涂敷装置、涂敷方法和喷嘴制造方法及图纸

一种涂敷技术和喷嘴，能够抑制喷嘴清扫处理中的喷嘴和喷嘴抵接构件的摩耗和破损且利用喷嘴在适当范围内涂敷涂敷液。涂敷装置具备：喷嘴，从设置于喷嘴主体部的顶端部的狭缝状的喷出口喷出涂敷液；喷嘴抵接构件，具有能够与顶端部抵接的凹部；驱动部，使喷嘴抵接构件相对于喷嘴从喷出口的延伸方向的一侧向另一侧相对地移动。顶端部具有：喷出口形成部，形成有喷出口；以及倾斜部，从喷出口形成部的一侧端部向延伸方向的一侧且向与喷出涂敷液的方向相反的一侧延伸。驱动部在使喷嘴抵接构件的凹部与倾斜部抵接且使喷嘴抵接构件沿着倾斜部相对地移动到喷出口形成部后，一边使凹部与喷出口形成部抵接一边使喷嘴抵接构件相对于喷出口形成部移动。

Coating device, coating method and nozzle

A coating technology and a nozzle can suppress the friction and damage of the nozzle and the nozzle butt member in the cleaning treatment of the nozzle and apply the coating liquid in an appropriate range by using the nozzle. The coating device is provided with: a spray nozzle which sprays coating liquid from a slit-like ejector at the top end of the main body of the nozzle; a spray nozzle connecting member which has a concave part capable of connecting with the top end; and a driving part which makes the nozzle connecting member move relative to the nozzle from one side of the extending direction of the nozzle to the other side. The top end has: an ejector forming part, forming an ejector; and an inclined part, extending from one end of the ejector forming part to one side in the extension direction and to the opposite side in the direction of the ejector coating liquid. After the drive part connects the concave part of the nozzle joint member with the inclined part and moves the nozzle joint member relative to the ejector forming part along the inclined part, the drive part connects the concave part with the ejector forming part and moves the nozzle joint member relative to the ejector forming part.

【技术实现步骤摘要】
涂敷装置、涂敷方法和喷嘴
本专利技术涉及从设置于喷嘴的顶端部的排出口喷出涂敷液来涂敷基板的涂敷装置、涂敷方法和喷嘴。其中，上述基板包括：液晶显示装置用玻璃基板、半导体基板、等离子显示器(PDP：PlasmaDisplayPanel)用玻璃基板、光掩模用玻璃基板、滤色片用基板、存储盘用基板、太阳能电池用基板、电子纸用基板等精密电子装置用基板、矩形玻璃基板、薄膜液晶用柔性基板、有机电致发光(EL：ElectroLuminescence)用基板(以下简称为“基板”)。
技术介绍
以往，为了向基板涂敷涂敷液，通常使用例如专利第5346643号公报中记载那样从喷出口喷出涂敷液的喷嘴。在这样的喷嘴中，存在附着在设置有喷出口的顶端部的侧面上的涂敷液等附着物干燥硬化而落在基板上导致污染基板的情况。因此，使用例如日本专利第5766990号公报所记载的涂敷液的去除技术。日本专利第5766990号公报所记载的狭缝式涂敷机(涂敷装置)中，在通过喷嘴开始涂敷前执行喷嘴清扫处理。在该喷嘴清扫处理中，通过在使设置于擦拭头的喷嘴抵接构件与喷嘴的顶端部抵接的状态下使擦拭头相对喷嘴移动，去除附着于喷嘴的顶端部的侧面的涂本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种涂敷装置，其特征在于，具备：喷嘴，从设置于喷嘴主体部的顶端部的狭缝状的喷出口喷出涂敷液；喷嘴抵接构件，具有能够与所述顶端部抵接的凹部；以及驱动部，使所述喷嘴抵接构件相对于所述喷嘴从所述喷出口的延伸方向的一侧向另一侧移动，所述顶端部具有：喷出口形成部，形成有所述喷出口；以及倾斜部，从所述喷出口形成部的一侧的端部向所述延伸方向的一侧且向喷出所述涂敷液的方向的相反侧延伸，所述驱动部在使所述喷嘴抵接构件的所述凹部与所述倾斜部抵接且使所述喷嘴抵接构件沿着所述倾斜部相对地移动到所述喷出口形成部后，一边使所述凹部与所述喷出口形成部抵接，一边使所述喷嘴抵接构件相对于所述喷出口形成部移动。

【技术特征摘要】
2017.05.11 JP 2017-0948511.一种涂敷装置，其特征在于，具备：喷嘴，从设置于喷嘴主体部的顶端部的狭缝状的喷出口喷出涂敷液；喷嘴抵接构件，具有能够与所述顶端部抵接的凹部；以及驱动部，使所述喷嘴抵接构件相对于所述喷嘴从所述喷出口的延伸方向的一侧向另一侧移动，所述顶端部具有：喷出口形成部，形成有所述喷出口；以及倾斜部，从所述喷出口形成部的一侧的端部向所述延伸方向的一侧且向喷出所述涂敷液的方向的相反侧延伸，所述驱动部在使所述喷嘴抵接构件的所述凹部与所述倾斜部抵接且使所述喷嘴抵接构件沿着所述倾斜部相对地移动到所述喷出口形成部后，一边使所述凹部与所述喷出口形成部抵接，一边使所述喷嘴抵接构件相对于所述喷出口形成部移动。2.根据权利要求1所述的涂敷装置，其特征在于，所述顶端部具有台阶部，所述台阶部在所述喷出口形成部的另一侧向喷出所述涂敷液的方向的相反侧延伸。3.根据权利要求1或2所述的涂敷装置，其特征在于，从喷出所述涂敷液的方向的下游侧观察时，所述倾斜部具有从所述喷出口形成部的一侧的端部向所述延伸方向的一侧扩展的形状。4.根据权利要求3所述的涂敷装置，其特征在于，从喷出所述涂敷液的方向的下游侧观察时的所述倾斜部的形状是大致三角形。5.一种涂敷方法，其特征在于，具备：涂敷工序，从设置于喷嘴主体部的顶端...

【专利技术属性】
技术研发人员：安陪裕滋，
申请(专利权)人：株式会社斯库林集团，
类型：发明
国别省市：日本,JP