一种压电传感器的基片制造技术

本发明专利技术提供一种压电传感器的基片，该压电传感器的基片包括基片本体，所述基片本体的顶部表面和底部表面都均匀设置有凹孔，每相邻两组所述凹孔之间设置有弧形孔，该压电传感器的基片包括如下组成成分：氧化铝：2‑3份；二氧化硅：2‑3份；碳酸钙：3‑4份和稀土元素0.5‑1份。本发明专利技术提出的压电传感器的基片，具有优良的抗干扰性能，且便于涂胶，方便压电晶片的粘接，介电常数小，电绝缘性能好，热膨胀系数与集成电路中的元件相差小，体积密度小，大大降低了压电传感器的质量，便于生产，成本低廉。

【技术实现步骤摘要】
一种压电传感器的基片
本专利技术涉及压电传感器
，具体为一种压电传感器的基片。
技术介绍
压电传感器是利用某些电介质受力后产生的压电效应制成的传感器。所谓压电效应是指某些电介质在受到某一方向的外力作用而发生形变(包括弯曲和伸缩形变)时，由于内部电荷的极化现象，会在其表面产生电荷的现象。压电材料可分为压电单晶、压电多晶和有机压电材料。压电式传感器中用得最多的是属于压电多晶的各类压电陶瓷和压电单晶中的石英晶体。其他压电单晶还有适用于高温辐射环境的铌酸锂以及钽酸锂、镓酸锂、锗酸铋等。压电片一般由基片和粘合于基片两面的压电晶片构成，压电片的弹性柔顺系数主要取决于基片的材质、几何尺寸以及几何形状等。现有的压电传感器的基片体积密度大，成本高，抗干扰性能差。
技术实现思路
本专利技术的目的在于解决上述现有技术存在的缺陷，提供一种电传感器的基片。为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种压电传感器的基片，该压电传感器的基片包括基片本体，所述基片本体的顶部表面和底部表面都均匀设置有凹孔，每相邻两组所述凹孔之间设置有弧形孔。优选的，所述凹孔的深度为弧形孔的深度的1.5-2倍。优选的，所述凹孔采用本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种压电传感器的基片，其特征在于：该压电传感器的基片包括基片本体(1)，所述基片本体(1)的顶部表面和底部表面均均匀设置有凹孔(2)，每相邻两组所述凹孔(2)之间设置有弧形孔(3)。

【技术特征摘要】
1.一种压电传感器的基片，其特征在于：该压电传感器的基片包括基片本体(1)，所述基片本体(1)的顶部表面和底部表面均均匀设置有凹孔(2)，每相邻两组所述凹孔(2)之间设置有弧形孔(3)。2.根据权利要求1所述的一种压电传感器的基片，其特征在于：所述凹孔(2)的深度为弧形孔(3)的深度的1.5-2倍。3.根据权利要求1所述的一种压电传感器的基片，其特征在于：所述凹孔(2)采用照相腐蚀印刷制版工艺制成。4.根据权利要求1所述的一种压电传感器的基片，其特征在于：该压电传感器的...

【专利技术属性】
技术研发人员：叶红军，邢卓，范小娇，马亚红，赵博雅，展玮璇，周园静，
申请(专利权)人：西京学院，
类型：发明
国别省市：陕西,61