The invention discloses a recycled stripping liquid refining system for stripping liquid regeneration process section, which comprises a product refining tower, the product refining tower is connected with a thin film evaporator through a pipeline, the top of the product refining tower is connected with a condenser through a pipeline, the bottom of the condenser is connected with a reflux tank through a pipeline, and the reflux tank. The tank is connected with the stripping liquid recovery tank through a pipeline, and a reflux pump and an on-line mixer are arranged on the pipeline between the reflux tank and the stripping liquid recovery tank. The inlet end of the line mixer is provided with a concentration detector, and a component replenishment system is also included. The replenishment system includes a component A storage tank and B component connected with the on-line mixer. A component A regulating pump is arranged on the pipeline between the component A storage tank and the online mixer, and a component B regulating pump is arranged on the pipeline between the component B storage tank and the online mixer. The invention realizes the refining of the recovered stripping liquid and ensures the component content of the recovered stripping liquid.
【技术实现步骤摘要】
一种剥离液再生工艺段的回用剥离液精制系统
本专利技术涉及剥离液回收
,具体涉及一种剥离液再生工艺段的回用剥离液精制系统。
技术介绍
近几年国内电子制造产业发展迅速,剥离液等电子化学品的使用量也大为增加。通常在液晶显示面板、半导体集成电路等工艺制造过程中,需要用剥离液将涂覆在微电路保护区域上作为掩膜的光刻胶除去。通常使用的剥离液主要包括有机胺和极性有机溶剂的混合物,并含有以少量水为代表的轻组分。在剥离液应用过程中产生大量剥离液废液,该废液中除了含有少量高分子树脂和水之外,大部分是具有利用价值的有机组分。通常清洗光刻胶需要大量的溶剂,而且这些溶剂价格昂贵,从资源化的观点出发,循环再生这些溶剂不仅可以减少对环境的危害,还能减低企业的生产成本。剥离液的回收工艺主要包去除水分段、光刻胶去除段和精制回收段,即剥离液废液依次经过水分去除、光刻胶去除和精制会收获得剥离液。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种剥离液再生工艺段的回用剥离液精制系统,实现对回收剥离液的精制,且能够确保回收剥离液的组分含量。本专利技术通过下述技术方案实现:一种剥离液再生工艺段的回用剥离液精制系统,包括产品精制塔,所述产品精制塔通过管道与薄膜蒸发器连接,所述产品精制塔的顶部通过管道与冷凝器连接,所述冷凝器的底部通过管道与回流罐连接,所述回流罐通过管道与剥离液回收罐连接,在回流罐与剥离液回收罐之间的管道上设置有回流泵、在线混合器,所述线混合器的入口端设置有浓度检测器,在线混合器通过管道与产品精制塔连接,还包括组分补给系统,所述补给系统包括与在线混合器连接的A组分存储罐和B组分存储罐,所述A组 ...
【技术保护点】
1.一种剥离液再生工艺段的回用剥离液精制系统,其特征在于,包括产品精制塔(1),所述产品精制塔(1)通过管道与薄膜蒸发器连接,所述产品精制塔(1)的顶部通过管道与冷凝器(2)连接,所述冷凝器(2)的底部通过管道与回流罐(3)连接,所述回流罐(3)通过管道与剥离液回收罐(9)连接,在回流罐(3)与剥离液回收罐(9)之间的管道上设置有回流泵(4)、在线混合器(5),所述线混合器(5)的入口端设置有浓度检测器,所述在线混合器(5)通过管道与产品精制塔(1)连接,还包括组分补给系统,所述补给系统包括与在线混合器(5)连接的A组分存储罐(12)和B组分存储罐(13),所述A组分存储罐(12)与在线混合器(5)之间的管道上设置有A组分调节泵(10),所述B组分存储罐(13)与在线混合器(5)之间的管道上设置B组分调节泵(11)。
【技术特征摘要】
1.一种剥离液再生工艺段的回用剥离液精制系统,其特征在于,包括产品精制塔(1),所述产品精制塔(1)通过管道与薄膜蒸发器连接,所述产品精制塔(1)的顶部通过管道与冷凝器(2)连接,所述冷凝器(2)的底部通过管道与回流罐(3)连接,所述回流罐(3)通过管道与剥离液回收罐(9)连接,在回流罐(3)与剥离液回收罐(9)之间的管道上设置有回流泵(4)、在线混合器(5),所述线混合器(5)的入口端设置有浓度检测器,所述在线混合器(5)通过管道与产品精制塔(1)连接,还包括组分补给系统,所述补给系统包括与在线混合器(5)连接的A组分存储罐(12)和B组分存储罐(13),所述A组分存储罐(12)与在线混合器(5)之间的管道上设置有A组分调节泵(10),所述B组分存储罐(13)与在线混合器(5)之间的管道上设置B组分调节泵(11)。2.根据权利要求1所述的一种剥离液再生工艺段的回用剥离液精制系统,其特征在于,所述冷凝器(2)与真空系统...
【专利技术属性】
技术研发人员:周建,蔡雅棠,马晓明,申丹丹,王超,
申请(专利权)人:四川久远化工技术有限公司,
类型:发明
国别省市:四川,51
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