一种仿生流速传感器制造技术

本发明专利技术公开了一种仿生流速传感器。所述仿生流速传感器是基于缨小蜂的翅膀形态仿生得到的，包括：基座、压阻单元、信号引线以及悬臂梁；所述悬臂梁固定在所述基座上；所述悬臂梁的两侧分布有梳齿状纤毛；所述压阻单元固定在所述悬臂梁上，且与所述基座相接触；所述信号引线固定在所述基座上，且与所述压阻单元相连接，所述压阻单元由所述信号引线将所述压阻单元的电阻信号输出。采用本发明专利技术所提供的仿生流速传感器能够提高流速传感器的灵敏度，以提高流速测量的测量精度。

【技术实现步骤摘要】
一种仿生流速传感器
本专利技术涉及流速测量
，特别是涉及一种仿生流速传感器。
技术介绍
流速传感器是感知外界流场变化信息不可或缺的手段，低雷诺数(Re<10)下的微流场的精确检测有着重要的意义，目前的机械式传感器一般为由金属探头探测温度以测量流速、以涡轮内改变线圈的磁通量以测量流速或用多次摄像以记录流场中粒子的位置，并分析摄得的图像从而测出流动速度，而上述机械式传感器只适用于普通流速场，而对于低雷诺数下的微流场来说，检测流速时灵敏度较低。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种仿生流速传感器，以解决机械式传感器精度低、灵敏度差的问题。为实现上述目的，本专利技术提供了如下方案：一种仿生流速传感器，所述仿生流速传感器是基于缨小蜂的翅膀形态仿生得到的，包括：基座、压阻单元、信号引线以及悬臂梁；所述悬臂梁固定在所述基座上；所述悬臂梁的两侧分布有梳齿状纤毛；所述压阻单元固定在所述悬臂梁上，且与所述基座相接触；所述信号引线固定在所述基座上，且与所述压阻单元相连接，所述压阻单元由所述信号引线将所述压阻单元的电阻信号输出。可选的，所述悬臂梁与所述基座相互垂直。可选的，所述悬臂梁为中空形态；所述梳齿状纤毛分布在所述悬臂梁的两侧的内壁或所述悬臂梁的两侧的外壁上。可选的，所述梳齿状纤毛具有多条；所述悬臂梁的两侧所分布的所述梳齿状纤毛对称分布。可选的，所述梳齿状纤毛的宽度小于2微米，相邻的所述梳齿状纤毛之间的间隙为所述宽度的5～10倍。可选的，所述梳齿状纤毛的长度相同。可选的，所述仿生流速传感器还包括：参考压阻单元以及参考信号引线；所述参考压阻单元与所述参考信号引线相连接且均设于所述基座上；所述参考信号引线与所述信号引线相互平行。可选的，多个所述仿生流速传感器构成仿生流速传感器阵列。根据本专利技术提供的具体实施例，本专利技术公开了以下技术效果：本专利技术提出了一种仿生流速传感器，基于缨小蜂的翅膀形态得到该仿生流速传感器，缨小蜂的翅膀形态为梳子翼，本专利技术基于缨小蜂的翅膀形态设置悬梁臂，且在所述悬臂梁的两侧分布有梳齿状纤毛，构造缨小蜂的翅膀形态，当有微小流场流过时，流场与分布有梳齿状纤毛的悬臂梁发生流固耦合作用，由于悬梁臂所具有梳齿状纤毛，悬梁臂在惯性力和梳子翼纤毛间的粘性力的作用下，沿着流场流动方向发生弯曲偏移，相比没有梳齿状纤毛的传统悬臂梁来说，受到的阻力更大，压阻单元应力变化更加明显，因此，本专利技术所提供的仿生流速传感器具有更高的灵敏度。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本专利技术所提供的缨小蜂的翅膀形态-梳子翼的形态示意图；图2为本专利技术所提供的低雷诺数下梳子翼结构对流场阻塞作用示意图；图3为本专利技术所提供的低雷诺数下梳子翼结构对流场阻塞仿真结果示意图；图4为本专利技术所提供的仿生流速传感器结构图；图5为本专利技术所提供的梳子翼结构悬臂梁在流程下的变形仿真图；图6为本专利技术所提供的与图5所提供的梳子翼结构悬臂梁等面积普通悬臂梁(无梳子翼结构)在相同流场下的变形仿真图；图7为本专利技术所提供的另一种仿生流速传感器结构图；图8为本专利技术所提供的仿生流速传感器阵列示意图。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。本专利技术的目的是提供一种仿生流速传感器，该仿生流速传感器具有高灵敏度，能够提高在低雷诺数下的微流场内流速的测量精度。为使本专利技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本专利技术作进一步详细的说明。生物在几亿年的繁衍生息中进化出了很多奇特的结构，给我们提供了很多的灵感。如图1-图3所示，缨小蜂是一种体长不超过1毫米的寄生蜂，其翅膀边缘不再是膜翅，而是分布着很多细长的纤毛。这些纤毛之间距离很近，而且有着较大的刚度。这种翅膀形态我们称之为梳子翼，研究表明，在低雷诺数(Re<10)下，由于空气粘性力的作用以及边界层效应，梳子翼结构可以看成一个连续的平面，在保证足够升力的基础上，能够有效的减小自身重量，提高飞行效率。图4为本专利技术所提供的仿生流速传感器结构图，如图4所示，一种仿生流速传感器，所述仿生流速传感器是基于缨小蜂的翅膀形态仿生得到的，包括：基座1、压阻单元2、信号引线3以及悬臂梁4；所述悬臂梁4固定在所述基座1上；所述悬臂梁4的两侧分布有梳齿状纤毛5，构成梳子翼结构；所述压阻单元2固定在所述悬臂梁4上，且与所述基座1相接触；即：压阻单元2位于悬臂梁4根部；所述的压阻单元2，位于悬臂梁4的根部，随着悬臂梁4的受力而发生应力变化，从而导致电阻的变化；所述信号引线3固定在所述基座1上，且与所述压阻单元2相连接，所述压阻单元2由所述信号引线3将所述压阻单元2的电阻信号输出；所述的信号引线3分别由压阻单元2的两侧引出，用于传导电信号。当流场作用于悬臂梁4时，由于流固耦合的作用，悬臂梁4受力，位于悬臂梁4根部的压阻单元2受到拉应力或压应力，从而电阻值发生变化。变化的电阻通过信号引线3连接到处理电路中，从而通过检测电信号的变化得出流场流速信息，从而实现流速的测量。本专利技术所提供的流速传感器将周围布满梳子翼毛的悬臂梁4作为流固耦合单元，模仿缨小蜂梳子翼结构设计的，如图5-图6所示，有梳子翼比无梳子翼有更大的变形，能够在低雷诺数下对流场产生阻塞作用，相对于等面积的普通矩形悬臂梁4获得更大的阻力，可以发生更大的形变，从而具有更高的流速灵敏度。在实际应用中，所述悬臂梁4与所述基座1相互垂直；所述悬臂梁4为中空形态；所述梳齿状纤毛5分布在所述悬臂梁4的两侧的内壁或所述悬臂梁4的两侧的外壁上；所述梳齿状纤毛5具有多条；图7为本专利技术所提供的另一种仿生流速传感器结构图，如图7所示，所述悬臂梁4的两侧所分布的所述梳齿状纤毛5对称分布；所述梳齿状纤毛5的宽度小于2微米，相邻的所述梳齿状纤毛5之间的间隙为所述宽度的5～10倍；所述梳齿状纤毛5的长度相同；所述仿生流速传感器还包括：参考压阻单元6以及参考信号引线7；所述参考压阻单元6与所述参考信号引线7相连接且均设于所述基座1上；所述参考信号引线7与所述信号引线3相互平行；图8为本专利技术所提供的仿生流速传感器阵列示意图，如图8所示，多个所述仿生流速传感器构成仿生流速传感器阵列。当有微小流场流过时，流场与仿生梳子翼悬臂梁发生流固耦合作用，悬臂梁在惯性力和梳子翼纤毛间的粘性力的作用下，沿着流场流动方向发生弯曲偏移。从而导致悬臂梁根部的压阻单元应力发生变化，从而使电阻发生变化，将流速信号转变为电路中的变化的电信号，从而得到流场的流速信息。梳子翼结构的悬臂梁相比于传统悬臂梁，在等表面积(体积)、相同流场流速的前提下，梳子翼悬臂梁在流固耦合作用下能够受到更大的阻力，因此具有更高的灵敏度。在低雷诺数下，当气流流过梳子翼结构时，由于边界层效应和空气粘性力的作用，梳子本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种仿生流速传感器，其特征在于，所述仿生流速传感器是基于缨小蜂的翅膀形态仿生得到的，包括：基座、压阻单元、信号引线以及悬臂梁；所述悬臂梁固定在所述基座上；所述悬臂梁的两侧分布有梳齿状纤毛；所述压阻单元固定在所述悬臂梁上，且与所述基座相接触；所述信号引线固定在所述基座上，且与所述压阻单元相连接，所述压阻单元由所述信号引线将所述压阻单元的电阻信号输出。

【技术特征摘要】
1.一种仿生流速传感器，其特征在于，所述仿生流速传感器是基于缨小蜂的翅膀形态仿生得到的，包括：基座、压阻单元、信号引线以及悬臂梁；所述悬臂梁固定在所述基座上；所述悬臂梁的两侧分布有梳齿状纤毛；所述压阻单元固定在所述悬臂梁上，且与所述基座相接触；所述信号引线固定在所述基座上，且与所述压阻单元相连接，所述压阻单元由所述信号引线将所述压阻单元的电阻信号输出。2.根据权利要求1所述的仿生流速传感器，其特征在于，所述悬臂梁与所述基座相互垂直。3.根据权利要求1所述的仿生流速传感器，其特征在于，所述悬臂梁为中空形态；所述梳齿状纤毛分布在所述悬臂梁的两侧的内壁或所述悬臂梁的两侧的外壁上。4.根据权利要求3所述的仿生流速...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒋永刚，董子豪，张德远，沈大卫，
申请(专利权)人：北京航空航天大学，
类型：发明
国别省市：北京,11