压力传感器制造技术

本发明专利技术提供一种可对测量对象的温度进行测量，并且可抑制压力的测量精度的下降的压力传感器。所述压力传感器的特征在于，具备：隔膜(110)，其中央具有厚壁部(111a)，且在厚壁部(111a)的周围具有壁厚比厚壁部(111a)薄的薄壁部(111b)；计量仪(120)，其被设置在薄壁部(111b)的与测量对象相接的表面的相反侧的表面上；感温元件(130)，其被设置在厚壁部(111a)的与测量对象相接的表面的相反侧的表面上。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】压力传感器
本专利技术涉及一种也可测量温度的压力传感器。
技术介绍
一直以来，已知一种通过在隔膜上设置有应变计等压力检测用计量仪的压力传感器中设置可检测温度的传感器，从而可实现压力与温度的测量的传感器(参照专利文献1、2)。在此，为了提高压力的测量精度，则必须使压力检测用计量仪适当变形。因此，可检测温度的传感器的安装构造会防碍隔膜的变形，进而有可能会对压力检测用计量仪的变形造成不好的影响。然而，至今并未发现着眼于上述那样的点的技术。现有技术文献专利文献专利文献1：日本实开昭62-174247号公报专利文献2：日本特开2008-39760号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的课题本专利技术的目的在于提供一种可对测量对象的温度进行测量，并且可抑制压力的测量精度的下降的压力传感器。用于解决课题的方案本专利技术为了解决所述课题而采用以下方案。即，本专利技术的压力传感器的特征在于，具备：隔膜，其中央具有厚壁部，且在该厚壁部的周围具有壁厚比该厚壁部薄的薄壁部；压力检测用计量仪，其被设置在所述薄壁部的与测量对象相接的表面的相反侧的表面上，和感温元件，其被设置在所述厚壁部的与测量对象相接的表面的相反侧本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种压力传感器，其特征在于，具备：隔膜，其中央具有厚壁部，且在该厚壁部的周围具有壁厚比该厚壁部薄的薄壁部；压力检测用计量仪，其被设置在所述薄壁部的与测量对象相接的表面的相反侧的表面上，和感温元件，其被设置在所述厚壁部的与测量对象相接的表面的相反侧的表面上。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.02.24 JP 2016-0333491.一种压力传感器，其特征在于，具备：隔膜，其中央具有厚壁部，且在该厚壁部的周围具有壁厚比该厚壁部薄的薄壁部；压力检测用计量仪，其被设置在所述薄壁部的与测量对象相接的表面的相反侧的表面上，和感温元件，其被设置在所述厚壁部的与测量对象相...

【专利技术属性】
技术研发人员：高桥浩司，山本健太郎，
申请(专利权)人：巴尔克株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP