树脂组合物制造技术

本发明专利技术的课题在于提供能够通过低温下的加热处理来进行固化、而且能够得到耐热性、耐化学药品性及断裂点伸长率优异的固化膜的树脂组合物。树脂组合物，其含有：(A)包含选自聚苯并噁唑前体、聚酰亚胺前体、聚酰胺酰亚胺前体及它们的共聚物中的一种以上、且具有苯并噁唑前体结构及脂肪族基团的碱溶性树脂；以及，(B)热产酸剂和(E)抗氧化剂。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】树脂组合物
本专利技术涉及适用于半导体元件等的表面保护膜、层间绝缘膜、有机电致发光元件的绝缘层等的树脂组合物。
技术介绍
一直以来，在半导体元件的表面保护膜、层间绝缘膜、有机电致发光元件的绝缘层、TFT基板的平坦化膜中广泛使用了耐热性、电绝缘性、机械特性等优异的聚酰亚胺系树脂、聚苯并噁唑系树脂。在使聚酰亚胺前体、聚苯并噁唑前体、聚酰胺酰亚胺前体的涂膜在热作用下脱水闭环从而得到耐热性、机械特性优异的薄膜的情况下，通常需要进行350℃左右的高温烧成。需要说明的是，有时将使聚酰亚胺前体、聚苯并噁唑前体、聚酰胺酰亚胺前体的涂膜在热作用下脱水闭环从而得到耐热性、机械特性优异的薄膜时的操作称为烧成，将涂膜的变化称为固化。但是，从近年来使用的存储设备、制作半导体封装时所用的模制树脂等不耐受高温工艺这样的观点、以及半导体封装可靠性的观点考虑，对于表面保护膜、层间绝缘膜而言，要求能够通过250℃以下(进一步优选220℃以下)的低温下的烧成来进行固化、且具有高的机械特性、热特性的聚酰亚胺系树脂、聚苯并噁唑系树脂、聚酰胺酰亚胺系树脂。作为能够于低温进行固化的树脂组合物，已知下述组合物：含有聚酰亚胺、聚苯并噁唑、聚苯并咪唑、聚苯并噻唑等树脂及热交联剂的树脂组合物(专利文献1)；含有碱溶性聚酰胺酰亚胺、光产酸剂、溶剂及交联剂的正型感光性聚酰胺酰亚胺树脂组合物(专利文献2)；含有碱溶性聚酰亚胺、醌二叠氮化合物、热交联剂、热产酸剂及密合改良剂的正型感光性聚酰亚胺树脂组合物(专利文献3)等。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2007-16214号公报专利文献2：日本特开2007-240554号公报专利文献3：日本特开2013-72935号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题然而，专利文献1～3公开的那样的、能够通过250℃以下的低温下的加热处理来进行固化的树脂组合物在耐热性、耐化学药品性等特性方面存在问题。本专利技术的目的在于，解决现有技术中伴随的上述问题点，提供能够通过低温下的加热处理来进行固化、且能够得到耐热性、耐化学药品性、及断裂点伸长率优异的固化膜的树脂组合物。用于解决课题的手段本专利技术具有下述构成。即，树脂组合物，其含有：(A)包含选自聚苯并噁唑前体、聚酰亚胺前体、聚酰胺酰亚胺前体及它们的共聚物中的一种以上、且具有苯并噁唑前体结构及脂肪族基团的碱溶性树脂，以及，(B)热产酸剂和(E)抗氧化剂。专利技术的效果根据本专利技术的树脂组合物，能够通过低温下的加热处理来进行固化，且能够得到耐热性、耐化学药品性、及断裂点伸长率优异的固化膜。附图说明[图1]为表示具有凸块的半导体器件的焊盘部分的放大截面的图。[图2]为表示具有凸块的半导体器件的详细制作方法的图。[图3]为表示本专利技术的实施例的半导体器件的制造工序的截面图。[图4]为表示本专利技术的实施例的电感器装置的线圈部件的截面图。具体实施方式本专利技术的树脂组合物含有：(A)包含选自聚苯并噁唑前体、聚酰亚胺前体、聚酰胺酰亚胺前体及它们的共聚物中的一种以上、且具有苯并噁唑前体结构及脂肪族基团的碱溶性树脂，以及，(B)热产酸剂和(E)抗氧化剂。另外，优选为还含有(C)热交联剂及(D)感光性化合物的树脂组合物。以下，有时分别简称为(A)成分、(B)成分、(C)成分、及(D)化合物。本专利技术中所谓碱溶性，是指将利用以下记载的方法形成的预烘烤膜浸渍于以下记载的碱性水溶液时的溶解速度为50nm/分钟以上。详细而言是指：在硅晶片上涂布将树脂溶解于γ-丁内酯中而得到的溶液，并于120℃进行4分钟预烘烤，而形成膜厚为10μm±0.5μm的预烘烤膜，将上述预烘烤膜浸渍于23±1℃的2.38质量％四甲基氢氧化铵水溶液中1分钟，然后用纯水进行漂洗处理，根据此时的膜厚减少而求出的溶解速度为50nm/分钟以上。对于本专利技术中使用的(A)成分即碱溶性树脂而言，优选在树脂的结构单元中或在主链末端或者在该两者具有酸性基团。作为酸性基团，可举出例如羧基、酚式羟基、磺酸基及硫醇基等。通过具有所述酸性基团，从而能够具有良好的碱溶性。关于(A)成分中的酸性基团的含量，从提高碱溶性的观点考虑，优选为1质量％以上，从耐化学药品性、吸水性等观点考虑，优选为30质量％以下。(A)成分优选具有氟原子。通过使(A)成分具有氟原子，从而使得形成的膜具有防水性，在利用碱性水溶液进行显影时，可抑制碱性水溶液向膜与基材的界面渗入。需要说明的是，有时也将显影时使用的碱性水溶液记载为碱性显影液。关于(A)成分中的氟原子含量，从抑制碱性水溶液向膜与基材的界面渗入的效果的观点考虑，优选为5质量％以上，从在碱性水溶液中的溶解性的观点考虑，优选为20质量％以下。作为(A)成分的碱溶性树脂的耐热性高是优选的。尤其是从作为有机发光装置、显示装置、半导体元件中使用的平坦化膜、绝缘层、隔壁、保护膜、及层间绝缘膜可获得优异特性的方面考虑，优选在热处理后的160℃以上的温度条件下逸气量少。具体而言，作为优选例，可举出聚苯并噁唑前体、聚酰亚胺前体、聚酰胺酰亚胺前体、及它们的共聚物。本专利技术中使用的(A)成分优选具有下述通式(1)表示的结构单元。另外，还可进一步具有其他结构单元。作为该情况下的其他结构单元，可举出例如酰亚胺结构、具有在构成环状结构的季碳原子上键合有两个环状结构而成的骨架的结构、硅氧烷结构等，但并不限定于这些。进一步具有其他结构单元时，优选具有全部结构单元数中的50摩尔％以上的通式(1)表示的结构单元。[化学式1](通式(1)中，X及Y各自独立地表示具有2个以上碳原子的2～8价有机基团。R1及R2各自独立地表示氢、或碳原子数1～20的有机基团。n表示10～100,000的范围内的整数。r及s表示0～2的范围内的整数，p及q表示0～4的范围内的整数。)另外，(A)成分具有苯并噁唑前体结构。通过具有苯并噁唑前体结构，从而使得感光性能提高，并且能够对将含有(A)成分的树脂组合物进行固化而成的固化膜赋予高伸长率特性，进而，通过使苯并噁唑前体闭环，从而耐热性、耐化学药品性提高。另外，(A)成分具有脂肪族基团。上述脂肪族基团优选具有亚烷基及氧基亚烷基中的至少一种有机基团。具体而言，可举出亚烷基、亚环烷基、氧基亚烷基、氧基亚环烷基等。另外，上述脂肪族基团优选为下述通式(2)表示的基团。[化学式2](通式(2)中，R3～R6各自独立地表示碳原子数1～6的亚烷基。R7～R14各自独立地表示氢、氟、或、碳原子数1～6的烷基。其中，括号内表示的结构各不相同。x、y、z各自独立地表示0～35的整数。)通过使(A)成分具有脂肪族基团，从而使得将含有(A)成分的树脂组合物进行固化而成的固化膜具有高伸长率特性。另外，通过使(A)成分具有脂肪族基团，从而在树脂中产生柔软性，能够抑制在树脂的苯并噁唑前体结构闭环时产生的应力的增加。由此，能够抑制与苯并噁唑前体结构的脱水闭环相伴的向基板晶片施加的应力的增加。另外，脂肪族基团具有低紫外线吸收性，因此，通过脂肪族基团的导入可使得i射线透过性提高，同时也可以实现高敏感度化。关于本专利技术中使用的(A)成分的重均分子量，从固化膜具有高伸长率特性的观点考虑，优选为600以上，更优选为900以上。另外，从维持在碱性溶液中的溶解性的观点考虑，优选为2,000以下，更优选为1,8本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.树脂组合物，其含有：(A)包含选自聚苯并噁唑前体、聚酰亚胺前体、聚酰胺酰亚胺前体、及它们的共聚物中的一种以上、且具有苯并噁唑前体结构及脂肪族基团的碱溶性树脂，以及(B)热产酸剂和(E)抗氧化剂。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.04.25 JP 2016-086838;2016.09.20 JP 2016-182581.树脂组合物，其含有：(A)包含选自聚苯并噁唑前体、聚酰亚胺前体、聚酰胺酰亚胺前体、及它们的共聚物中的一种以上、且具有苯并噁唑前体结构及脂肪族基团的碱溶性树脂，以及(B)热产酸剂和(E)抗氧化剂。2.如权利要求1所述的树脂组合物，其中，所述(A)包含选自聚苯并噁唑前体、聚酰亚胺前体、聚酰胺酰亚胺前体、及它们的共聚物中的一种以上、且具有苯并噁唑前体结构及脂肪族基团的碱溶性树脂具有通式(1)表示的结构单元，[化学式1]通式(1)中，X及Y各自独立地表示具有2个以上碳原子的2～8价有机基团；R1及R2各自独立地表示氢、或碳原子数1～20的有机基团；n表示10～100,000的范围内的整数；r及s表示0～2的范围内的整数，p及q表示0～4的范围内的整数。3.如权利要求1或2所述的树脂组合物，其中，所述脂肪族基团具有亚烷基及氧基亚烷基中的至少任一种有机基团。4.如权利要求1～3中任一项所述的树脂组合物，其中，所述脂肪族基团由下述通式(2)表示，[化学式2]通式(2)中，R3～R6各自独立地表示碳原子数1～6的亚烷基；R7～R14各自独立地表示氢、氟、或碳原子数1～6的烷基；其中，括号内表示的结构各不相同；x、y、z各自独立地表示0～35的整数。5.如权利要求2所述的树脂组合物，其中，所述通式(1)中的Y具有下述通式(2)表示的脂肪族基团，[化学式3]通式(2)中，R3～R6各自独立地表示碳原子数1～6的亚烷基；R7～R14各自独立地表示氢、氟、或碳原子数1～6的烷基；其中，括号内表示的结构各不相同；x、y、z各自独立地表示0～35的整数。6.如权利要求1～5中任一项所述的树脂组合物，其中，所述(B)热产酸剂包含选自下述通式(3)表示的磺酸酯化合物、通式(4)表示的磺酸酯化合物、及鎓盐中的一种以上的化合物，[化学式4]通式(3)及(4)中，R20～R22各自独立地表示碳原子数1～12的脂肪族基团、或碳原子数4～12的芳香族基团。7.如权利要求1～6中任一项所述的树脂组合物，其中，...

【专利技术属性】
技术研发人员：桥本启华，庄司优，奥田良治，
申请(专利权)人：东丽株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP