光源装置及光源装置的驱动方法制造方法及图纸

光源装置(100)包括射出应照射的光的光源(101)、测定由光源射出的出射光的色度的色度测定部(分光器)(109)、能够使色度调节用滤光片(CHA、CHB)在出射光(L)的光路(LP)上进出而通过色度调节用滤光片的进出可调节出射光的色度的色度调节部(120)、以及根据色度测定部的测定结果监控出射光的色度的变化并控制色度调节部的色度调节用滤光片在光路(LP)上的进出以使该色度成为预先设定为目标的色度的控制部(400)。由此，光源装置(100)针对随时间变化以及光学部件的规格偏差，能够照射相同色调的光。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】光源装置及光源装置的驱动方法
本专利技术涉及适用于例如固态摄像元件的检查的光源装置以及光源装置的驱动方法。
技术介绍
作为使用检测出光而产生电荷的光电转换元件的固态摄像元件(影像传感器)，CCD(ChargeCoupledDevice)和CMOS(ComplementaryMetalOxideSemiconductor)影像传感器已投入实际应用。在这些CCD和CMOS等固态摄像元件的制造工序中，有必要检查(测试)固态摄像元件的光电转换特性。该检查中具有在固态摄像元件形成于半导体晶圆上的芯片状态下所进行的前工序检查(测试)以及组合并封装固态摄像元件后所进行的后工序检查(测试)。前工序测试中，例如，在用探针卡将测试头与固态摄像元件电连接的状态下，透过持有针孔的规定光学系统(光学装置)向固态摄像元件的受光面照射检查用光。后工序测试中，例如，由机械手(handler)将已封装的固态摄像元件安装至插座板(socketboard)，由此电连接测试头与固态摄像元件，在此状态下透过持有针孔的规定光学系统(光源装置)向固态摄像元件的受光面照射检查用光。图1是表示适用于固态摄像元件的检查的光源装置的构成例的图(例如参照专利文献1)。图1的光源装置1具有光源头部2、镜筒部3以及控制部4。另外，在镜筒部3的光照射区域配置有搭载检查对象的晶圆的晶圆台5。晶圆台5的晶圆搭载面5a垂直于镜筒部3的光学系统的光路。光源头部2构成为包括光源11、以及沿着来自光源11的出射光(白色光)的光路LP(TLP)配置的聚光透镜12、机械式狭缝13、ND滤光片转盘(turret)14、颜色校正滤光片转盘15、半反射镜16、均光器(homogenizer)17和照度计18。光源11适用例如卤素灯、氙灯、金属卤化物灯、LED、激光等。该光源11将所发射的光向规定方向反射并聚集光。半反射镜16反射在光路LP传播的来自光源11的光中规定波长范围的光而形成反射光路RLP，并使剩余波长范围的光透过而形成透过光路TLP。镜筒部3构成为包括以光轴与由光源头部2的半反射镜16形成的反射光路RLP对齐的方式配置的均光器19、凸透镜20以及凹透镜21。均光器17与19由纵横向地将单透镜排列为矩阵状而成的复眼透镜等所构成，是用以使来自光源11的光的照度分布均匀化而设置的。具有如此构成的光源装置1中，为了照射指定照度的光而组合光路LP上的机械式狭缝(机械式光圈)13与ND滤光片转盘14。另外，作为光源11的卤素灯随着时间经过其照度会下降。因此，为维持照度，在光源装置1中设置有照度计18，其作为在光源头部2的内部测定照度的传感器。然后，根据照度计18的测定结果，在控制部4中判断照度是否达到目标，并反馈光源11的灯的驱动电压DV以使得该驱动电压DV始终为相同值，由此可以维持相同的照度。另外，光源装置1中，将用以改变光的色调的透过型滤光片配置于光路LP上，以改变光整体的色调。另外，光源装置1中，为了消除光学部件造成的检查光的颜色偏差，调节驱动电压DV，以调节灯电压而使所有装置为相同色温。在先技术文献专利文献专利文献1：JPWO2004/053451A1
技术实现思路
专利技术要解决的问题尽管如此，上述光源装置1中，为了照射指定照度的光，虽组合光路LP上的机械式狭缝(机械式光圈)13与ND滤光片转盘14，但切换机械式狭缝13时，光源的视觉表现改变，光的颜色也改变。另外，针对形成光源11的卤素灯的照度随时间变化，虽调整了灯的驱动电压DV，但无法防止光的色调随时间变化。通过配置透过型滤光片虽可改变光整体的色调，但仍有滤光片的偏差，难以微调整。为了消除装置的颜色偏差，虽调整了灯的驱动电压以成为相同色温，但即使是相同色温，光的色调仍不同，无法使光源装置的色调相同。在该情况下，以利用电压而成为相同色温的方式来校正部件造成的颜色偏差。但是，即使是相同色温，色调仍不同，无法消除颜色偏差。本专利技术提供一种针对随时间变化以及光学部件的规格偏差而能够照射相同色调的光的光源装置以及光源装置的驱动方法。解决方案本专利技术的第1观点是一种光源装置，其对目标物照射光，所述光源装置包括：光源，其射出应照射的光；色度测定部，其测定由所述光源射出的出射光的色度；色度调节部，其能够使色度调节用滤光片在所述出射光的光路上进出，通过该色度调节用滤光片的进出而能够调节所述出射光的色度；以及控制部，其根据所述色度测定部的测定结果监控所述出射光的色度的变化，并控制所述色度调节部的色度调节用滤光片在所述光路上的进出以使该色度成为预先设定为目标的色度。本专利技术的第2观点是一种光源装置的驱动方法，其中，所述光源装置对目标物照射光，并包括：光源，其射出应照射的光；以及色度调节部，其能够使色度调节用滤光片在所述出射光的光路上进出并通过该色度调节用滤光片的进出而能够调节所述出射光的色度，所述驱动方法包括：色度测定步骤，其测定由所述光源射出的出射光的色度；以及控制步骤，其根据所述色度测定步骤的测定结果监控所述出射光的色度的变化，并控制所述色度调节部的色度调节用滤光片在所述光路上的进出以使该色度成为预先设定为目标的色度。专利技术效果根据本专利技术，针对光源等的随时间变化以及光学部件的规格偏差，能够照射相同色调的光。附图说明图1是表示适用于固态摄像元件的检查的光源装置的构成例的图。图2是表示本专利技术实施方式的光源装置的构成例的图。图3是包含本专利技术实施方式的色度调节部的机构部的外观图。图4(A)及图4(B)是用以说明为了消除光源装置的颜色偏差而以调节光源灯电压而使所有装置成为相同色温的方式进行校正的情况下的课题的图。图5(A)及图5(B)是用以说明作为光的色调的管理方法而对基于色温的校正与基于色度的校正进行比较的图。图6(A)及图6(B)是用以说明作为光的色调的管理方法而对基于色温的校正与基于色度的校正中的调整范围进行比较的图。图7(A)至图7(F)是表示本实施方式的第1色度调节用滤光片与第2色度调节用滤光片的移动(插入至光路)所致的色温、色度变化的一例的图。图8是用以说明基于本实施方式的第1色度调节用滤光片与第2色度调节用滤光片所进行的色调的具体校正步骤的色度坐标图。图9是用以说明根据多个第2近似直线的斜率求得相对于色度变化量的第2近似曲线的近似2次曲线的处理的图。图10是用以说明基于本实施方式的第1色度调节用滤光片与第2色度调节用滤光片所进行的色调的具体校正步骤的流程图。图11(A)至图11(C)是用以说明本专利技术实施方式的光源装置中的色度调节部的另一构成例的图。图12是用以说明本专利技术实施方式的光源装置中的色度调节部的再一构成例的图。具体实施方式以下，参照附图说明本专利技术的实施方式。图2是表示本专利技术实施方式的光源装置的构成例的图。本实施方式的光源装置100具有光源头部200、镜筒部300以及控制部400。另外，在镜筒部300的光照射区域配置有搭载检查对象的晶圆的晶圆台500。晶圆台500的晶圆搭载面500a垂直于镜筒部300的光学系统的光路。另外，本系统包括作为检查用的基准温度计510、基准色温计520、基准分光器530。光源头部200构成为包括光源101、以及沿着来自光源101的出射光(白色光)的光路LP(TLP)配置的聚光透镜102、机械式狭缝103、ND本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光源装置，其对目标物照射光，其中，所述光源装置包括：光源，其射出应照射的光；色度测定部，其测定由所述光源射出的出射光的色度；色度调节部，其能够使色度调节用滤光片在所述出射光的光路上进出，通过该色度调节用滤光片的进出而能够调节所述出射光的色度；以及控制部，其根据所述色度测定部的测定结果监控所述出射光的色度的变化，并控制所述色度调节部的色度调节用滤光片在所述光路上的进出以使该色度成为预先设定为目标的色度。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.08.18 JP 2016-1606941.一种光源装置，其对目标物照射光，其中，所述光源装置包括：光源，其射出应照射的光；色度测定部，其测定由所述光源射出的出射光的色度；色度调节部，其能够使色度调节用滤光片在所述出射光的光路上进出，通过该色度调节用滤光片的进出而能够调节所述出射光的色度；以及控制部，其根据所述色度测定部的测定结果监控所述出射光的色度的变化，并控制所述色度调节部的色度调节用滤光片在所述光路上的进出以使该色度成为预先设定为目标的色度。2.根据权利要求1所述的光源装置，其中，所述控制部控制所述色度调节部的色度调节用滤光片在所述光路上的配置量以使所述光源的出射光的色度成为预先设定的色度。3.根据权利要求1所述的光源装置，其中，所述色度调节部能够使2个不同种类的第1色度调节用滤光片与第2色度调节用滤光片在所述出射光的光路上进出，所述控制部控制所述第1色度调节用滤光片与所述第2色度调节用滤光片向所述光路上插入的插入量。4.根据权利要求3所述的光源装置，其中，所述控制部将色度坐标上从第1色度调节用滤光片的近似直线上延展规定宽度而确定的区域作为2个不同种类的所述第1色度调节用滤光片与所述第2色度调节用滤光片的组合所能调节色度的范围，来控制所述第1色度调节用滤光片与所述第2色度调节用滤光片向所述光路上插入的插入量。5.根据权利要求4所述的光源装置，其中，所述控制部将所述第2色度调节用滤光片的插入量设为0，利用所述第1色度调节用滤光片的任意多个插入量求得色度的第1近似直线，将所述第1色度调节用滤光片的插入量设为包含0的任意多个插入量，针对每个所述第1色度调节用滤光片的插入量，利用所述第2色度调节用滤光片的任意多个插入量求得色度的第2近似直线，根据多个所述第2近似直线的斜率，求得相对于一方的色度变化量的所述第2近似曲线的近似2次曲线，以使从所述第1近似直线上的任意点S连接至表示目标色度的目标点T所形成的直线的斜率与求得所述近似曲线时的斜率相同的方式，来求得点S的包含所述第1色度调节用滤光片的插入量在内的色度坐标，在固定所述第1色度调节用滤光片的插入量的状态下，调节所述第2色度调节用滤光片的插入量，以与所述目标点T的色度坐标一致。6.根据权利要求1所述的光源装置，其中，所述色度调节部在光路上配置圆周方向上具有渐变的圆板状的第1色度调节用透过滤光片转盘与第2色度调节用透过滤光片转盘，所述控制部控制2个所述第1色度调节用透过滤光片转盘与所述第2色度调节用透过滤光片转盘的旋转量，以使所述光源的出射光的色度成为预先设定的色度。7.根据权利要求1所述的光源装置，其中，所述色度调节部在光路上配置分别在X方向与Y方向上具有色度的灰度的色度调节用滤光片，所述控制部控制所述色度调节用滤光片的移动量，以使所述光源的出射光的色度成为预先设定的色度。8.根据权利要求1所述的光源装置，其中，所述色度调节部能够使可电气地改变浓度的第1色度调节用滤光片与第2色度调节用滤光片在所述出射光的光路上进出，所述控制部控制施加于所述第1色度调节用滤光片与所述第2色度调节用滤光片的电压量或电流量，以使所述光源的出射光的色度成为预先设定的色度。9.根据权利要求1所述的光源装置，其中，所述光源装置包括照度测定部，该照度测定部测定由所述光源射出的出射光的照度，所述控制部根据所述照度测定部的测定结果监控所述出射...

【专利技术属性】
技术研发人员：北野宏幸，铃木克哉，山本浩巳，
申请(专利权)人：尹达亚克逊股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本,JP