【技术实现步骤摘要】
一种用于压制钨丝绳球形端头的缩管机
本技术涉及半导体单晶硅、太阳能单晶硅生产过程中用钨丝绳生产
,具体涉及一种用于压制钨丝绳球形端头的缩管机。
技术介绍
目前,单晶硅制造行业采用的CZ直拉法技术生产单晶硅晶体,在拉制单晶时需要一种提拉软轴。作为单晶炉内提拉系统的一个中要组件,提拉软轴的工作环境恶劣,不仅要承载单晶棒的重量,而且要承受单晶炉内1500℃的高温。因此,提拉软轴必须需要满足高强度、耐高温、耐疲劳等技术要求。长期以来,单晶炉提拉软轴选用钢丝绳,但随着IC行业和光伏行业对原材料单晶硅纯度要求的不断提高,以及将“有磁场”植入单晶炉内,钢丝绳的劣势越来越明显。此外,钢丝绳的Fe元素和C元素也会造成单晶硅的杂质含量超标,并且钢丝绳制备的提拉软轴承载端的承载球为熔化绳头堆积成型,绳体与承载球连接薄弱,容易发生断裂失效,在拉晶过程中提拉软轴的断裂将造成严重的经济损失。由于钨丝绳优异的物理和力学性能,已经取代钢丝绳成为单晶炉提拉系统的重要组成部分。钨丝绳由绳体、压头(包括承载头和固定头)组成,压头设置在绳体的两端,在使用过程中起到固定和承载的作用。钨丝绳压头的连接 ...
【技术保护点】
1.一种用于压制钨丝绳球形端头的缩管机,包括压制模具、成型结构和液压控制装置,其特征在于:所述压制模具包括一组或多组压制模块,压制模块边缘设置多个直径不等的球形缺口,每组压制模块的形成带有不同尺寸的球形结构的钨丝绳成型腔,压制模块上设置燕尾型凹槽;所述成型结构包括模块底座;所述液压控制装置连接至多个模块底座,模块底座上设置燕尾型连接凸块,燕尾型连接凸块与压制模块上燕尾型凹槽配合,一个模块底座上设置一个或多个压制模块。
【技术特征摘要】
1.一种用于压制钨丝绳球形端头的缩管机,包括压制模具、成型结构和液压控制装置,其特征在于:所述压制模具包括一组或多组压制模块,压制模块边缘设置多个直径不等的球形缺口,每组压制模块的形成带有不同尺寸的球形结构的钨丝绳成型腔,压制模块上设置燕尾型凹槽;所述成型结构包括模块底座;所述液压控制装置连接至多个模块底座,模块底座上设置燕尾型连接凸块,燕尾型连接凸块与压制模块上燕尾型凹槽配合,一个模块底座上设置一个或多个压制模块。2.根据权利要求1所述的一种用于压制钨丝绳球形端头的缩管机,其特征在于:所述缩管机还包括一组或多组模块垫块,每组模块垫块形成圆柱腔体,模块垫块上设置燕尾型凹槽,所述燕尾型连接凸块与模块垫块上设置的燕尾型凹槽相配合,模...
【专利技术属性】
技术研发人员:付成,胥宏俊,
申请(专利权)人:洛阳成久电子材料有限公司,
类型:新型
国别省市:河南,41
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