The invention provides an integrated board and a substrate processing device including the same. The substrate processing device can include an integrated board, an ultrasonic component and a temperature adjusting component. The integrated board may comprise at least two partitioning boards adjacent to each other and a cover member capable of absorbing vibration caused by ultrasound and filling gaps between the partitioning boards. Therefore, the substrate processing device of the present invention can prevent defects such as spots on the substrate caused by the temperature deviation of the substrate caused by the gap between adjacent splitting plates.
【技术实现步骤摘要】
集成板及包括其的基板处理装置本申请享有2017年4日25日向韩国特许厅申请的韩国专利申请第2017-0052809号的优先权。
本专利技术涉及集成板及包括其的基板处理装置。更具体来讲，本专利技术涉及能够在将基板浮在上部的状态下变更基板的温度的集成板及包括这种集成板的基板处理装置。
技术介绍
通常，现在的平板显示(FPD)装置用面积相对大的基板制成。用于制造所述平板显示装置的部分工程为了防止所述基板下垂，可以在将所述基板浮在板上部的状态下执行。为了从所述板浮起所述基板，可通过向所述基板的底面上提供超声波来实现。如上利用超声波将所述基板浮在所述板上部的情况下，需要控制使得在所述板上发生均匀的超声波波形。近来，随着基板的尺寸增大，板的尺寸也相应地增大，而所述板的尺寸增大的情况下具有难以在所述板上发生均匀的超声波波形的问题。因此，近来在用尺寸相对大的所述基板制造显示装置时，适用包括两个以上的板，即分割板的集成板。其中，所述分割板配置成彼此接触的情况下，所述超声波引起的振动的干涉可能会导致所述基板无法浮在所述集成板上部。考虑到这种问题，可以在所述集成板的分割板之间设置预定的...
【技术保护点】
1.一种集成板，能够在利用超声波浮起基板的状态下变更所述基板的温度，其特征在于，包括：至少两个分割板，其彼此相邻地配置；以及盖部件，其吸收所述超声波引起的振动，填充位于所述至少两个分割板之间的间隙。
【技术特征摘要】
2017.04.25 KR 10-2017-00528091.一种集成板，能够在利用超声波浮起基板的状态下变更所述基板的温度，其特征在于，包括：至少两个分割板，其彼此相邻地配置；以及盖部件，其吸收所述超声波引起的振动，填充位于所述至少两个分割板之间的间隙。2.根据权利要求1所述的集成板，其特征在于：所述间隙的宽度范围为0.1mm至10.0mm。3.根据权利要求1所述的集成板，其特征在于：所述盖部件含有选自由硅树脂、聚氨酯树脂、环氧树脂及其混合物构成的群组的一种。4.根据权利要求1所述的集成板，其特征在于：所述集成板具有能够在上部收容一个基板的面积。5.根据权利要求1所述的集成板，其特征在于：所述盖部件填充靠近配置在所述分割板上的所述基板的所述间隙的一部分。6.根据权利要求1所述的集成板，其特征在于：所述集成板通过对所述基板进行加热或对所述基板进行冷却以变更所述基板的温度。7.一种基板处理装置...
【专利技术属性】
技术研发人员：金基哲，朴奇洪，李昌镛，崔峰满，俞阿敏，
申请(专利权)人：细美事有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国,KR
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