薄膜层叠结构及其制作方法、触控屏技术

本发明专利技术公开了一种薄膜层叠结构及其制作方法、触控屏，所述薄膜层叠结构的制作方法包括：提供一基板，所述基板上设有走线层；在所述走线层上形成导电层；在所述导电层上形成纳米金属线层；以及进行热压合，使所述导电层填充所述纳米金属线层与所述走线层之间的空隙。在本发明专利技术所提供的薄膜层叠结构的制作方法中，导电层经过热压合后填充在走线层与纳米金属线层之间，填满了走线层与纳米金属线层之间的空隙，间接增大了走线层与纳米金属线层的接触面积，降低了走线层与纳米金属线层之间的接触电阻，增强了导电能力。

【技术实现步骤摘要】
薄膜层叠结构及其制作方法、触控屏
本专利技术涉及触控屏
，尤其是涉及一种薄膜层叠结构的制作方法、利用该方法制作的薄膜层叠结构以及包含该薄膜层叠结构的触控屏。
技术介绍
触控屏(英文全称为TouchPanel)，又称触摸屏、触控面板，是一种形成在图像显示装置显示面上，利用人体或电容笔等导体进行指令输入的装置，可代替鼠标、键盘等外接输入装置以及机械式输入按键等输入设备，可有效简化电脑、手机等电子产品结构，具有非常广阔的应用前景。触控屏包括基板以及形成于基板上的触控结构，通过触控结构的电容变化来感应触控位置，所述触控结构包括两对触控电极，也就是通常所说的TX(发射信号电极)和RX(接收信号电极)，还包括设置其中间的隔离层。其中，TX或者RX包括层叠设置的若干金属走线和透明电极，而常用的透明电极为ITO(氧化铟锡)，随着柔性显示产品的普及，ITO的缺点也逐渐暴露：由于其电阻大、成本高、抗损伤性能差的问题，限制了触控屏向柔性化发展。基于上述因素，近年来，以在导电性、透光性以及弯曲性等性能方面表现突出的纳米金属线如纳米银线替换ITO已经成为一种趋势，但纳米银线本身仍然存在亟待解决的技术问题本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种薄膜层叠结构的制作方法，其特征在于，包括：提供一基板，所述基板上设有走线层；在所述走线层上形成导电层；在所述导电层上形成纳米金属线层；以及进行热压合工艺，使所述导电层填充所述纳米金属线层与所述走线层之间的空隙。

【技术特征摘要】
1.一种薄膜层叠结构的制作方法，其特征在于，包括：提供一基板，所述基板上设有走线层；在所述走线层上形成导电层；在所述导电层上形成纳米金属线层；以及进行热压合工艺，使所述导电层填充所述纳米金属线层与所述走线层之间的空隙。2.如权利要求1所述的薄膜层叠结构制作方法，其特征在于，所述导电层的熔点低于所述走线层及所述纳米金属线层的熔点。3.如权利要求2所述的薄膜层叠结构制作方法，其特征在于，所述导电层的材料为由铋、铅、锡、镉中至少两种元素构成的合金。4.如权利要求2所述的薄膜层叠结构制作方法，其特征在于，所述热压合工艺的温度低于所述走线层及所述纳米金属线层的熔点，并高于所述导电层的熔点。5.一种薄膜层叠结构，其特征在于，包括：基板；走线层，设置于所述基板上；纳米金属线层，设置于所述走线层上；...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐琳，刘如胜，袁波，黄根茂，盛翠翠，
申请(专利权)人：云谷固安科技有限公司，
类型：发明
国别省市：河北,13