X射线相干测量装置及测量方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种X射线相干测量装置包括：X射线分光单元；X射线合束单元；以及X射线延时扫描单元，设于X射线分光单元和X射线合束单元之间，包括相对于中轴线彼此对称设置的第一对传输反射镜以及相对于中轴线彼此对称设置的第二对传输反射镜；第一对传输反射镜分别固定在两个滑轨上；两个滑轨的滑轨方向近似垂直于中轴线；第二对传输反射镜一起固定在一维平移台上；一维平移台的平移方向平行于中轴线。本发明专利技术还提供了该X射线相干测量装置的两种测量方法。本发明专利技术的X射线相干测量装置适用波段从极紫外XUV、软X射线至硬X射线，可在时域里直接测量软X射线自由电子激光、硬X射线自由电子激光以及强场激光诱导的阿秒脉冲的时间相干长度。

X ray coherent measuring device and measuring method

The present invention provides an X-ray coherence measurement device including an X-ray beam splitting unit, an X-ray beam combining unit, and an X-ray delay scanning unit located between an X-ray beam splitting unit and an X-ray beam combining unit, including a first pair of transmission mirrors symmetrically arranged with respect to the central axis and a symmetrical with respect to the central axis. A second pair of transmission mirrors is arranged; the first pair of transmission mirrors are fixed on two sliding rails respectively; the sliding rails of the two sliding rails are approximately perpendicular to the central axis; the second pair of transmission mirrors are fixed together on a one-dimensional translation platform; and the translation direction of the one-dimensional translation platform is parallel to the central axis. The invention also provides two measuring methods for the X ray coherent measurement device. The X-ray coherence measuring device of the present invention is suitable for measuring the time coherence length of attosecond pulses induced by soft X-ray free electron laser, hard X-ray free electron laser and intense field laser in time domain from ultraviolet XUV, soft X-ray to hard X-ray.

【技术实现步骤摘要】
X射线相干测量装置及测量方法
本专利技术涉及X射线光学、相干光学及超快光学等领域，尤其涉及一种测量X射线脉冲的时间相干性及相干度的装置及方法。
技术介绍
X射线自19世纪末被德国科学家伦琴发现以后，广泛用于科学研究以及社会各通用
，发挥着极其重要的作用。X射线是一种短波长的不可见光源，从经典物理学的角度，它的波长(<<10nm)要远小于可见光波长(400-700nm)。从X射线诞生之初，X射线光源技术取得了飞速发展，其辐射波长越来越短，光源亮度也越来越高。特别是同步辐射光源以及波荡器技术的日益成熟，使X射线同步辐射光源成为了极为重要的科研辅助手段，在探索人类未知世界中发挥了巨大的作用，同时也推动了X射线实验及工程技术的发展。许多依赖X射线光源的现代科学研究，如生物大分子成像，高温超导材料的能谱分析，气体分子或是材料中单原子的双光子及多光子过程，高能量密度物理，等离子体非平衡态的非弹性散射等对光源亮度和品质提出了更高的要求，由此催生并推动了第四代光源-自由电子激光(FEL)的发展。它与第三代及以前光源的最根本区别是：不仅其辐射峰值亮度提高了数个量级，而本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种X射线相干测量装置，位于一光学平台上，其特征在于，包括：X射线分光单元，用于接收X射线脉冲，其具有分束点(A)；X射线合束单元，用于产生X射线干涉信号，其具有与分束点相对于一中轴线(C)共轭的合束点(B)；以及X射线延时扫描单元，设于X射线分光单元和X射线合束单元之间，包括延时精调传输单元和延时粗调传输单元；所述延时精调传输单元包括相对于中轴线(C)彼此对称设置的第一传输反射镜(3)和第二传输反射镜(4)；所述第一传输反射镜(3)和第二传输反射镜(4)分别固定在两个滑轨(7、8)的滑动端上；所述两个滑轨(7、8)的固定端固定在光学平台上，它们的滑轨方向近似直于所述中轴线(C)；所述延时...

【技术特征摘要】
1.一种X射线相干测量装置，位于一光学平台上，其特征在于，包括：X射线分光单元，用于接收X射线脉冲，其具有分束点(A)；X射线合束单元，用于产生X射线干涉信号，其具有与分束点相对于一中轴线(C)共轭的合束点(B)；以及X射线延时扫描单元，设于X射线分光单元和X射线合束单元之间，包括延时精调传输单元和延时粗调传输单元；所述延时精调传输单元包括相对于中轴线(C)彼此对称设置的第一传输反射镜(3)和第二传输反射镜(4)；所述第一传输反射镜(3)和第二传输反射镜(4)分别固定在两个滑轨(7、8)的滑动端上；所述两个滑轨(7、8)的固定端固定在光学平台上，它们的滑轨方向近似直于所述中轴线(C)；所述延时粗调传输单元包括相对于中轴线(C)彼此对称设置的第三传输反射镜(5)和第四传输反射镜(6)；所述第三传输反射镜(5)和所述第四传输反射镜(6)一起固定在一一维平移台(9)上；所述一维平移台(9)安装在光学平台上，其平移方向平行于所述中轴线(C)。2.根据权利要求1所述的X射线相干测量装置，其特征在于，所述X射线分光单元包括第一分光反射镜(1)和第二分光反射镜(2)；所述分束点(A)为第二分光反射镜(2)的边缘。3.根据权利要求1所述的X射线相干测量装置，其特征在于，所述X射线合束单元包括第一合束反射镜(10)和第二合束反射镜(11)；所述合束点(B)为第一合束反射镜(10)的边缘。4.根据权利要求2或3所述的X射线相干测量装置，其特征在于，所述第一分束反射镜(1)和第二合束反射镜(11)的镜面平行设置；所述第二分束反射镜(2)和第一合束反射镜(10)的镜面平行设置。5.根据权利要求1所述的X射线相干测量装置，其特征在于，所述两个滑轨(7、8)的滑轨方向与所述中轴线(C)的夹角为90°-θ，其中θ为X射线通过X射线分光单元后的偏置角，θ至多为10°。6.根据权利要求1所述的X射线相干测量装置，其特征在于，所述一维平移台(9)的机械精度≤100nm，扫描范围大于20mm。7.根据权利要求1所述的X射线相干测量装置，其特征在于，所述传输反射镜(3、4、5、6)均通过二维或三维电动镜架来固定。8.根据权利要求1或2或3所述的X射线相干测量装置，其特征在于，所述X射...

【专利技术属性】
技术研发人员：李宾，兰太和，张文艳，李卓，王月，冯冽，王兴涛，刘波，蒋志强，陈家华，王东，李钦明，张未卿，
申请(专利权)人：中国科学院上海应用物理研究所，
类型：发明
国别省市：上海,31