可移除式隔离阀屏蔽插入组件制造技术

提供一种改进的隔离阀，以及用于隔离阀的可移除式屏蔽插入组件。在一个实施方式中，提供用于隔离阀的屏蔽插入组件，屏蔽插入组件包含形状为平环的石墨第一屏蔽插入件。第一屏蔽插入件具有圆形外径。形成穿过第一屏蔽插入件的长孔。形成穿过第一屏蔽插入件的至少两个紧固件孔，紧固件孔配置为将第一屏蔽插入件耦接至第一屏蔽支撑件。

Removable isolation valve shield insert module

An improved isolation valve and a removable shield insertion module for isolating valves are provided. In one embodiment, a shielding insertion assembly for an isolation valve is provided, which comprises a first graphite shielding insertion member in the shape of a flat ring. The first shield insert has a circular outer diameter. A long hole is formed through the first shield insert. At least two fastener holes are formed through the first shield insert, and the fastener holes are configured to couple the first shield insert to the first shield support.

【技术实现步骤摘要】
可移除式隔离阀屏蔽插入组件本申请是申请日为2014年9月25日、申请号为201480053210.5、专利技术名称为“可移除式隔离阀屏蔽插入组件”的专利技术专利申请的分案申请。
本文所说明的实施方式关于半导体制造装置与方法。确切地说，本文所说明的实施方式关于用于处理腔室的隔离阀，且更确切地说，关于用于隔离阀的可移除式屏蔽插入件。现有技术在许多传统处理腔室中，不移除隔离阀，就无法进出隔离阀背侧与源腔室出口之间的区域。处理基板可能涂布这个区域，造成污染物与设备误动作。然而，因为难以进出，清洁与保养这个区域是非常困难的。因此，保养与清洁阀部件，需要大量的维护时间来拆解阀。因此，隔离阀需要被改良。
技术实现思路
提供改进的隔离阀，以及用于隔离阀的可移除式屏蔽插入组件。在一个实施方式中，提供用于隔离阀的屏蔽插入组件。在一个实施方式中，提供用于隔离阀的屏蔽插入组件，屏蔽插入组件包含形状为平环(flatring)的石墨第一屏蔽插入件。第一屏蔽插入件具有圆形外径(outerdiameter)。形成穿过第一屏蔽插入件的长孔。形成穿过第一屏蔽插入件的至少两个紧固件孔，紧固件孔配置为将第一屏蔽插入件耦接至第一屏蔽支撑件。在另一实施方式中，提供一种隔离阀。隔离阀包含阀外壳、耦接至外壳第一侧的第一屏蔽插入组件、耦接至外壳第二侧的第二屏蔽插入组件、以及设置在外壳中的封闭构件。阀外壳具有孔。第一屏蔽插入组件具有第一屏蔽支撑件与第一屏蔽插入件，所述第一屏蔽支撑件耦接至所述外壳，而所述第一屏蔽插入件可移除地耦接至所述第一屏蔽支撑件的孔。第一屏蔽插入件具有长孔。第一屏蔽插入组件耦接至外壳第二侧。第二屏蔽插入组件具有第二屏蔽支撑件与第二屏蔽插入件，所述第二屏蔽支撑件耦接至所述外壳，而所述第二屏蔽插入件可移除地耦接至所述第二屏蔽支撑件的孔。第二屏蔽插入件具有与第一屏蔽插入件的长孔对齐的长孔。封闭构件可在使长孔开启及关闭的位置之间移动。第二屏蔽插入件的尺寸被设定为适合穿过第一屏蔽支撑件的孔。附图说明通过参考实施方式(一些实施方式在附图中说明)，可获得在上文中简要总结的本公开内容的更具体的说明，而能详细了解上述的本公开内容的特征。然而应注意，附图仅说明本公开内容的典型实施方式，因而不应将这些附图视为限制本公开内容的范围，因为本公开内容可容许其它等效实施方式。图1图示说明隔离阀的分解正交视图，隔离阀具有用以保护阀屏蔽的可移除式插入件。图2A至图2C为位于两个腔室之间的隔离阀的剖视图。图3为隔离阀的前正交视图，其中可移除式插入件被固定至隔离阀。图4为隔离阀的后正交视图，其中可移除式插入件被固定至隔离阀。为了助于理解，已尽可能使用相同的附图标记指定各图共有的相同元件。应考虑一个实施方式所公开的元件可有利地用于其它实施方式而无需进一步说明。具体实施方式在降低半导体生产成本并提升工具性能的持续需求中，制造设施的管理者时常寻找方式以降低生产工具耗材与部件的成本。但存在易犯的错误。仅聚焦在成本上的策略，可能没有考虑许多内部设计与制造利益关系者的不同的优先考虑：设计团队想要尽可能高的工具性能以减少缺陷，然而制造团体的要务是以尽可能低的成本操作成本以获得可靠地生产以及高产量，而购买团队想要的是尽可能低的价格。在一些情况中，工具的原始设备制造商(OEM)可提供替代方案，包含具有成本效益并帮助提升性能的清洁或修复方案。在其他情况中，最佳的行动过程是重新设计耗材或部件，以提升工具在特定应用中的生产力与性能，从而提升良率且同时降低工具的总拥有成本。但是，这些努力的成功与否，取决于重新设计零件的公司对于设备的知识的深度。本文提供特定应用耗材与部件，它们可通过更有效地达成制造者的特定要求来降低总工具操作成本。更确切地说，在此说明适合用于现存隔离阀的插入屏蔽，例如用在由瓦里安半导体设备(VarianSemiconductorEquipment)及其他制造者所制造的离子注入机上的插入屏蔽。插入屏蔽组件也可经配置以用在制造者所提供的隔离阀上。插入屏蔽组件也适合用于其他类型的隔离阀。累积形成于隔离阀屏蔽上的薄片，若未被清洁，则可导致工艺问题。清洁现存的传统屏蔽，需要移除隔离阀以及冗长的预防性维护(preventivemaintenance；PM)例行程序。本公开内容的隔离阀插入屏蔽组件，可在无需移除隔离阀的情况下被移除。这大大降低了PM时间，贡献了较佳的工艺性能。图1与图2A至图2C图示说明隔离阀100的分解正交视图与剖视图，隔离阀100具有可移除式屏蔽插入组件130、132。可移除式屏蔽插入组件130、132用于保护隔离阀100的封闭构件124，并消除了对于耗成本又耗时地移除与清洁隔离阀100的需要。隔离阀100包含主体组件120，主体组件120装设在第一腔室102与第二腔室104之间。在其中隔离阀100可被用于离子注入系统中的实施方式中，第一腔室102可为束产生器(beamgenerator)，而第二腔室104可为分辨腔室(resolvingchamber)。在其他应用中，隔离阀100可适于用在配置为用于其他半导体处理类型的腔室102、104之间。主体组件120包含外壳122，外壳122具有孔114，孔114提供腔室102、104之间的连接。封闭构件124被设置在外壳122中并被耦接至致动器126。致动器126被用于移动封闭构件124，以开启和关闭穿过隔离阀100、在腔室102、104之间的通道138。致动器126被耦接至控制器128以控制致动器126的运行，且因此控制封闭构件124在外壳122内的位置。可移除式屏蔽插入组件130、132被耦接至外壳122在孔114上的相对侧。第一屏蔽插入组件130包含第一屏蔽支撑件160与第一屏蔽插入件162。在一个例子中，第一屏蔽支撑件160的厚度，约相等于第一屏蔽插入件162的厚度，而使得第一屏蔽支撑件160与第一屏蔽插入件162的两侧在被组合时对齐。第一屏蔽支撑件160被耦接至外壳122的第一侧116(例如利用紧固件(未图示))。第一屏蔽支撑件160的形状大体为平环。第一屏蔽支撑件160具有内壁166，内壁166界定形成为穿过第一屏蔽支撑件160的孔190。第一屏蔽插入件162被耦接在第一屏蔽支撑件160的孔190上。第一屏蔽插入件162包含形成为穿过第一屏蔽插入件162的孔134，孔134位于第一屏蔽支撑件160的孔190内，孔134提供穿过第一屏蔽插入组件130的通道。第一屏蔽支撑件160与第一屏蔽插入件162接合，接合的方式允许无需将第一屏蔽支撑件160从外壳122移除，即可将第一屏蔽插入件162从第一屏蔽支撑件160移除。在一个例子中，第一屏蔽支撑件160可包含配合特征结构180，配合特征结构180与第一屏蔽插入件162的互补配合特征结构182接合。第一屏蔽支撑件160的配合特征结构180可为槽口(notch)184，槽口184形成在第一屏蔽支撑件160背向第二屏蔽插入组件132(亦即，朝向第一腔室102)的一侧中。配合特征结构180与互补配合特征结构182可配置为使第一屏蔽支撑件160与第一屏蔽插入件162指向预先界定的方向。或者，可用定位销以将第一屏蔽支撑件160与第一屏蔽插入件162固定于预先界定的方向。第一屏蔽插入本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于隔离阀的屏蔽插入组件，所述屏蔽插入组件包含：石墨第一屏蔽插入件，所述石墨第一屏蔽插入件的形状为平环，所述第一屏蔽插入件包含：圆形外径；长孔，所述长孔形成为穿过所述第一屏蔽插入件；以及至少两个紧固件孔，所述至少两个紧固件孔形成为穿过所述第一屏蔽插入件，并且所述至少两个紧固件孔配置为将所述第一屏蔽插入件耦接至第一屏蔽支撑件。

【技术特征摘要】
2013.09.29 US 61/884,0911.一种用于隔离阀的屏蔽插入组件，所述屏蔽插入组件包含：石墨第一屏蔽插入件，所述石墨第一屏蔽插入件的形状为平环，所述第一屏蔽插入件包含：圆形外径；长孔，所述长孔形成为穿过所述第一屏蔽插入件；以及至少两个紧固件孔，所述至少两个紧固件孔形成为穿过所述第一屏蔽插入件，并且所述至少两个紧固件孔配置为将所述第一屏蔽插入件耦接至第一屏蔽支撑件。2.如权利要求1所述的屏蔽插入组件，所述屏蔽插入组件包含：第一屏蔽支撑件，所述第一屏蔽支撑件具有槽口，所述槽口配置为配合所述第一屏蔽插入件的所述圆形外径。3.如权利要求2所述的屏蔽插入组件，其中由石墨或铝制成所述第一屏蔽支撑件。4.如权利要求2所述的屏蔽插入组件，其中所述第一屏蔽支撑件的所述槽口与所述第一屏蔽插入件形成搭接。5.如权利要求2所述的屏蔽插入组件，其中所述第一屏蔽支撑件的厚度约等于所述第一屏蔽插入件的厚度。6.如权利要求1所述的屏蔽插入组件，所述屏蔽插入组件进一步包含：第一屏蔽支撑件，所述第一屏蔽支撑件具有孔，所述孔配置为接收并配合所述第一屏蔽插入件的所述圆形外径；第二屏蔽插入件，所述第二屏蔽插入件具有长孔；以及第二屏蔽支撑件，所述第二屏蔽支撑件具有配置为配合所述第二屏蔽插入件的孔，所述第二屏蔽插入件的尺寸被设定为适合穿过所述第一屏蔽支撑件的所述孔。7.如权利要求6所述的屏蔽插入组件，其中由石墨制成所述第二屏蔽插入件。8.如权利要求6所述的屏蔽插入组件，其中所述第二屏蔽插入件为椭圆形。9.如权利要求6所述的屏蔽插入组件，其中所述第二屏蔽插入件进一步包含：厚度，所述厚度朝着所述第二屏蔽插入件的所述长孔逐渐变薄。10.如权利要求6所述的屏蔽插入组件，其中所述第二屏蔽插入件进一步包含：外壁，所述外壁大于所述第二屏蔽支撑件的所述孔。11.如权利要求1所述的屏蔽插入组件，进一步包括：第一尺寸，所述第一尺寸对应于形成在所述第一屏蔽插入件的所述长孔的高度；和第二尺寸，所述第二尺寸对应于形成在所述第一屏...

【专利技术属性】
技术研发人员：布莱恩·威德，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：美国,US