搬运装置及层叠体的制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供能将片状构件以平坦状态搬运、抑制向片状构件产生褶皱且使存在于片状构件的褶皱伸展的搬运装置、以及包括使用该搬运装置来搬运片状构件的工序的层叠体的制造方法。搬运装置用于搬运片状构件，具有：带状构件，其用于载置片状构件并将片状构件沿着搬运方向搬运，且具有在厚度方向上贯穿的多个孔；吸引部，其相对于带状构件配置在与载置片状构件这侧相反的一侧，吸引部对周围气氛进行吸引，从而利用通过带状构件的所述孔的吸引力来将片状构件相对于带状构件进行保持，所述搬运装置具有使片状构件被搬运时作用于片状构件的吸引力在该片状构件的至少两个区域中不同的搬运区域。

【技术实现步骤摘要】
搬运装置及层叠体的制造方法
本专利技术涉及用于搬运片状构件的搬运装置及层叠体的制造方法。
技术介绍
片状构件例如在吸附构件、印制布线基板及光学构件等各种领域中使用。这样的片状构件大多在包含其的层叠体的制造工序等中使用带状构件来搬运。然而，当使用带状构件搬运片状构件时，片状构件有时会晃动。若片状构件晃动，则有时在片状构件产生卷曲或产生褶皱。近年来，多使用薄型的片状构件，薄型的片状构件尤其容易产生褶皱、卷曲。当在片状构件产生褶皱、卷曲等时，作业效率变差，有可能对产品的成品率产生不良影响。例如，在专利文献1(日本特开2008-53572号公报)中，作为抑制在多层印制布线基板的制造所使用的预浸材料片产生褶皱的尝试，公开了预浸材料片固定装置。具体而言，公开了如下内容：使用包括对预浸材料片进行真空吸附的吸附工作台和抓住所述预浸材料片的周边部而使所述预浸材料片向所述吸附工作台上移动的移动部的预浸材料片固定装置，在预浸材料片固定装置中，所述吸附工作台具有一边赋予时间差一边独立地进行真空吸附的多个真空吸附部(专利文献1的权利要求1)。在先技术文献专利文献专利文献1：日本特开2008-53572号公报然本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种搬运装置，其用于搬运片状构件，所述搬运装置的特征在于，具有：带状构件，其用于载置片状构件并将片状构件沿着搬运方向搬运，所述带状构件具有在厚度方向上贯穿的多个孔；以及吸引部，其相对于带状构件配置在与载置片状构件这侧相反的一侧，所述吸引部对周围气氛进行吸引，从而利用通过带状构件的所述孔的吸引力来将片状构件相对于带状构件进行保持，并且，所述搬运装置具有使片状构件被搬运时作用于片状构件的吸引力在该片状构件的至少两个区域中不同的搬运区域。

【技术特征摘要】
2017.04.26 JP 2017-0874891.一种搬运装置，其用于搬运片状构件，所述搬运装置的特征在于，具有：带状构件，其用于载置片状构件并将片状构件沿着搬运方向搬运，所述带状构件具有在厚度方向上贯穿的多个孔；以及吸引部，其相对于带状构件配置在与载置片状构件这侧相反的一侧，所述吸引部对周围气氛进行吸引，从而利用通过带状构件的所述孔的吸引力来将片状构件相对于带状构件进行保持，并且，所述搬运装置具有使片状构件被搬运时作用于片状构件的吸引力在该片状构件的至少两个区域中不同的搬运区域。2.根据权利要求1所述的搬运装置，其中，在搬运方向上作用于片状构件的下游侧的区域的吸引力比作用于片状构件的上游侧的区域的吸引力大。3.根据权利要求1或2所述的搬运装置，其中，作用于片状构件的吸引力在与搬运方向平行的方向上阶段性分布。4.根据权利要求3所述的搬运装置，其中，与所述阶段性分布对应地，吸引部通过...

【专利技术属性】
技术研发人员：井上宽文，松本周三，松本大辅，
申请(专利权)人：住友化学株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP