放射线检测器的制造方法技术

放射线检测器的制造方法包含：第1工序，通过气相沉积法，在包含多个光电转换元件的传感器面板的主面上形成包含多个柱状晶体的闪烁器层；第2工序，以包围闪烁器层的方式，在主面上形成树脂框，并且以沿着树脂框的外周而接触于树脂框的方式，配置由无机固体材料所构成的框构件；第3工序，通过将保护板粘结于树脂框，从而密封闪烁器层；及第4工序，使树脂框硬化。

Manufacturing Method of Radiation Detector

The manufacturing method of radiographic detector includes: the first step is to form a scintillator layer containing multiple columnar crystals on the main surface of the sensor panel containing multiple photoelectric conversion elements by vapor deposition method; the second step is to form a resin frame on the main surface by surrounding the scintillator layer and along the periphery of the resin frame. In the third process, the protective plate is bonded to the resin frame to seal the scintillator layer, and in the fourth process, the resin frame is hardened.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】放射线检测器的制造方法
本专利技术的一个方式涉及放射线检测器的制造方法。
技术介绍
在专利文献1中记载有X射线成像系统所使用的检测器阵列。该检测器阵列具有：检测器元件，设置于玻璃基板上；闪烁器，由形成于检测器元件上的柱状晶体所构成；及薄片，配置于闪烁器上且反射可见光。闪烁器及薄片通过固定于玻璃基板的罩而密封。例如，罩与玻璃基板通过使用环氧密封剂所粘结的金属框架而密封。金属框架从闪烁器分离而包围闪烁器。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2003-279656号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的技术问题一般来说，由通过CsI等形成的柱状晶体所构成的闪烁器层具有潮解性。因此，具有由框体包围闪烁器层的结构的放射线检测器中，期望将框体内侧的区域的防湿性保持得较高。本专利技术的一个方式以提供可提高闪烁器层的防湿性的放射线检测器的制造方法为目的。解决问题的技术手段一个方式的放射线检测器的制造方法包含：第1工序，通过气相沉积法，在包含多个光电转换元件的传感器面板的主面上形成包含多个柱状晶体的闪烁器层；第2工序，以包围闪烁器层的方式，在主面上形成树脂框，并且以沿着树脂框的外周而接触于树脂框的方式，配置由无机固体材料所构成的框构件；第3工序，通过将保护板粘结于树脂框，而密封闪烁器层；及第4工序，使树脂框硬化。根据这样的放射线检测器的制造方法，以包围闪烁器层的方式，在内侧配置有树脂框，在树脂框的外侧配置有由无机固体材料所构成的框构件。由于无机固体材料具有防湿性，因此，不会产生经由框构件的透湿。因此，由无机固体材料所构成的框构件接触于树脂框的外周，由此，可抑制经由树脂框的透湿。因此，可提高闪烁器层的防湿性。另外，在一个方式中，树脂框也可包含第1树脂框与第2树脂框，第2工序中，以包围闪烁器层的方式，形成第1树脂框，以沿着第1树脂框的外周而接触于第1树脂框的方式，配置框构件，以包围闪烁器层的方式，在第1树脂框上形成第2树脂框。第2工序之后所进行的第3工序中，需要使树脂框形成为高于框构件。在配置了框构件后，形成第2树脂框，由此，容易确认第2树脂框的高度形成为高于框构件。另外，在一个方式中，第2工序中，也可在配置了框构件之后且形成第2树脂框之前，使第1树脂框硬化。根据该结构，在形成第2树脂框的时候，可抑制框构件的位置偏移。另外，在一个方式中，也可在第1工序与第2工序之间，还包含通过中间层来包覆闪烁器层的表面及侧面的第5工序。根据该结构，可抑制树脂框直接接触于闪烁器层的周边部分而溶剂浸透至闪烁器层的周边部分。另外，在一个方式中，第2工序中，也可以与中间层相接触的方式，形成树脂框。根据该结构，可增大树脂框内的区域中的闪烁器层的有效区域。另外，所谓有效区域，是主面上的形成闪烁器层的区域。另外，在一个方式中，树脂框也可包含紫外线硬化树脂。由于紫外线硬化树脂硬化所需的时间较短，因此，可实现制造时间的缩短。另外，在一个方式中，框构件也可为玻璃棒。通过使用玻璃棒，可简单地将框构件配置于树脂框的外侧。专利技术的效果根据一个方式的放射线检测器的制造方法，可提高形成有闪烁器层的区域的防湿性。附图说明图1是一个实施方式所涉及的放射线检测器的截面图。图2是图1所示的放射线检测器的平面图。图3是表示图1所示的放射线检测器的制造工序的图。图4是表示图1所示的放射线检测器的制造工序的图。图5是用于说明变形例所涉及的放射线检测器的示意图。图6是用于说明变形例所涉及的放射线检测器的示意图。图7是用于说明变形例所涉及的放射线检测器的示意图。图8是用于说明变形例所涉及的放射线检测器的示意图。图9是用于说明变形例所涉及的放射线检测器的示意图。图10是表示比较例所涉及的放射线检测器的截面图。具体实施方式以下，参照附图，具体地说明一个实施方式所涉及的实施方式。为了方便起见，有时对实质上相同的元件赋予相同的符号，并省略其说明。以下所说明的放射线检测器将X射线等的放射线转换成可见光等的闪烁光而进行检测。这样的放射线检测器例如可在乳房摄影装置、胸部检查装置、CT装置、牙科口内摄影装置、放射线摄像机等中用作放射线成像用的器件。图1是本实施方式所涉及的放射线检测器的截面图。图2是图1所示的放射线检测器的平面图。另外，图2省略保护板。如图1，2所示，放射线检测器1A具备传感器面板2、闪烁器层3、中间层5、树脂框6、框构件7及保护板8。传感器面板2例如为矩形板状，具有主面2s与形成于主面2s上的多个光电转换元件10。更具体而言，传感器面板2具有包含主面2s的板状的基部2p。另外，光电转换元件10沿着主面2s排列成2维状。在主面2s及光电转换元件10上，形成有钝化膜或平坦化膜等的膜部11。闪烁器层3对应于X射线等的放射线的入射而产生可见光等的闪烁光。闪烁器层3经由膜部11而设置于主面2s及光电转换元件10上。闪烁器层3与光电转换元件10光学耦合。因此，光电转换元件10输入在闪烁器层3所发生的闪烁光，且输出对应于闪烁光的电信号。电信号通过未图示的配线等而被取出至外部。由此，放射线检测器1检测放射线。闪烁器层3例如从与主面2s交叉(例如正交)的方向观察，形成于主面2s的矩形状的区域。在闪烁器层3的外缘部，设置有倾斜部。在倾斜部中，闪烁器层3的厚度H1沿着从闪烁器层3的中心朝向边缘的方向减少。因此，作为闪烁器层3的全体的截面形状例如为梯形状。即，闪烁器层3具有沿着主面2s而形成的表面(上表面)3a与形成于表面3a的周围的倾斜的侧面3b。闪烁器层3的厚度H1(上述的倾斜部以外的厚度)例如为600μm左右。闪烁器层3包含闪烁器材料的多个柱状晶体。闪烁器材料例如为以CsI：Tl这样的CsI作为主成分的材料。中间层5包覆闪烁器层3的表面3a的整个面，并且包覆侧面3b的整个面。即，中间层5的周缘接触于传感器面板2的主面2s，在中间层5的周缘与主面2s之间未产生间隙。中间层5抑制例如紫外线硬化树脂等所含有的溶剂浸透至闪烁器层3。另外，中间层5例如具有相对于闪烁光的反射或吸收等的光学功能。即，中间层5是相对于在闪烁器层3所发生的闪烁光的光反射层或光吸收层。树脂框6从与传感器面板2的主面2s交叉的方向观察，以包围闪烁器层3的方式，设置于主面2s上。树脂框6例如为矩形环状。从主面2s起的树脂框6的高度H2大于从主面2s起的闪烁器层3的高度H1。树脂框6介于主面2s与保护板8之间并相互地接合主面2s与保护板8。在本实施方式中，树脂框6接触于包覆闪烁器层3的中间层5。更具体而言，中间层5的外周缘与树脂框6的内周缘接触。换言之，闪烁器层3以经由中间层5而接触于树脂框6的方式沿着延伸。树脂框6是由例如具有紫外线硬化性的环氧树脂等所构成的透湿性低的树脂。另外，如图1所示，树脂框6通过第1树脂框6a及第2树脂框6b而形成。本实施方式中，通过同样的紫外线硬化树脂，形成第1树脂框6a及第2树脂框6b。因此，在附图中，示意地分开描绘第1树脂框6a与第2树脂框6b，但硬化后，第1树脂框6a与第2树脂框6b成为一体。框构件7在沿着树脂框6的外周而接触于树脂框6的状态下，载置于主面2s上。框构件7通过无机固体材料而形成。在本实施方式中，框构件7通过以玻璃为原材料的4根玻璃棒7a而构成。4根玻璃棒7a均形成为相同的直径D的圆柱状，且相互本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种放射线检测器的制造方法，其特征在于，包含：第1工序，通过气相沉积法，在包含多个光电转换元件的传感器面板的主面上形成包含多个柱状晶体的闪烁器层；第2工序，以包围所述闪烁器层的方式，在所述主面上形成树脂框，并且以沿着所述树脂框的外周而接触于所述树脂框的方式，配置由无机固体材料所构成的框构件；第3工序，通过将保护板粘结于所述树脂框，从而密封所述闪烁器层；及第4工序，使所述树脂框硬化。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.03.30 JP 2016-0686191.一种放射线检测器的制造方法，其特征在于，包含：第1工序，通过气相沉积法，在包含多个光电转换元件的传感器面板的主面上形成包含多个柱状晶体的闪烁器层；第2工序，以包围所述闪烁器层的方式，在所述主面上形成树脂框，并且以沿着所述树脂框的外周而接触于所述树脂框的方式，配置由无机固体材料所构成的框构件；第3工序，通过将保护板粘结于所述树脂框，从而密封所述闪烁器层；及第4工序，使所述树脂框硬化。2.如权利要求1所述的放射线检测器的制造方法，其特征在于，所述树脂框包含第1树脂框与第2树脂框，所述第2工序中，以包围所述闪烁器层的方式，形成所述第1树脂框，以沿着所述第1树脂框的外周而接触于所述第1树脂框的...

【专利技术属性】
技术研发人员：上西秀典，楠山泰，大泽弘武，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP