GDMS聚焦部件及其加工方法技术

一种GDMS聚焦部件及其加工方法，属于设备加工领域。该GDMS聚焦部件的加工方法包括以下步骤：提供一钽片，使用机械加工方法对所述钽片进行加工；在对钽片进行铣削加工之前，使用胶水将钽片固定。本发明专利技术提供的GDMS聚焦部件的加工方法能够加工得到精度高的部件以满足使用需求。本发明专利技术还提供了使用上述GDMS聚焦部件的加工方法加工得到的GDMS聚焦部件。

【技术实现步骤摘要】
GDMS聚焦部件及其加工方法
本专利技术涉及设备加工领域，具体而言，涉及一种GDMS聚焦部件及其加工方法。
技术介绍
GDMS(GlowDischargeMassSpectrometry)是辉光放电质谱法的简称，其是利用辉光放电源作为离子源与质谱仪器联接进行质谱测定的一种分析方法，GDMS是分析高纯金属材料成分最有效的手段，其具有稳定性好、记忆效应和基体效应小、检测极限低等优点，可以稳定检测ppb(10-9)级别的元素含量，可以有效的确认超高纯材料中的主要杂质含量。GDMS的原理是将具有平整表面的被测样品作为辉光放电的阴极，将样品放置在直流、射频或脉冲辉光放电装置中产生阴极溅射，使被溅射的样品原子离开样品表面并扩散到等离子体中，随后通过各元素质荷比和响应信号的强弱对被分析元素进行定性和定量分析。GDMS检测设备中的核心部件是聚焦部件，其主要担负着检测离子束的聚焦任务，聚焦部件的精度质量直接影响到GDMS检测设备的检测精准度，目前现有的GDMS检测设备的聚焦部件均需要从国外进口，不仅成本较高，而且检测精度差，不能满足现有的使用需求。因此，需要一种GDMS聚焦部件的加工方法能够加工得到精本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种GDMS聚焦部件的加工方法，其特征在于，其包括以下步骤：提供一钽片；使用机械加工方法对所述钽片进行加工；其中，在对所述钽片进行铣削加工之前，使用胶水将所述钽片固定。

【技术特征摘要】
1.一种GDMS聚焦部件的加工方法，其特征在于，其包括以下步骤：提供一钽片；使用机械加工方法对所述钽片进行加工；其中，在对所述钽片进行铣削加工之前，使用胶水将所述钽片固定。2.根据权利要求1所述的GDMS聚焦部件的加工方法，其特征在于，在对所述钽片进行铣削加工之前，使用胶水将所述钽片固定于一水平面。3.根据权利要求1所述的GDMS聚焦部件的加工方法，其特征在于，所述胶水选自于单体为醚、醇酸酯或环氧酯的丙烯酸酯中的一种。4.根据权利要求1所述的GDMS聚焦部件的加工方法，其特征在于，所述机械加工方法包括切割加工，在对所述钽片进行切割加工之前，对所述钽片进行整平，使所述钽片的平面度公差为-0.1～0.1mm。5.根据权利要求1所述的GDMS聚焦部件的加工方法，其特征在于，所述机械加工方法包括弯折加工，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，潘杰，王学泽，邵科科，
申请(专利权)人：宁波江丰电子材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江,33