一种半导体材料设备制造技术

本发明专利技术公开了一种半导体材料设备，包括第一固定板以及固定安装在所述第一固定板上的装配箱，所述第一固定板上固有第一安放槽和第二安放槽，所述装配箱内有转向腔，所述第一固定板上固定安装有装配块，所述装配块上固设有马达，所述马达固设有转向轴，所述转向轴上固定安装第一锥边轮，所述第一锥边轮与第二锥边轮配合连接，所述第二锥边轮固定安装于第二转向轴上，所述第二转向轴分为上中下三段，所述第二转向轴中段通过第二键槽用第二平键固定安装第二锥边轮，所述第二转向轴中段上插接配合转向套，所述第二转向轴上段通过第一键槽用第一平键固定连接转向环，所述转向环上有第一螺孔，所述转向环上螺栓连接转向环第一罩盖。

A semiconductor material equipment

The invention discloses a semiconductor material device, which comprises a first fixing plate and an assembly box fixed on the first fixing plate. The first fixing plate has an inherent first and second placement slots. The assembly box has a steering chamber, and the first fixing plate is fixed with an assembly block, and the assembly block is fixed on the first fixing plate. The motor is fixedly provided with a steering axle, and the first conical side wheel is fixed and connected with the second conical side wheel. The second conical side wheel is fixed on the second steering axle. The second steering axle is divided into upper, middle and lower three sections. The middle section of the second steering axle passes through the second key. The slot is fixed with the second flat key to install the second conical side wheel, and the middle part of the second steering shaft is inserted with the steering sleeve. The second steering shaft is fixed with the first flat key to connect the steering ring ring ring ring ring ring ring ring ring ring ring ring ring ring ring ring ring ring ring ring ring ring ring ring ring ring ring ring ring ring ring ring ring ring ring ring ring ring ring ring ring ring ring ring ring ring ring ring ring ring ring ring ring ring ring ring ring ring ring

【技术实现步骤摘要】
一种半导体材料设备
本专利技术涉及半导体材料
，具体为一种半导体材料设备。
技术介绍
在半导体材料加工生产时往往要进行切割、打孔等一系列操作，在加工生产中一般都是将半导体材料固定与控制台上，但是传统的控制台是手动转动，或者不可转动，给半导体材料加工生产时带来极大影响需要改进。
技术实现思路
本专利技术的目的专利技术一种半导体材料设备，用于克服现有技术中的上述缺陷。根据本专利技术的实施例的一种半导体材料设备，包括第一固定板以及固定安装在所述第一固定板上的装配箱，所述第一固定板上固有第一安放槽和第二安放槽，所述装配箱内有转向腔，所述第一固定板上固定安装有装配块，所述装配块上固设有马达，所述马达固设有转向轴，所述转向轴上固定安装第一锥边轮，所述第一锥边轮与第二锥边轮配合连接，所述第二锥边轮固定安装于第二转向轴上，所述第二转向轴分为上中下三段，所述第二转向轴中段通过第二键槽用第二平键固定安装第二锥边轮，所述第二转向轴中段上插接配合转向套，所述第二转向轴上段通过第一键槽用第一平键固定连接转向环，所述转向环上有第一螺孔，所述转向环上螺栓连接转向环第一罩盖，所述转向环上固有固定轴，所述固定轴与转向轮上轮槽平滑配合，所述转向轮用第三平键固定安装在第三转向轴中段第三键槽上，所述第三转向轴分为上中下三段，所述第三转向轴上段上有控制台，所述第三转向轴上段有花键，所述第三转向轴上段花键连接第二固定板，所述第二固定板上有第二螺孔，所述第二固定板上螺栓连接有第二罩盖，所述第三转向轴上段顶部有第三螺孔，所述第四螺栓连接固定在第三转向轴上段，所述第二罩盖位于容腔中，所述第二固定板上有第四螺孔，所述控制台上有第五螺孔，所述控制台与第二固定板螺栓连接，所述控制台上有固定槽。进一步的技术方案，所述第三固定板上有第五螺孔，所述第一固定板上有第一安放槽，所述第一安放槽外有第六螺孔，所述第三固定板螺栓连接固定在第一固定板上，所述第一安放槽中间放置第三转向轴，所述第三转向轴下段底部转动配合安装轴承，所述轴承外圈与第一安放槽过盈配合，所述第三固定板与轴承内圈间隙配合，所述第三转向轴下段底面有第七螺孔，所述第三转向轴下段底面平滑配合有第四固定板，所述第四固定板上有槽孔，所述第四固定板与第三转向轴螺栓连接固定。进一步的技术方案，所述轴承外圈与第一安放槽过盈配合，所述第三固定板不与轴承内圈接触，所述第四固定板不与轴承外圈接触，所述第三安放槽与第四固定板留有一定空隙，所述第一螺栓与第八螺孔留有间隙，第三固定板通过第二螺栓与第一固定板固定在一起。进一步的技术方案，第二转向轴的固定方式与第三转向轴的固定原理相同，而第二转向轴的的底部轴径和第三转向轴底部轴径不相同。进一步的技术方案，所述第二罩盖通过第三转向轴端部固定螺与第三转向轴固定，同时所述第二罩盖通过第四螺栓与第二固定板固定，第二固定板通过第五螺栓与控制台固定。本专利技术的有益效果是：本专利技术结构简单，操作方便，通过第二锥边轮配合连接将马达的转动从竖直方向转化为水平方向，再将转动通过转向轮机构转化为间歇运动，马达使用PLC程序控制，可以控制需要的操作时间。当启动程序时，PLC程序控制马达的转速，马达转动带动转向轴转动，转向轴带动与转向轴相连的第一锥边轮转动，第一锥边轮转动后带动第二锥边轮转动，第二锥边轮通过键连接带动第二转向轴转动，第二锥边轮上第二转向轴中段转向套可以防止第二锥边轮的上下移动，第二转向轴转动，通过键连接带动转向环转动，转向环转动带动与固定轴平滑配合的转向轮转动，转向环转动一圈，转向轮转动60°，转向轮通过键连接带动第三转向轴转动，第三转向轴带动与第三转向轴转动配合的轴承内圈转动，外圈与第一安放槽过盈配合不转动，第一螺栓固定第四固定板并连同第三转向轴转动而转动，第二转向轴底部转动情况与第三转向轴底部转动情况相同，第三转向轴通过花键连接，带动第二固定板转动，第二固定板通过第五螺栓带动控制台转动，固定槽上可以装夹半导体材料，对控制台上的半导体材料进行操作，转向轮停止转动的时间为控制台的操作时间，时间可以通过控制马达的PLC程序控制。本专利技术安装时需要按照合理的顺序安装，操作简单方便，结构设计合理，使用场合多，且可以改变外形用于不同的场合，改变控制台的样子也可以实现不同的功能，值得推广使用。附图说明图1是本专利技术结构示意图；图2是本专利技术中转向环处结构示意图；图3是图1中第三转向轴结构示意图；图4是图3中局部放大示意图；图5是图1中局部放大示意图。具体实施方式下面结合图1-5对本专利技术进行详细说明。参照图1-5，根据本专利技术的实施例的一种半导体材料设备，包括第一固定板12以及固定安装在所述第一固定板12上的装配箱11，所述第一固定板12上固有第一安放槽103和第二安放槽101，所述装配箱11内有转向腔10，所述第一固定板12上固定安装有装配块21，所述装配块21上固设有马达20，所述马达20固设有转向轴22，所述转向轴22上固定安装第一锥边轮23，所述第一锥边轮23与第二锥边轮24配合连接，所述第二锥边轮24固定安装于第二转向轴86上，所述第二转向轴86分为上中下三段，所述第二转向轴86中段通过第二键槽72用第二平键111固定安装第二锥边轮24，所述第二转向轴86中段上插接配合转向套71，所述第二转向轴86上段通过第一键槽70用第一平键110固定连接转向环65，所述转向环65上有第一螺孔64，所述转向环65上螺栓连接转向环第一罩盖61，所述转向环65上固有固定轴60，所述固定轴60与转向轮54上轮槽53平滑配合，所述转向轮54用第三平键112固定安装在第三转向轴57中段第三键槽55上，所述第三转向轴57分为上中下三段，所述第三转向轴57上段上有控制台，所述第三转向轴57上段有花键31，所述第三转向轴57上段花键连接第二固定板50，所述第二固定板50上有第二螺孔49，所述第二固定板50上螺栓连接有第二罩盖46，所述第三转向轴57上段顶部有第三螺孔30，所述第二罩盖46螺栓连接固定在第三转向轴57上段，所述第二罩盖46位于容腔45中，所述第二固定板50上有第四螺孔44，所述控制台41上有第五螺孔43，所述控制台41与第二固定板50螺栓连接，所述控制台41上有固定槽40。有益地或示例性地，所述第三固定板76上有第五螺孔74，所述第一固定板12上有第一安放槽103，所述第一安放槽103外有第六螺孔75，所述第三固定板76螺栓连接固定在第一固定板12上，所述第一安放槽103中间放置第三转向轴57，所述第三转向轴57下段底部转动配合安装轴承77，所述轴承77外圈与第一安放槽103过盈配合，所述第三固定板76与轴承77内圈间隙配合，所述第三转向轴57下段底面有第七螺孔80，所述第三转向轴57下段底面平滑配合有第四固定板84，所述第四固定板84上有槽孔81，所述第四固定板84与第三转向轴57螺栓连接固定。有益地或示例性地，所述轴承77外圈与第一安放槽103过盈配合，第三转向轴57旋转时带动轴承77内圈转动，所述第三固定板76不与轴承77内圈接触，可以防止转动摩擦，所述第四固定板84不与轴承外圈接触，可以防止转动摩擦，所述第三安放槽78与第四固定板84留有一定空隙，可以防止转动摩擦，所述第一螺栓82与第八螺孔83留有间隙，可以防止转本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种半导体材料设备，包括第一固定板以及固定安装在所述第一固定板上的装配箱，所述第一固定板上固有第一安放槽和第二安放槽，所述装配箱内有转向腔，所述第一固定板上固定安装有装配块，所述装配块上固设有马达，所述马达固设有转向轴，所述转向轴上固定安装第一锥边轮，所述第一锥边轮与第二锥边轮配合连接，所述第二锥边轮固定安装于第二转向轴上，所述第二转向轴分为上中下三段，所述第二转向轴中段通过第二键槽用第二平键固定安装第二锥边轮，所述第二转向轴中段上插接配合转向套，所述第二转向轴上段通过第一键槽用第一平键固定连接转向环，所述转向环上有第一螺孔，所述转向环上螺栓连接转向环第一罩盖，所述转向环上固有固定轴，所述固定轴与转向轮上轮槽平滑配合，所述转向轮用第三平键固定安装在第三转向轴中段第三键槽上，所述第三转向轴分为上中下三段，所述第三转向轴上段上有控制台，所述第三转向轴上段有花键，所述第三转向轴上段花键连接第二固定板，所述第二固定板上有第二螺孔，所述第二固定板上螺栓连接有第二罩盖，所述第三转向轴上段顶部有第三螺孔，所述第四螺栓连接固定在第三转向轴上段，所述第二罩盖位于容腔中，所述第二固定板上有第四螺孔，所述控制台上有第五螺孔，所述控制台与第二固定板螺栓连接，所述控制台上有固定槽。...

【技术特征摘要】
1.一种半导体材料设备，包括第一固定板以及固定安装在所述第一固定板上的装配箱，所述第一固定板上固有第一安放槽和第二安放槽，所述装配箱内有转向腔，所述第一固定板上固定安装有装配块，所述装配块上固设有马达，所述马达固设有转向轴，所述转向轴上固定安装第一锥边轮，所述第一锥边轮与第二锥边轮配合连接，所述第二锥边轮固定安装于第二转向轴上，所述第二转向轴分为上中下三段，所述第二转向轴中段通过第二键槽用第二平键固定安装第二锥边轮，所述第二转向轴中段上插接配合转向套，所述第二转向轴上段通过第一键槽用第一平键固定连接转向环，所述转向环上有第一螺孔，所述转向环上螺栓连接转向环第一罩盖，所述转向环上固有固定轴，所述固定轴与转向轮上轮槽平滑配合，所述转向轮用第三平键固定安装在第三转向轴中段第三键槽上，所述第三转向轴分为上中下三段，所述第三转向轴上段上有控制台，所述第三转向轴上段有花键，所述第三转向轴上段花键连接第二固定板，所述第二固定板上有第二螺孔，所述第二固定板上螺栓连接有第二罩盖，所述第三转向轴上段顶部有第三螺孔，所述第四螺栓连接固定在第三转向轴上段，所述第二罩盖位于容腔中，所述第二固定板上有第四螺孔，所述控制台上有第五螺孔，所述控制台与第二固定板螺栓连接，所述控制台上有固定槽。2.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：俞升洋，
申请(专利权)人：孝感市大口贸易有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42