宽温带太赫兹波探测器制造技术

本发明专利技术属于探测器技术领域，具体涉及一种宽温带太赫兹波探测器。以铝镓氮/镓氮高电子迁移率场效应晶体管（HEMT）为基本结构，通过衬底设计、利用外延法制备铝镓氮/镓氮层；然后制备有源区台面、栅介质、欧姆接触窗口、电极，得到的场效应晶体管中的二维电子气具有较高的电子浓度和迁移率，得到在超过室温条件下对THz波实现高速、高灵敏度、高信噪比探测的波谱探测装置，最终实现对太赫兹波的宽温带探测。

【技术实现步骤摘要】
宽温带太赫兹波探测器本专利技术属于专利技术名称为宽温带太赫兹波探测器及其制备方法、申请日为2017年6月26日、申请号为201710495196X专利技术申请的分案申请，为产品技术部分。
本专利技术属于探测器
，具体涉及一种宽温带太赫兹波探测器。
技术介绍
太赫兹科学技术是本世纪的又一场“前言革命”，它已成为科学研究的热门课题之一。太赫兹科学技术方兴未艾，已在一些重要的研究领域显示出其独特的优越性。在21世纪，太赫兹的应用研究将是相关科研人员的研究重点。太赫兹科学技术在一些领域跟红外技术和微波技术不能比拟，但在另外一些方面可以作为其他技术的补充和延伸。虽然太赫兹科技在辐射源，探测器等相关元件技术方面发展不够理想，尚不能实用化和产业化，但仍具有很高的科学研究价值和巨大的发展潜力。太赫兹波辐射源具有：宽频性、透视性、安全性等特性，所以它在物理、化学、生物医学等基础领域，以及有无损成像、安全检查、光谱分析和雷达通讯方面有着重要的应用前景。和太赫兹辐射源一样，太赫兹探测也是太赫兹科技中的另一关键技术，也是太赫兹技术应用投入到实际应用的另一关键环节。目前，太赫兹信号探测技术从原理上可分为本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种宽温带太赫兹波探测器，其特征在于，所述宽温带太赫兹波探测器的制备方法包括以下步骤：（1）在氮气保护下，混合六氯铱酸铵、水合硝酸镍、水合硫酸亚铁铵、乙醇和丙酸；然后回流搅拌5分钟，然后加入氨水；反应10分钟后自然冷却至室温，加入乙酸乙酯聚沉离心；将离心沉淀物水洗后分散于乙醇中得分散体系；然后加入乙酸锰、硝酸钴、水，搅拌10分钟加入三茂钐，搅拌1小时，得到支撑层前驱体；（2）在分散体系中加入聚乙烯醇、双氧水、四苯基卟啉铁，50℃搅拌1小时，然后加入4,4‑二氨苯基甲烷、八甲基环四硅氧烷，回流搅拌10分钟，然后浓缩得到固含量80%的浓缩物；将浓缩物进行超重力处理；然后冷冻干燥，得到纳米粉；所...

【技术特征摘要】
1.一种宽温带太赫兹波探测器，其特征在于，所述宽温带太赫兹波探测器的制备方法包括以下步骤：（1）在氮气保护下，混合六氯铱酸铵、水合硝酸镍、水合硫酸亚铁铵、乙醇和丙酸；然后回流搅拌5分钟，然后加入氨水；反应10分钟后自然冷却至室温，加入乙酸乙酯聚沉离心；将离心沉淀物水洗后分散于乙醇中得分散体系；然后加入乙酸锰、硝酸钴、水，搅拌10分钟加入三茂钐，搅拌1小时，得到支撑层前驱体；（2）在分散体系中加入聚乙烯醇、双氧水、四苯基卟啉铁，50℃搅拌1小时，然后加入4,4-二氨苯基甲烷、八甲基环四硅氧烷，回流搅拌10分钟，然后浓缩得到固含量80%的浓缩物；将浓缩物进行超重力处理；然后冷冻干燥，得到纳米粉；所述超重力处理的转速为35000～40000rpm；浓缩物的流量为80～90mL/min；（3）将氧化石墨烯、环氧树脂加入丙酮，回流搅拌20分钟后加入甲基丙烯酸月桂酯与二苯基硅二醇，继续搅拌10分钟，然后加入2-丙烯酰胺基-2-甲基丙磺酸，搅拌30分钟，得到隔离层前驱体；（4）将纳米粉加入隔离层前驱体中，搅拌5分钟后加入碳纳米管，搅拌10分钟得到加强层前驱体；（5）在耐热基底上依次涂覆隔离层前驱体、加强层前驱体、支撑层前驱体，得到衬底；每次涂覆后室温干燥；（6）在衬底上利用外延法制备铝镓氮/镓氮层；然后制备有源区台面、栅介质、欧姆接触窗口、电极，从而得到宽温带太赫兹波探测器。2.根据权利要求1所述宽温带太赫兹波探测器，其特征在于，六氯铱酸铵、水合硝酸镍、水合硫酸亚铁铵、乙醇、丙酸、氨水、乙酸锰、硝酸钴、水、三茂钐的质量比为15∶45∶35∶150∶80∶50∶20∶30∶100∶5；离心沉淀物、聚乙烯醇、双氧水、四苯基卟啉铁、4,4-二氨苯基甲烷、八甲基环四硅氧烷的质量比为15∶55∶5∶0.1∶40∶50；氧化石墨烯、环氧树脂、丙酮、甲基丙烯酸月桂酯、二苯基硅二醇、2-丙烯酰胺基-2-甲基丙磺酸的质量比为5∶100∶150∶20∶30∶12；纳米粉、隔离层前驱体的质量比为72∶100。3.根据权利要求1所述宽温带太赫兹波探测器，其特征在于，所述氨水的质量浓度为8.5%；所述聚乙烯醇的分子量为1500～2000。4.根据权利要求1所述宽温带太赫兹波探测器，其特征在于，隔离层前驱体、加强层前驱体、支撑层前驱体在耐热基底上的厚度分别为50微米、500微米、260微米。5.根据权利要求1所述宽温带太赫兹波探测器，其特征在于，所述外延法为金属有机物化学气相外延法、分子束外延法或者氢化物气相外延法。6.一种宽温带太赫兹波探测装置，其特征在于，所述宽温带太赫兹波探测装置的制备方法包括以下步骤：（1）在氮气保护下，混合六氯铱酸铵、水合硝酸镍、水合硫酸亚铁铵、乙醇和丙酸；然后回流搅拌5分钟，然后加入氨水；反应10分钟后自然冷却...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙云飞，罗恒，刘传洋，陶重犇，
申请(专利权)人：苏州科技大学，
类型：发明
国别省市：江苏,32