金属氧化物气体传感器制造技术

本实用新型专利技术提供一种金属氧化物气体传感器。所述金属氧化物气体传感器包括基底以及多个气敏元件。所述基底设置有多个间隔设置的镂空部。每个所述气敏元件设置于一个所述镂空部中。多个所述气敏元件与多个所述镂空部一一对应设置，同时切除了所述基底上多余的部分，从而使得所述基底镂空。由于镂空后的所述基底的面积变小，减小了所述气敏元件阵列封装结构的发热面积，进而降低了所述气敏元件阵列封装结构的热功耗。

【技术实现步骤摘要】
金属氧化物气体传感器
本技术涉及金属氧化物气敏元件阵列领域，特别是涉及一种金属氧化物气体传感器。
技术介绍
以气体传感器元件阵列为核心的电子鼻，是一种模拟生物嗅觉的分析仪器，可应用于食品质量检测与控制、环境监测、公共安全、医疗卫生和航空航天等各种气味分析场合。在所有电子鼻的气敏元件类型中，金属氧化物气敏元件因其具有敏感度高、响应时间快等优点，成为世界上产量最大，应用最广泛的一类气体传感器。金属氧化物形成气敏元件阵列(元件个数≥1)时，正常工作温度通常为200℃～300℃。目前，成熟的气敏膜制备方法为丝网印刷技术，其所得到的承载阵列气敏膜的基片尺寸一般为毫米级，因而阵列基片会有一定的热耗散。阵列的热耗散直接决定了阵列的功耗，然而携式设备对功率有严格限制，因此减小阵列热耗散是电子鼻设备可便携的前提。气体传感器的结构很大程度上决定了功耗的大小。但是，目前传统的气敏元件阵列封装结构仍存在发热面积大，封装结构热功耗高的问题。
技术实现思路
基于此，有必要针对传统的气体传感器封装结构的发热面积大、热功耗高的问题，提供一种机械稳定好的金属氧化物气体传感器。一种金属氧化物气体传感器包括基底以及多个气敏元件。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种金属氧化物气体传感器，其特征在于，包括：基底(20)，所述基底(20)设置有多个间隔设置的镂空部(30)；以及多个气敏元件(40)，每个所述气敏元件(40)悬空设置于一个所述镂空部(30)中；每个所述气敏元件(40)包括基片(410)、加热电极层(420)、测试电极层(430)以及气敏材料层(440)；所述基片(410)具有第一表面(412)和与所述第一表面(412)相对的第二表面(414)，所述基片(410)悬空设置于所述镂空部(30)；所述加热电极层(420)设置于所述第一表面(412)；所述测试电极层(430)设置于所述第二表面(414)；所述气敏材料层(440)设置于所述第二表...

【技术特征摘要】
1.一种金属氧化物气体传感器，其特征在于，包括：基底(20)，所述基底(20)设置有多个间隔设置的镂空部(30)；以及多个气敏元件(40)，每个所述气敏元件(40)悬空设置于一个所述镂空部(30)中；每个所述气敏元件(40)包括基片(410)、加热电极层(420)、测试电极层(430)以及气敏材料层(440)；所述基片(410)具有第一表面(412)和与所述第一表面(412)相对的第二表面(414)，所述基片(410)悬空设置于所述镂空部(30)；所述加热电极层(420)设置于所述第一表面(412)；所述测试电极层(430)设置于所述第二表面(414)；所述气敏材料层(440)设置于所述第二表面(414)，并覆盖所述测试电极层(430)。2.如权利要求1所述的金属氧化物气体传感器，其特征在于，所述基片(410)与所述基底(20)一体成型。3.如权利要求1所述的金属氧化物气体传感器，其特征在于，所述加热电极层(420)为图案化电极，所述测试电极层(430)也为图案化电极。4.如权利要求1所述的金属氧化物气体传感器，其特征在于，所述气敏元件(40)还包...

【专利技术属性】
技术研发人员：左国民，高适，张顺平，王学峰，李丹萍，张立功，王宁，周建梅，鲁胜利，
申请(专利权)人：中国人民解放军陆军防化学院，
类型：新型
国别省市：北京,11