一种带泄压阀的安全石英源瓶制造技术

一种带泄压阀的安全石英源瓶，瓶体顶部连接阀体，阀体上设有阀芯、进出气通道和泄压阀；阀芯设有与阀体进气通道相对应的进气孔，阀芯上端连接旋柄控制阀门开关，阀芯下端连接与进气孔相对应的进气管；出气通道上端连接泄压阀；在不工作时阀体进出气通道用可拆卸堵帽密封。阀体、阀芯、泄压阀、进口管、堵头等，均采用PFA、PTFE等高纯耐腐蚀材质制成。该源瓶可满足正常扩散工艺要求；当出气管道堵塞，石英源瓶内部压力超过安全值时自动泄压，保证石英源瓶不破裂；操作简便，避免误操作，大大提高了工艺操作和使用的安全性。

【技术实现步骤摘要】
一种带泄压阀的安全石英源瓶
本专利技术涉及一种半导体，太阳能产业生产工艺中使用，用于盛装高纯三氯氧磷，三溴化硼等化学品的石英源瓶。
技术介绍
太阳能行业生产中扩散、掺杂工艺的主要原料有三氯氧磷、三溴化硼等。目前盛装三氯氧磷、三溴化硼等源液的容器均采用的传统石英瓶，而传统石英源瓶在设计上未考虑到在特殊情况下源瓶的泄压需求。尽管目前开发设计出多种新型石英源瓶，如专利号为CN104409391A的“一种用于扩散炉的防爆源瓶”，提及了防爆问题，但却未从根本上解决石英源瓶内部受压导致破裂的安全问题。经实践证明传统石英源瓶，使用时存在一定的安全隐患，尤其是误操作，当进气阀打开，出气阀未打开或出气管道堵塞时，会导致石英源瓶内部压力超过石英瓶耐压极限，发生爆瓶事故，使毒性强、高腐蚀的源液泄漏。不能满足安全生产要求。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种带泄压阀的安全石英源瓶，以解决上述传统石英源瓶的缺陷。本专利技术的目的是这样实现的：瓶体顶部连接阀体，阀体上设有阀芯、进出气通道和泄压阀；阀芯设有与阀体进气通道相对应的进气孔，阀芯上端连接旋柄控制阀门开关，阀芯下端连接与进气孔相对应的进气管；出气通道上本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种新型石英源瓶，其特征是：瓶体顶部连接阀体，阀体上设有阀芯、进出气通道和泄压阀；阀芯设有与阀体进气通道相对应的进气孔，阀芯上端连接旋柄控制阀门开关，阀芯下端连接与进气孔相对应的进气管；出气通道上端连接泄压阀；在不工作时阀体进出气通道用可拆卸堵帽密封。

【技术特征摘要】
1.一种新型石英源瓶，其特征是：瓶体顶部连接阀体，阀体上设有阀芯、进出气通道和泄压阀；阀芯设有与阀体进气通道相对应的进气孔，阀芯上端连接旋柄控制阀门开关，阀芯下端连接与进气孔相对应的...

【专利技术属性】
技术研发人员：向东，宋一成，
申请(专利权)人：向东，
类型：发明
国别省市：贵州,52