【技术实现步骤摘要】
一种单片集成惯性器件工艺兼容方法
本专利技术涉及微型惯性测量单元(MIMU)领域，具体涉及一种单片集成惯性器件工艺兼容方法。
技术介绍
MEMS惯性传感器是检测和测量加速度、倾斜、冲击、旋转和多自由度运动的微型传感器，是解决导航、定向和运动载体控制的重要部件，它主要包括微机械加速度计、微机械陀螺仪以及利用单轴、双轴或三轴的加速度计和陀螺仪组合而成的微型惯性测量单元(MIMU)。MIMU可以同时测量物体多个轴向的加速度和角速度，经过一系列数据处理可以得到物体的速度、位移、方向、姿态等信息。MEMS惯性传感器具有体积小、重量轻、成本低、功耗小等优点，在航空、航天、兵器、汽车和消费类电子产品等领域都有着迫切的应用需求和广泛的应用前景。目前，多轴微惯性传感器主要采用多个分立元件在同一平面内组装的形式，以单片三轴集成陀螺为例，将一个Z轴陀螺与两个水平轴陀螺制作在同一平面内，以实现三个方向的角速度测量，这种思路能够有效的贴合MEMS加工的特性，在保证一定性能的情况下有效降低惯性器件的尺寸和封装成本。当前民用领域多轴集成传感器已经投入市场，意法半导体已经产生十轴传感器件。因此对...
【技术保护点】
1.一种单片集成惯性器件工艺兼容方法，所述工艺兼容方法用于包含离面运动器件和面内运动器件的单芯片多轴惯性器件，所述离面运动器件包含离面检测部分和其他部分，其特征在于，工艺加工时通过多次刻蚀在体背面形成多个背腔和不同高度的台阶，所述离面运动器件的所述其他部分结构层厚度与所述面内运动器件结构层厚度相同，工艺加工中进行结构释放时，所述离面运动器件的所述其他部分结构层与所述面内运动器件的结构层同时被刻蚀穿。
【技术特征摘要】
1.一种单片集成惯性器件工艺兼容方法，所述工艺兼容方法用于包含离面运动器件和面内运动器件的单芯片多轴惯性器件，所述离面运动器件包含离面检测部分和其他部分，其特征在于，工艺加工时通过多次刻蚀在体背面形成多个背腔和不同高度的台阶，所述离面运动器件的所述其他部分结构层厚度与...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵前程，李美杰，闫桂珍，
申请(专利权)人：北京大学，
类型：发明
国别省市：北京,11
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