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：杜秀蓉，
申请(专利权)人：中国建筑材料科学研究总院有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11