一种石墨烯材料的表面等离子体波导光学传感装置制造方法及图纸

技术编号:19221322 阅读:41 留言:0更新日期:2018-10-20 09:03
本实用新型专利技术公开了一种石墨烯材料的表面等离子体波导光学传感装置,其特征是,包括阵列柱形谐振腔和锯齿形长条波导结构,所述阵列柱形谐振腔和锯齿形长条波导结构的两侧边呈对称设置的一组锯齿状边,所述阵列柱形谐振腔和锯齿形长条波导结构的两侧边分别对称设有与阵列柱形谐振腔和锯齿形长条波导结构紧密连接的半导体材料石墨烯和金属材料,分别与金属材料和半导体材料石墨烯紧密连接的阵列柱形谐振腔和锯齿形长条波导结构的锯齿齿尖位置旁边分别对称刻蚀有第一组圆柱形谐振腔和第二组圆柱形谐振腔。这种光学传感装置具有可调性好、抗干扰能力强的特点。

【技术实现步骤摘要】
一种石墨烯材料的表面等离子体波导光学传感装置
本技术涉及光学测量领域,具体是一种石墨烯材料的表面等离子体波导光学传感装置。
技术介绍
表面等离子共振(SurfacePlasmonResonance,简称SPR)传感技术是一个非常活跃的工程技术研究领域,是对信息科学、生命科学和纳米技术交叉领域的研究。SPR是金属薄膜与介质交界面处的自由电子因受到倏逝波的激发而产生的自由电子集体振荡的现象。随着目前微纳加工技术的飞速提高,以石墨烯为代表的半导体器件成为了当前集成光子学热门方向。典型的,2016年《AdvanceMaterials》报道了“StructurallyWell-DefinedAu@Cu2−xSCore–ShellNanocrystalsforImprovedCancerTreatmentBasedonEnhancedPhotothermalEfficiency”一文,北京理工大学张加涛合作团队首次实现了两种不同SPR机理的协同、耦合效应,他们研制的材料在808nm激光和1064nm激光的辐照下的光热转换效率高达59.01%和43.25%,此外,2017年12月,《ACSNano本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种石墨烯材料的表面等离子体波导光学传感装置,其特征是,包括阵列柱形谐振腔和锯齿形长条波导结构,所述阵列柱形谐振腔和锯齿形长条波导结构的两侧边呈对称设置的一组锯齿状边,所述阵列柱形谐振腔和锯齿形长条波导结构的两侧边分别对称设有与阵列柱形谐振腔和锯齿形长条波导结构紧密连接的半导体材料石墨烯和金属材料,分别与金属材料和半导体材料石墨烯紧密连接的阵列柱形谐振腔和锯齿形长条波导结构的锯齿齿尖位置旁边分别对称刻蚀有第一组圆柱形谐振腔和第二组圆柱形谐振腔。

【技术特征摘要】
1.一种石墨烯材料的表面等离子体波导光学传感装置,其特征是,包括阵列柱形谐振腔和锯齿形长条波导结构,所述阵列柱形谐振腔和锯齿形长条波导结构的两侧边呈对称设置的一组锯齿状边,所述阵列柱形谐振腔和锯齿形长条波导结构的两侧边分别对称设有与阵列柱形谐振腔和锯齿形长条波导结构紧密连接的半导体材料石墨烯和金属材料,分别与金属材料和半导体材料石墨烯紧密连接的阵列柱形谐振腔和锯齿形长条波导结构的锯齿齿尖位置旁边分别对称刻蚀有第一组圆柱形谐振腔和第二组圆柱形谐振腔。2.根据权利要求1所述的石墨烯材料的表面等离子体波导光学传感装...

【专利技术属性】
技术研发人员:朱君徐政杰傅得立
申请(专利权)人:广西师范大学
类型:新型
国别省市:广西,45

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