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一种石墨烯包覆硅烯、制备方法及其使用方法技术

技术编号:19731946 阅读:30 留言:0更新日期:2018-12-12 02:34
本发明专利技术提供了一种石墨烯包覆硅烯、制备方法及其使用方法。该制备方法包括如下步骤:将金属催化基底放置在反应腔体中,去除金属催化基底上的自然氧化层,暴露出金属层,选择气态烃类碳源作为前驱体,通过化学气相沉积法在金属层上形成石墨烯;关闭反应腔体的气态烃类碳源,通入含硅气体源以及还原性气体,使蒸发的硅原子在石墨烯表层上外延生长硅烯;仅关闭含硅气体源,或者同时关闭含硅气体源和还原性气体,并通入气态烃类碳源,以在硅烯表面包覆碳原子,从而获得石墨烯包覆硅烯。本发明专利技术中获取的硅烯可以在空气中保持原有结构两年以上,并且该方法打破传统方法,制备条件较为宽松且简单。

【技术实现步骤摘要】
一种石墨烯包覆硅烯、制备方法及其使用方法
本专利技术涉及硅烯制备
,尤其涉及一种基于金属催化制备的石墨烯包覆硅烯、制备方法及其使用方法。
技术介绍
硅烯是一种硅原子呈平面蜂窝状排列的二维纳米材料,具有良好的二维晶体结构和电学性质。与零带隙的石墨烯相比,硅烯具有一定的禁带宽度,因此在半导体电子器件和光电子器件领域有广泛的应用前景。硅烯的sp2-sp3结构特性表面极其敏感,导致其化学环境非常活泼,这使得制备硅烯具有较强的局限性。目前制备硅烯的方法有硅源蒸发外延生长法。在高真空环境中,将硅片作为硅源,通过高温加热将硅原子沉积在不同的基底上,被选择的基底有定向晶相的单晶,如Ag(001),Ag(110),Ag(111),Ir(111)或ZrB2(0001)。但是,当蒸发的原子在基底上外延生长硅烯时,由于受到较强的界面相互作用,硅烯会出现重构,原子层翘曲程度发生变化,有些原子会上升,有些原子会下降,导致晶胞变大,对称性降低,或形成少层(few-layer)结构,从而破坏硅烯的狄拉克-费米特性,影响硅烯膜层材料的性能,此外,通过上述基底得到的硅烯不仅成本高,而且尺寸极其微小且不能暴露空气中本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于金属催化制备石墨烯包覆硅烯的方法,其特征在于,包括如下步骤:将金属催化基底放置在反应腔体中,去除所述金属催化基底上的自然氧化层,暴露出金属层,选择气态烃类碳源作为前驱体,通过化学气相沉积法在所述金属层上形成石墨烯;关闭所述反应腔体的所述气态烃类碳源,通入含硅气体源以及还原性气体,使蒸发的硅原子在所述石墨烯表层上外延生长硅烯;仅关闭所述含硅气体源,或者同时关闭所述含硅气体源和所述还原性气体,并通入所述气态烃类碳源,以在所述硅烯表面包覆碳原子,从而获得石墨烯包覆硅烯。

【技术特征摘要】
1.一种基于金属催化制备石墨烯包覆硅烯的方法,其特征在于,包括如下步骤:将金属催化基底放置在反应腔体中,去除所述金属催化基底上的自然氧化层,暴露出金属层,选择气态烃类碳源作为前驱体,通过化学气相沉积法在所述金属层上形成石墨烯;关闭所述反应腔体的所述气态烃类碳源,通入含硅气体源以及还原性气体,使蒸发的硅原子在所述石墨烯表层上外延生长硅烯;仅关闭所述含硅气体源,或者同时关闭所述含硅气体源和所述还原性气体,并通入所述气态烃类碳源,以在所述硅烯表面包覆碳原子,从而获得石墨烯包覆硅烯。2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,在获得所述石墨烯包覆硅烯的整个过程中保持反应温度在400-1000℃。3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,在获得所述石墨烯包覆硅烯的整个过程中保持反应温度在600-800℃。4.根据权利要求1-3中任一项所述的方法,其特征在于,在所述石墨烯表层上外延生长硅烯的步骤中反应时间为5-50s,所通入的所述含硅气体源的气体流量为2-20sccm,所述还原性气体的气体流量为5-30sccm。5.根据权利要求1-3中任一...

【专利技术属性】
技术研发人员:孙旭辉聂宇婷
申请(专利权)人:苏州大学
类型:发明
国别省市:江苏,32

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