The invention discloses a module loading device with cleaning function, which comprises a wafer box shell, a module loading box, a sundries suction cleaning box and a blower box. The sundries suction cleaning box is equipped with a suction vacuum pump, a dust removal rotating device and a control transmission gear set. The blower box is equipped with a supply air. Control device, circuit start trigger device, control drive motor. The invention realizes dust removal by driving suction vacuum pump and air supply control device, does not need to install additional loading ports, and ensures safety. At the same time, the trigger pressure plate is stuck at the bottom of the limit block, so that when the shell of the wafer box is carelessly laid down, the air purification in the module loading box will not be affected. The practicability of the device is improved.
【技术实现步骤摘要】
一种具有清洁功能的模块装载装置
本专利技术涉及晶片盒子吹扫模块领域,具体地说是一种具有清洁功能的模块装载装置。
技术介绍
通常,半导体元件是在作为基板的晶片上以薄膜形态沉积多种物质并图案化得到,为此需要沉积工程、蚀刻工程、吹扫工程、干燥工程等多个步骤的不同工程。为了执行这些步骤广泛使用移送晶片的装置。其中,为了向半导体移送装置供应装载于晶片盒子的晶片,普遍使用装载端口。另外,晶片盒子内部存在异物的情况下会引发晶片的不良,因此使用气体吹扫以去除异物,初期的装载端口型号没有这种吹扫功能,但新开发的装载端口添加了利用氮气N2吹扫的功能解决这些问题。目前,因为将现有的装载端口全都替换为具备这种吹扫功能的装载端口时发生费用方面的问题,同时存在多种晶片盒子,因此更换晶片盒子的种类时发生需要另外设置相应的装载端口的问题。
技术实现思路
本专利技术的主要目的在于克服现有技术的不足,提供一种具有清洁功能的模块装载装置。本专利技术采用如下技术方案来实现:一种具有清洁功能的模块装载装置,其结构包括晶片盒子外壳、模块装载盒、杂物抽吸清理盒、吹扫送风机盒,所述晶片盒子外壳通过螺栓铆合连接于杂物抽吸清理盒与吹扫送风机盒外表面,所述模块装载盒嵌设于杂物抽吸清理盒与吹扫送风机盒之间,所述杂物抽吸清理盒嵌设于模块装载盒一端,所述吹扫送风机盒嵌设于模块装载盒底部,所述模块装载盒设有防尘保护盖,所述防尘保护盖通过螺栓铆合连接于模块装载盒上方;所述杂物抽吸清理盒设有抽吸真空泵、除尘旋转装置、控制传动齿轮组,所述抽吸真空泵通过螺栓铆合连接于杂物抽吸清理盒内壁上,所述除尘旋转装置通过螺纹啮合连接于控制传 ...
【技术保护点】
1.一种具有清洁功能的模块装载装置,其结构包括晶片盒子外壳、模块装载盒、杂物抽吸清理盒、吹扫送风机盒,所述晶片盒子外壳通过螺栓铆合连接于杂物抽吸清理盒与吹扫送风机盒外表面,所述模块装载盒嵌设于杂物抽吸清理盒与吹扫送风机盒之间,所述杂物抽吸清理盒嵌设于模块装载盒一端,所述吹扫送风机盒嵌设于模块装载盒底部,其特征在于:所述模块装载盒设有防尘保护盖,所述防尘保护盖通过螺栓铆合连接于模块装载盒上方;所述杂物抽吸清理盒设有抽吸真空泵、除尘旋转装置、控制传动齿轮组,所述抽吸真空泵通过螺栓铆合连接于杂物抽吸清理盒内壁上,所述除尘旋转装置通过螺纹啮合连接于控制传动齿轮组侧面上,所述控制传动齿轮组通过螺纹啮合连接于除尘旋转装置与杂物抽吸清理盒之间;所述吹扫送风机盒设有送风控制装置、电路启动触发装置、控制传动电机,所述送风控制装置通过螺栓铆合连接于吹扫送风机盒内壁上,所述电路启动触发装置嵌设于模块装载盒底部,所述电路启动触发装置通过螺栓铆合连接于吹扫送风机盒内部底面上,所述控制传动电机通过螺栓与电路启动触发装置铆合连接于同一水平面上。
【技术特征摘要】
1.一种具有清洁功能的模块装载装置,其结构包括晶片盒子外壳、模块装载盒、杂物抽吸清理盒、吹扫送风机盒,所述晶片盒子外壳通过螺栓铆合连接于杂物抽吸清理盒与吹扫送风机盒外表面,所述模块装载盒嵌设于杂物抽吸清理盒与吹扫送风机盒之间,所述杂物抽吸清理盒嵌设于模块装载盒一端,所述吹扫送风机盒嵌设于模块装载盒底部,其特征在于:所述模块装载盒设有防尘保护盖,所述防尘保护盖通过螺栓铆合连接于模块装载盒上方;所述杂物抽吸清理盒设有抽吸真空泵、除尘旋转装置、控制传动齿轮组,所述抽吸真空泵通过螺栓铆合连接于杂物抽吸清理盒内壁上,所述除尘旋转装置通过螺纹啮合连接于控制传动齿轮组侧面上,所述控制传动齿轮组通过螺纹啮合连接于除尘旋转装置与杂物抽吸清理盒之间;所述吹扫送风机盒设有送风控制装置、电路启动触发装置、控制传动电机,所述送风控制装置通过螺栓铆合连接于吹扫送风机盒内壁上,所述电路启动触发装置嵌设于模块装载盒底部,所述电路启动触发装置通过螺栓铆合连接于吹扫送风机盒内部底面上,所述控制传动电机通过螺栓与电路启动触发装置铆合连接于同一水平面上。2.根据权利要求1所述的一种具有清洁功能的模块装载装置,其特征在于:所述除尘旋转装置设有旋转控制轴、除尘黏盘、除尘过滤网,所述旋转控制轴通过螺纹啮合连接于控制传动齿轮组上,所述除尘黏盘通过螺纹均匀等距啮合连接于旋转控制轴上,所述除尘过滤网嵌设于杂物抽吸清理盒与吹扫送风机盒之间。3.根据权利要求2所述的一种具有清洁功能的模块装载装置,其特征在于:所述控制传动齿轮组设有齿轮组固定支架、第一传动大齿轮、第一齿轮传送带、第一传动小齿轮,所述齿轮组固定支架通过螺栓铆合连接于杂物抽吸清理盒内壁上,所述第一传动大齿轮通过螺纹啮合连接于齿轮组固定支架侧面上。4.根据权利要求3所述的一种具有清洁功能的模块装载装置,其特征在于:所述第一齿轮传送带连接于第一传动大齿轮与第一传动小齿轮之间,所述第一传动小齿轮通过螺纹啮合连接于齿轮组固定支架侧面上。5.根据权利要求1所述的一种具有清洁功能的模块装载装置,其特征在于:所述送风控制装置设有送风真空泵、总控制电源盒、通风传...
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