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一种可连续进样生长过渡金属硫属化合物晶体的实验装置制造方法及图纸

技术编号:19264564 阅读:46 留言:0更新日期:2018-10-27 02:58
本实用新型专利技术提供了一种可连续进样生长过渡金属硫属化合物晶体的实验装置,包含反应腔体,所述反应腔体分为左右两部分,左边为低温区,右边为高温区,所述反应腔体低温区固定有格子支架,所述格子支架将反应腔体分成若干独立空间,所述格子支架上放置有内管,所述内管中承载有反应前驱体,所述内管左端通过推动杆连接有磁性移动器,所述内管可在格子支架上左右移动。将反应腔体用格子支架分割成多个独立空间,每个独立空间都放置承载有反应前驱体的内管,通过分批次将内管中的反应前驱体移动至高温区,达到不打开反应腔体即可连续装配前驱体的目的,保证了化学气相沉积法生长构成异质结的良好性能。

【技术实现步骤摘要】
一种可连续进样生长过渡金属硫属化合物晶体的实验装置
本技术属于化学气相沉积
,具体涉及一种可连续进样生长过渡金属硫属化合物晶体的实验装置。
技术介绍
二维过渡金属硫属化合物晶体由于具有优越的物理和化学特性,在场效应管、光电器件、锂离子电池以及光催化等领域有着良好的应用前景,其相互构成异质结形成器件也具有深远的科学研究和应用价值。然而,在化学气相沉积法生长构成异质结器件时,需要打开反应腔体再次装配前驱体进行反应,这将给异质结在形成时带来不同环境的影响,第一次生长的材料界面会被暴露在大气中,从而带来不利于材料表面的灰尘和一些纳米粒子的污染,从而影响二次形成异质结时的生长和构成器件的性能,尤其是光电性能。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是针对以上实际存在的问题,提供一种可连续进样生长过渡金属硫属化合物晶体的实验装置,该装置可在不打开反应腔体的情况下持续的装配反应前驱体,保证化学气相沉积法生长构成异质结的良好性能。为解决上述技术问题,本技术采用了如下技术方案:一种可连续进样生长过渡金属硫属化合物晶体的实验装置,包含反应腔体,所述反应腔体分为左右两部分,左边为低温区,右边为高温区,所述反应本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种可连续进样生长过渡金属硫属化合物晶体的实验装置,包含反应腔体,其特征在于所述反应腔体分为左右两部分,左边为低温区,右边为高温区,所述反应腔体低温区固定有格子支架,所述格子支架将反应腔体分成若干独立空间,所述格子支架上放置有内管,所述内管中承载有反应前驱体,所述内管左端通过推动杆固定连接有磁性移动器,所述内管可在格子支架上左右移动。

【技术特征摘要】
1.一种可连续进样生长过渡金属硫属化合物晶体的实验装置,包含反应腔体,其特征在于所述反应腔体分为左右两部分,左边为低温区,右边为高温区,所述反应腔体低温区固定有格子支架,所述格子支架将反应腔体分成若干独立空间,所述格子支架上放置有内管,所述内管中承载有反应前驱体,所述内管左端通过推动杆固定连接有磁性移动器,所述内管可在格子支架上左右移动。2.根据权利要求1所述的一种可连续进样生长过渡金属硫属化合物晶体的实验装置,其特征在于所述磁性移动器为永久磁铁。3.根据权利要求2所述的一种可连续进样生长过渡金属硫属化合物晶体的实验装置,其特征在于所述磁性移动器靠近所述反应腔体内壁,所述反应腔体外壁通过外置磁铁与所述磁性移动器吸引。4.根据权利要求1所述...

【专利技术属性】
技术研发人员:王立王震东王剑宇张思鸿
申请(专利权)人:南昌大学
类型:新型
国别省市:江西,36

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