一种石英管内壁镀膜的方法技术

本发明专利技术公开了一种石英管内壁镀膜的方法，它包括石英管内壁清洁化、去离子化、氨基硅烷基化、有机化和高温镀碳成膜五大步骤，通过将石英管内壁氨基硅烷基化，使石英管内表面改性，从亲水性改为疏水性，提高其和有机试剂的亲和性能，从而使石英管内壁涂覆上有机试剂，有机试剂在高温下脱水碳化，在石英管内壁形成一层原位碳膜，然后有机气体在高温下碳化，提供移动碳源，持续成膜，通过控制镀膜温度和时间控制成膜的质量和厚度，从而完成石英管内壁的镀膜。本发明专利技术方法制备工艺简单、易操作，对设备的要求低，制备的碳膜层能满足石英管对膜层性能的需求，成膜质量好，镀膜加工比较容易，且本发明专利技术中使用的试剂数量较少，可以有效控制镀膜的成本。

【技术实现步骤摘要】
一种石英管内壁镀膜的方法
本专利技术涉及一种石英管内壁镀膜的方法，属于石英管内壁镀膜

技术介绍
高纯材料在生产过程中，为了保证原料纯度，一般会使用高纯石英管作为反应容器或承载容器，石英管在使用过程中不可避免的会与原材料接触，部分原材料在高温条件下会与石英管发生化学反应，这种情况不仅会导致反应结束后的产品出料困难，同时也使得石英管的寿命大大减少。因此需要采用在石英管内壁镀膜的方式，隔绝生产原料与石英管的接触，从而保护石英管，达到延长石英管寿命的效果。现有的石英管内壁镀膜方式大多采用热蒸镀的方式，通过在石英管中高温热蒸镀金属丝加以外部加热石英管，使石英管内表面沉积一层一定厚度的金属涂层，该种方式不仅整个装置的构造较复杂，需要真空泵和放电电源同时工作，且要使膜层均匀，待镀金属必须位于石英管的中心线上，同时膜层的均匀性也很难一次性保证，而且对于硬度较高、稳定性较好的无机涂层，很难利用这种方式镀膜。专利CN104746056公开了一种石英毛细管内壁镀银的方法，它主要是采用化学镀的方式在毛细管内壁涂覆一层化学镀银液，这种方法由于操作方式的差异也并不能保证膜层的均匀性。
技术实现思路
有鉴于本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种石英管内壁镀膜的方法，其特征在于：包括以下步骤：(1)石英管内壁清洁化：将石英管浸泡在低浓度酸溶液中10～30s，然后取出用纯水冲洗干净；(2)石英管内壁去离子化：将步骤(1)处理过的石英管用去离子水冲洗其内壁两次以上；(3)石英管内壁氨基硅烷基化：在步骤(2)处理过的石英管中注满硅烷偶联剂溶液，停留10～15min后摇晃倒出实现石英管内壁硅烷偶联剂的涂覆，然后将石英管置于烘箱中高温烘干；(4)石英管内壁有机化：在步骤(3)处理过的石英管中注满有机试剂溶液，静置6～8h后倒出；所述有机试剂溶液选自无水乙醇、聚乙二醇和甲醛；(5)高温镀碳成膜：将步骤(4)处理过的石英管放入管式炉中，将炉...

【技术特征摘要】
1.一种石英管内壁镀膜的方法，其特征在于：包括以下步骤：(1)石英管内壁清洁化：将石英管浸泡在低浓度酸溶液中10～30s，然后取出用纯水冲洗干净；(2)石英管内壁去离子化：将步骤(1)处理过的石英管用去离子水冲洗其内壁两次以上；(3)石英管内壁氨基硅烷基化：在步骤(2)处理过的石英管中注满硅烷偶联剂溶液，停留10～15min后摇晃倒出实现石英管内壁硅烷偶联剂的涂覆，然后将石英管置于烘箱中高温烘干；(4)石英管内壁有机化：在步骤(3)处理过的石英管中注满有机试剂溶液，静置6～8h后倒出；所述有机试剂溶液选自无水乙醇、聚乙二醇和甲醛；(5)高温镀碳成膜：将步骤(4)处理过的石英管放入管式炉中，将炉体系统抽真空，用惰性气体置换掉石英管中空气后，再向石英管中通入有机气体10～15min，管式炉中温度加热到1000～1200℃，保温3h，石英管在管式炉中随炉冷却至常温即完成镀膜。2.根据权利要求1所述的一种石英管内壁镀膜的方法，其特征在于：所述步骤(1)中低浓度酸溶液选自氢氟酸、盐酸和王水，所述低浓度酸溶液的浓度为3％～6％。3.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：彭寿，马立云，潘锦功，殷新建，周毅，段杰明，
申请(专利权)人：成都中建材光电材料有限公司，
类型：发明
国别省市：四川,51