红外透视显微镜制造技术

本实用新型专利技术涉及一种红外透视显微镜，包括底座，支撑杆，设置在底座内的红外光源和降压电源模块；底座的上表面设有一阶梯通孔，阶梯通孔上设有折射板，红外光源位于折射板正下方，红外光源发出的红外光为波长大于960nm的红外光，底座上设有红外光源强度调节钮，支撑杆前端面上设置有凹槽，凹槽内置放有可以上下升降的升降滑块，升降滑块通过控制手轮调整控制在一定范围内升降，升降滑块前侧设有用于支撑显微镜镜头和CCD的显微镜支架，显微镜镜头螺纹连接CCD，镜头中心与红外光源中心、折射板中心位于同一垂直线上，CCD上设有数据线接口。本实用新型专利技术可透过不透明半导体器件内部，装备轻巧，携带方便，光源节能环保且对人体无害。

Infrared perspective microscope

The utility model relates to an infrared perspective microscope, which comprises a base, a supporting rod, an infrared light source arranged in the base and a voltage reducing power module; a step through hole is arranged on the upper surface of the base, and a refracting plate is arranged on the step through hole; the infrared light source is located directly below the refracting plate; and the infrared light emitted by the infrared light source is of a wavelength greater than 960 nm. Infrared light, the base is equipped with the intensity adjustment button of infrared light source, the front end of the support rod is provided with a groove, the groove is built with a lifting slider which can be lifted up and down, the lifting slider is controlled within a certain range by adjusting the control handwheel, and the front side of the lifting slider is equipped with a microscope support for supporting the microscope lens and CCD. The lens of the microscope is threaded to a CCD. The lens center is located on the same vertical line with the center of the infrared light source and the center of the refraction plate. The CCD is equipped with a data line interface. The utility model can penetrate the interior of opaque semiconductor devices, has the advantages of light-weight equipment, convenient carrying, energy-saving and environmental protection of light source, and is harmless to human body.

【技术实现步骤摘要】
红外透视显微镜
本技术属于半导体
，特别是涉及一种红外透视显微镜。
技术介绍
随着不断发展的电子设备小型化、超薄化的需求，构成电路的器件必须更密集地放置，以适应芯片上可用的有限空间，半导体器件的封装技术也高速进化。在半导体器件的大规模生产中，通过对半导体器件进行可靠性检测，可以发现缺陷，以提高半导体产品的合格率。因此，半导体器件的可靠性检测对于提高良品率、改善工艺技术的可靠性和稳定性非常重要。目前，对于不透明半导体器件，不能观察产品内部结构，对无法看到的领域进行无损检测和分析，通常采用X射线照射半导体产品，通过X射线成像对产品内部缺陷进行检测分析，藉由成像结果判断缺陷的位置及大小。但由于采用X射线检测时操作不方便、检测速度较慢，且X射线对人体有害，进行检测时需要密闭空间，各种作业条件的限制导致检测成本非常高。现有的显微镜无法看清不透明半导体器件内部，不能观察产品内部结构，如异物、气泡、断线、裂纹等，对于未检测出缺陷的产品混入合格的产品内，将导致无法及时对产品缺陷进行补救，造成产品的合格率下降，大大浪费人力物力；此外，现有的显微镜体积大、重量重，携带不方便。
技术实现思路
本技术为解决公知技术中存在的技术问题而提供一种红外透视显微镜，该显微镜的红外光可以透过不透明半导体器件内部，装备轻巧，携带方便，光源节能环保且对人体无害。本技术为解决公知技术中存在的技术问题所采取的技术方案是：一种红外透视显微镜，包括底座，与所述底座一侧通过螺钉连接固定的支撑杆，其特征在于：还包括设置在底座内的红外光源和降压电源模块，所述底座的上表面设有一阶梯通孔，所述阶梯通孔上设有用于将红外光充分散射的折射板，所述红外光源位于折射板正下方，所述红外光源发出的红外光为波长大于960nm的红外光，所述红外光源和降压电源模块电连接，所述降压电源模块电连接220V电源，所述底座上设有红外光源强度调节钮，所述红外光源强度调节钮与红外光源电连接，所述支撑杆的前端面上设置有凹槽，所述凹槽内置放有可以上下升降的升降滑块，所述升降滑块通过控制手轮调整控制在一定范围内升降，所述升降滑块的前侧设有用于支撑显微镜镜头和CCD的显微镜支架，所述显微镜镜头螺纹连接CCD，所述显微镜镜头的中心与红外光源的中心、折射板的中心位于同一垂直线上，所述CCD的数据线接口与计算机连接。本技术还可以采用如下技术方案：所述降压电源模块的电压为3-5V。所述CCD的外部罩设有防护罩，所述防护罩上设有CCD的数据线通孔，所述显微镜支架的前侧中部设有螺纹通孔，一锁紧螺钉拧进螺纹通孔固定防护罩。所述显微镜支架的后侧中部设有一沉头螺孔，所述升降滑块上设有与沉头螺孔配装的螺纹孔，一沉头螺钉拧进沉头螺孔和螺纹孔将显微镜支架和升降滑块固定。所述升降滑块的后侧表面设有齿条，所述齿条与齿杆互相啮合，所述控制手轮与齿杆的端部固定连接。所述升降滑块的两侧与凹槽两侧壁之间分别通过钢珠钢丝导轨滑动连接。所述钢珠钢丝导轨包括设置在升降滑块两侧的钢丝凹槽一，设置在凹槽两侧壁上的钢丝凹槽二，设置在钢丝凹槽一和钢丝凹槽二之间的分珠片，设置在分珠片上的钢珠；所述钢丝凹槽一内固定设置有两根钢丝一，所述钢丝凹槽二内固定设置有两根钢丝二，所述分珠片通过圆柱销固定在升降滑块上，所述钢珠至少为两个。本技术具有的优点和积极效果是：本技术通过采用上述方案，即采用能够发出波长大于960nm红外光的红外光源照射，红外光可以穿透不透明半导体器件内部，进入镜头通过CCD采集观察对象的透射光量信息，红外光源节能环保且对人体无害，检测时节约时间，大大提高了工作效率；设置红外光源强度调节钮，可根据制品的厚度材质，通过调节电流来实现光的强弱，光强时透光量大，反之光弱时透光量少；本技术的显微镜底座与支撑杆，升降滑块与显微镜支架，以及显微镜支架与镜头和CCD，均通过螺钉连接固定，方便拆卸组装，携带方便，便于维修；升降滑块通过齿条齿杆啮合传动以及钢珠钢丝导轨滑动，保证了升降滑动上下移动时的稳定性，同时减轻了设备重量，降低加工成本；本技术使用方便，设备质量轻、体积小，便于携带，成本低，耗能少，便于操作。附图说明图1是本技术的立体结构示意图；图2是本技术的侧视图；图3是本技术的升降滑块与支撑杆配合的结构示意图。图中：1-底座，2-支撑杆，3-红外光源，4-降压电源模块，5-阶梯通孔，6-折射板，7-红外光源强度调节钮，8-凹槽，81-钢丝凹槽二，9-升降滑块，91-钢丝凹槽一，10-控制手轮，11-显微镜支架，12-显微镜镜头，13-CCD，14-防护罩，15-锁紧螺钉，16-齿条，17-齿杆，18-分珠片，19-钢珠，20-钢丝一，21-钢丝二，22-圆柱销，23-沉头螺孔，24-螺纹孔，25-沉头螺钉。具体实施方式为能进一步了解本技术的
技术实现思路
、特点及功效，兹例举以下实施例，并配合附图详细说明如下：请参见图1和2，一种红外透视显微镜，包括底座1，与底座1一侧通过螺钉连接固定的支撑杆2，设置在底座1内的红外光源3和降压电源模块4；底座1的上表面设有一阶梯通孔5，阶梯通孔5上设有用于将红外光充分散射的折射板6，红外光源3位于折射板6正下方，红外光源3发出的红外光为波长大于960nm的红外光，红外光源3和降压电源模块4电连接，降压电源模块4电连接220V电源，底座1上设有红外光源强度调节钮7，红外光源强度调节钮7与红外光源3电连接，支撑杆2的前端面上设置有凹槽8，凹槽8内置放有可以上下升降的升降滑块9，升降滑块9通过控制手轮10调整控制在一定范围内升降，升降滑块9的前侧设有用于支撑显微镜镜头12和CCD13的显微镜支架11，显微镜镜头12螺纹连接CCD13，显微镜镜头12的中心与红外光源3的中心、折射板6的中心位于同一垂直线上，CCD13上设有数据线接口。作为进一步优选的实施例，降压电源模块4的电压为3-5V。作为进一步优选的实施例，为防止CCD受磕碰，CCD13的外部罩设有防护罩14，防护罩设有CCD数据线通孔，显微镜支架11的前侧中部设有螺纹通孔，一锁紧螺钉15拧进螺纹通孔固定防护罩。作为进一步优选的实施例，为更便于组装拆卸，显微镜支架11的后侧中部设有一沉头螺孔23，升降滑块上设有与沉头螺孔配装的螺纹孔24，一沉头螺钉25拧进沉头螺孔和螺纹孔将显微镜支架和升降滑块固定。作为进一步优选的实施例，请参见图3，为保证升降滑动上下移动时的稳定性，同时减轻了设备重量，降低加工成本，升降滑块9的后侧表面设有齿条16，齿条16与齿杆17互相啮合，两个控制手轮10分别与齿杆17的两端固定连接。转动控制手轮10时，齿杆17转动带动齿条16上下移动，进而带动升降滑块9在凹槽8内上下移动。升降滑块9的两侧与凹槽8两侧壁之间分别通过钢珠钢丝导轨滑动连接。钢珠钢丝导轨包括设置在升降滑块9两侧的钢丝凹槽一91，设置在凹槽8两侧壁上的钢丝凹槽二81，设置在钢丝凹槽一91和钢丝凹槽二81之间的分珠片18，设置在分珠片18上的钢珠19；钢丝凹槽一91内固定设置有两根钢丝一20，钢丝凹槽二81内固定设置有两根钢丝二21，分珠片18通过圆柱销22固定在升降滑块9上，钢珠19至少为两个。在此具体实施例中，置放升降滑块的凹槽8本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种红外透视显微镜，包括底座，与所述底座一侧通过螺钉连接固定的支撑杆，其特征在于：还包括设置在底座内的红外光源和降压电源模块，所述底座的上表面设有一阶梯通孔，所述阶梯通孔上设有用于将红外光充分散射的折射板，所述红外光源位于折射板正下方，所述红外光源发出的红外光为波长大于960nm的红外光，所述红外光源和降压电源模块电连接，所述降压电源模块电连接220V电源，所述底座上设有红外光源强度调节钮，所述红外光源强度调节钮与红外光源电连接，所述支撑杆的前端面上设置有凹槽，所述凹槽内置放有可以上下升降的升降滑块，所述升降滑块通过控制手轮调整控制在一定范围内升降，所述升降滑块的前侧设有用于支撑显微镜镜头和CCD的显微镜支架，所述显微镜镜头螺纹连接CCD，所述显微镜镜头的中心与红外光源的中心、折射板的中心位于同一垂直线上，所述CCD上设有数据线接口。

【技术特征摘要】
1.一种红外透视显微镜，包括底座，与所述底座一侧通过螺钉连接固定的支撑杆，其特征在于：还包括设置在底座内的红外光源和降压电源模块，所述底座的上表面设有一阶梯通孔，所述阶梯通孔上设有用于将红外光充分散射的折射板，所述红外光源位于折射板正下方，所述红外光源发出的红外光为波长大于960nm的红外光，所述红外光源和降压电源模块电连接，所述降压电源模块电连接220V电源，所述底座上设有红外光源强度调节钮，所述红外光源强度调节钮与红外光源电连接，所述支撑杆的前端面上设置有凹槽，所述凹槽内置放有可以上下升降的升降滑块，所述升降滑块通过控制手轮调整控制在一定范围内升降，所述升降滑块的前侧设有用于支撑显微镜镜头和CCD的显微镜支架，所述显微镜镜头螺纹连接CCD，所述显微镜镜头的中心与红外光源的中心、折射板的中心位于同一垂直线上，所述CCD上设有数据线接口。2.根据权利要求1所述的红外透视显微镜，其特征在于：所述降压电源模块的电压为3-5V。3.根据权利要求1所述的红外透视显微镜，其特征在于：所述CCD的外部罩...

【专利技术属性】
技术研发人员：辛言，赵钢，刘菲，许俊杰，
申请(专利权)人：阿米巴科技天津有限公司，
类型：新型
国别省市：天津,12