基板保持旋转装置及具备该装置的基板处理装置及方法制造方法及图纸

基板保持旋转装置中，第一销组所含的各可动销的支撑部设为，能够在保持位置所含的第一和第二保持位置之间移动，且能够在第一和第二保持位置与远离旋转轴线的开放位置之间移动，第一保持位置是接近旋转轴线的规定的位置，第二保持位置在周方向的一方与第一保持位置相隔离；第二销组所含的各可动销的支撑部被设为，能够在接近旋转轴线的保持位置与远离旋转轴线的开放位置之间移动；在第一销组所含的各可动销的支撑部位于保持位置，且第二销组所含的各可动销的支撑部位于开放位置的情况下，能够由第一销组所含的各可动销支撑基板；第一销组所含的各可动销的支撑部，一边维持位于保持位置的状态一边在第一保持位置与第二保持位置之间沿周方向移动。

【技术实现步骤摘要】
基板保持旋转装置及具备该装置的基板处理装置及方法
本专利技术涉及基板保持旋转装置以及具备该基板保持旋转装置的基板处理装置、基板处理方法。保持对象或处理对象的基板，例如包括半导体晶片、液晶显示装置用基板、等离子显示器用基板、FED(FieldEmissionDisplay：场发射显示器)用基板、光盘用基板、磁盘用基板、光磁盘用基板、光掩模用基板、陶瓷基板、太阳能电池用基板等。
技术介绍
在半导体装置、液晶显示装置等的制造工序中，对半导体晶片、液晶显示装置用玻璃基板等的基板，使用处理液进行处理。逐张(一张一张)对基板进行处理的单张式的基板处理装置例如具有：旋转卡盘，一边将基板保持为水平一边使该基板旋转；处理液供给单元，对保持在旋转卡盘上的基板的上表面供给处理液。有时会采用夹持式的卡盘来作为旋转卡盘，该夹持式的卡盘使多个夹持构件与基板的周缘部接触，从而在水平方向上夹住该基板，由此来保持基板。在夹持式的卡盘中，在基板的外周形状所对应的圆周上，隔出恰当的间隔来设置有多个夹持构件。如果使多个夹持构件始终与基板接触，则在基板的周缘部上的夹持构件的接触支撑位置，有可能发生处理不良。具体而言，在基板的周缘部上的接触支撑位置，处理液不会完全扩散，随之会产生处理残留部分，相反，很多处理液会顺着夹持构件而绕到相反侧，其结果，相反侧的面的周缘部的处理宽度有可能会发生紊乱等。为了解决这样的问题，在美国专利申请第2004/0159343A1(USUnexaminedPatentApplicationPublicationNo.2004/0159343A1)公报上公开了一种旋转卡盘，包括：旋转基座；第一开闭机构，使在旋转基座的周缘部竖立设置的6个夹持构件中的3个夹持构件，在夹持位置与非夹持位置之间移位，由此来开闭该夹持构件；第二开闭机构，使6个夹持构件中的剩下的3个夹持构件，在夹持位置与非夹持位置之间移位，由此来开闭该夹持构件。在这样的旋转卡盘中，在保持基板持续旋转的状态下，从由第一夹持构件组夹持基板且第二夹持构件组不夹持基板的第一夹持状态，经过由第一以及第二夹持构件组夹持基板的中间状态，转移至由第二夹持构件组夹持基板且第一夹持构件组不夹持基板的第二夹持状态。因此，在使用了处理液的处理中，交替由互不相同的多个夹持构件来保持基板，即，通过切换与基板的周缘部接触的夹持构件，从而将使用了处理液的处理中夹持构件所带来的处理影响抑制到最小限度。
技术实现思路
然而，基板的周缘部上的夹持构件的接触支撑位置是不变的，因此，即使如专利文献1那样通过夹持构件来交替保持基板，在该接触支撑位置虽少但也有可能会发生处理不良。在此情况下，基板的周缘部的接触支撑位置中的处理的进展，有可能会比周缘部的其它区域慢。对基板的周缘部的各部位，需要进行均匀的处理。因此优选一边旋转基板，一边沿着圆周来挪动(移动)基板的周缘部上的接触支撑位置。即，需要一边通过基板保持旋转装置(旋转卡盘)良好地保持基板，一边在使基板旋转的期间，改变基板的周缘部上的可动销(夹持构件)的接触支撑位置。因此，作为本专利技术的目的之一，提供一种基板保持旋转装置，能够在良好地保持基板的同时，改变基板的周缘部上的接触支撑位置。另外，本专利技术的其它目的在于，提供一种能够良好地对基板的周缘部的全域进行处理的基板处理装置以及基板处理方法。本专利技术提供一种基板保持旋转装置，一边将基板保持为水平，一边使所述基板围绕沿着铅垂方向延伸的规定的旋转轴线旋转，该基板保持旋转装置包括：多个可动销，沿着以所述旋转轴线为中心的圆周排列，并且分别具有支撑部，所述支撑部通过与基板的周缘部接触来支撑基板；旋转单元，使所述多个可动销围绕所述旋转轴线旋转。所述多个可动销包括：第一销组，至少包括3个可动销；第二销组，至少包括3个可动销。所述第一销组所含的各可动销的所述支撑部，能够在保持位置所包括的第一保持位置和所述保持位置所包括的第二保持位置之间移动，并且能够在所述第一和第二保持位置与远离所述旋转轴线的开放位置之间移动，所述第一保持位置是接近所述旋转轴线的规定的位置，所述第二保持位置接近所述旋转轴线并且在周方向的一方与所述第一保持位置相隔离；所述第二销组所含的各可动销的所述支撑部，能够在接近所述旋转轴线的所述保持位置与远离所述旋转轴线的所述开放位置之间移动；在所述第一销组所含的各可动销的所述支撑部位于所述保持位置，并且所述第二销组所含的各可动销的所述支撑部位于所述开放位置的情况下，能够由所述第一销组所含的各可动销支撑基板；所述基板保持旋转装置还包括第一移动单元，所述第一移动单元使所述第一销组所含的各可动销的所述支撑部，一边维持位于所述保持位置的状态一边在所述第一保持位置与所述第二保持位置之间沿周方向移动。根据该结构，在第一销组所含的各可动销的支撑部位于保持位置并且第二销组所含的各可动销的支撑部位于开放位置的状态下，由第一销组所含的各可动销支撑基板。在该状态下，通过使第一销组所含的各可动销的支撑部在周方向上从第一保持位置移动到第二保持位置，从而能够使基板围绕旋转轴线转动。由此，能够一边良好地水平保持基板，一边改变基板的周缘部上的接触支撑位置。在本专利技术的一个实施方式中，所述第一移动单元包括第一周方向移动单元，所述第一周方向移动单元使所述第一销组所含的各可动销，在第一周方向位置与第二周方向位置之间移动，所述第二周方向位置在周方向的所述一方与所述第一周方向位置相隔离；所述第一保持位置，是所述第一销组所含的各可动销位于所述第一周方向位置时的所述支撑部的所述保持位置；所述第二保持位置，是所述第一销组所含的各可动销位于所述第二周方向位置时的所述支撑部的所述保持位置。根据该结构，使第一销组所含的各可动销在第一周方向位置与在周方向的一方与第一周方向位置相隔离的第二周方向位置之间移动。将位于第一周方向位置时的第一销组所含的各可动销的支撑部的保持位置设为第一保持位置，并且将位于第二周方向位置时的第一销组所含的各可动销的支撑部的保持位置设为第二保持位置，由此，能够以比较简单的结构来实现如下结构：将第一销组所含的各可动销的支撑部设为能够在第一保持位置与第二保持位置之间移动的结构。所述基板保持旋转装置也可以被设为，还包括：旋转基座，与所述旋转单元相连结；销支撑构件，对所述第一销组所含的各可动销进行支撑，能够随着所述旋转基座一起旋转，并且能够相对于所述旋转基座相对转动。此时，所述第二销组所含的各可动销也可以能够随着所述旋转基座一起旋转；所述第一周方向移动单元还包括转动单元，所述转动单元使所述销支撑构件相对于所述旋转基座而围绕所述旋转轴线相对转动。根据该结构，基板保持旋转装置还包括：旋转基座，与所述旋转单元相连结；销支撑构件，对所述第一销组所含的各可动销进行支撑，能够随着所述旋转基座一起旋转，并且能够相对于所述旋转基座相对转动。能够将第一销组所含的各可动销设为能够随着销支撑构件一起旋转，将第二销组所含的各可动销设为能够随着旋转基座一起旋转。由此，能够以比较简单的结构来实现如下结构：使第一销组所含的各可动销的支撑部在周方向上移动的结构(第一周方向移动单元)。也可以在所述第二销组所含的各可动销的所述支撑部位于所述保持位置，并且所述第一销组所含的各可动销的所述支撑部位于所述开放本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基板保持旋转装置，一边将基板保持为水平，一边使所述基板围绕沿着铅垂方向延伸的规定的旋转轴线旋转，其特征在于，包括：多个可动销，沿着以所述旋转轴线为中心的圆周排列，并且分别具有支撑部，所述支撑部通过与基板的周缘部接触来支撑基板，旋转单元，使所述多个可动销围绕所述旋转轴线旋转；所述多个可动销包括：第一销组，至少包括3个可动销，第二销组，至少包括3个可动销；所述第一销组所含的各可动销的所述支撑部，能够在保持位置所包括的第一保持位置和所述保持位置所包括的第二保持位置之间移动，并且能够在所述第一和第二保持位置与远离所述旋转轴线的开放位置之间移动，所述第一保持位置是接近所述旋转轴线的规定的位置，所述第二保持位置接近所述旋转轴线并且在周方向的一方与所述第一保持位置相隔离，所述第二销组所含的各可动销的所述支撑部，能够在接近所述旋转轴线的所述保持位置与远离所述旋转轴线的所述开放位置之间移动，在所述第一销组所含的各可动销的所述支撑部位于所述保持位置，并且所述第二销组所含的各可动销的所述支撑部位于所述开放位置的情况下，能够由所述第一销组所含的各可动销支撑基板，所述基板保持旋转装置还包括第一移动单元，所述第一移动单元使所述第一销组所含的各可动销的所述支撑部，一边维持位于所述保持位置的状态一边在所述第一保持位置与所述第二保持位置之间沿周方向移动。...

【技术特征摘要】
2017.03.24 JP 2017-0600221.一种基板保持旋转装置，一边将基板保持为水平，一边使所述基板围绕沿着铅垂方向延伸的规定的旋转轴线旋转，其特征在于，包括：多个可动销，沿着以所述旋转轴线为中心的圆周排列，并且分别具有支撑部，所述支撑部通过与基板的周缘部接触来支撑基板，旋转单元，使所述多个可动销围绕所述旋转轴线旋转；所述多个可动销包括：第一销组，至少包括3个可动销，第二销组，至少包括3个可动销；所述第一销组所含的各可动销的所述支撑部，能够在保持位置所包括的第一保持位置和所述保持位置所包括的第二保持位置之间移动，并且能够在所述第一和第二保持位置与远离所述旋转轴线的开放位置之间移动，所述第一保持位置是接近所述旋转轴线的规定的位置，所述第二保持位置接近所述旋转轴线并且在周方向的一方与所述第一保持位置相隔离，所述第二销组所含的各可动销的所述支撑部，能够在接近所述旋转轴线的所述保持位置与远离所述旋转轴线的所述开放位置之间移动，在所述第一销组所含的各可动销的所述支撑部位于所述保持位置，并且所述第二销组所含的各可动销的所述支撑部位于所述开放位置的情况下，能够由所述第一销组所含的各可动销支撑基板，所述基板保持旋转装置还包括第一移动单元，所述第一移动单元使所述第一销组所含的各可动销的所述支撑部，一边维持位于所述保持位置的状态一边在所述第一保持位置与所述第二保持位置之间沿周方向移动。2.如权利要求1所述的基板保持旋转装置，其特征在于，所述第一移动单元包括第一周方向移动单元，所述第一周方向移动单元使所述第一销组所含的各可动销，在第一周方向位置与第二周方向位置之间移动，所述第二周方向位置在周方向的所述一方与所述第一周方向位置相隔离，所述第一保持位置，是所述第一销组所含的各可动销位于所述第一周方向位置时的所述支撑部的所述保持位置，所述第二保持位置，是所述第一销组所含的各可动销位于所述第二周方向位置时的所述支撑部的所述保持位置。3.如权利要求2所述的基板保持旋转装置，其特征在于，所述基板保持旋转装置还包括：旋转基座，与所述旋转单元相连结，销支撑构件，对所述第一销组所含的各可动销进行支撑，能够随着所述旋转基座一起旋转，并且能够相对于所述旋转基座相对转动；所述第二销组所含的各可动销能够随着所述旋转基座一起旋转，所述第一周方向移动单元还包括转动单元，所述转动单元使所述销支撑构件相对于所述旋转基座而围绕所述旋转轴线相对转动。4.如权利要求1所述的基板保持旋转装置，其特征在于，在所述第二销组所含的各可动销的所述支撑部位于所述保持位置，并且所述第一销组所含的各可动销的所述支撑部位于所述开放位置的情况下，能够由所述第二销组所含的各可动销支撑基板，所述基板保持旋转装置还包括：第二移动单元，使所述第二销组所含的各可动销的所述支撑部，在所述开放位置与所述保持位置之间移动，控制装置，用于对所述第一移动单元以及所述第二移动单元进行控制；所述控制装置执行如下工序：第一周方向移动工序，在所述第一销组所含的各可动销位于所述保持位置，并且所述第二销组所含的各可动销位于所述开放位置的状态下，通过所述第一移动单元，使所述第一销组所含的各可动销的所述支撑部，在周方向上从所述第一保持位置移动到所述第二保持位置，第一移动工序，在所述第一周方向移动工序结束后，通过所述第二移动单元，使所述第二销组所含的各可动销的所述支撑部，从所述开放位置移动到所述保持位置。5.如权利要求4所述的基板保持旋转装置，其特征在于，所述控制装置还执行如下工序：第二移动工序，在所述第一移动工序结束后，控制所述第一移动单元，使所述第一销组所含的各可动销的所述支撑部，从所述第二保持位置移动到所述开放位置，第三移动工序，在所述第二移动工序之后，控制所述第一移动单元，使所述第一销组所含的各可动销的所述支撑部，从所述开放位置移动到所述第一保持位置。6.如权利要求4或5所述的基板保持旋转装置，其特征在于，所述控制装置还执行第四移动工序，在所述第四移动工序中，从所述第一和第二销组所含的各可动销的所述支撑部配置在所述保持位置的状态开始，在所述第一周方向移动工序开始之前，控制所述第一移动单元，使所述第二销组所含的各可动销的所述支撑部，从所述保持位置移动到所述开放位置。7.如权利要求4或5所述的基板保持旋转装置，其特征在于，所述控制装置还执行旋转工序，在所述旋转工序中，控制所述旋转单元，使所述多个可动销围绕所述旋转轴线旋转，所述控制装置，与所述旋转工序并行地，执行所述第一周方向移动工序以及所述第一移动工序。8.如权利要求4或5所述的基板保持旋转装置，其特征在于，所述第二销组所含的各可动销的支撑部，能够在所述保持位置所包括的规定的第三保持位置与所述保持位置所包括的第四保持位置之间移动，并且能够在所述第三和第四保持位置与所述开放位置之间移动，所述第四保持位置在周方向的所述一方与所述第三保持位置相隔离，所述基板保持旋转装置还包括：第三移动单元，使所述第二销组所含的各可动销的所述支撑部，一边维持位于所述保持位置的状态一边在所述第三保持位置与所述第四保持位置之间移动，第四移动单元，使所述第一销组所含的各可动销的所述支撑部，在所述开放位置与所述保持位置之间移动；所述控制装置还执行如下工序：第二移动工序，在所述第一移动工序结束后，控制所述第四移动单元，使所述第一销组所含的各可动销的所述支撑部，从所述第二保持位置移动到所述开放位置，第二周方向移动工序，在所述第二移动工序之后，控制所述第三移动单元，使所述第二销组所含的各可动销的所述支撑部，在周方向上从所述第三保持位置移动到所述第四保持位置，第三移动工序，在所述第二周方向移动工序结束后，控制所述第一移动单元，使所述第一销组所含的各可动销的所述支撑部，从所述开放位置移动到所述第一保持位置。9.如权利要求8所述的基板保持旋转装置，其特征在于，所述第二移动单元包括：第一环状磁铁，围绕所述旋转轴线而成为圆环，第一切换机构，具有第一驱动用磁铁，所述第一驱动用磁铁被设置为能够伴随所述第一销组所包括的各可动销旋转，所述第一切换机构在所述保持位置与所述开放位置之间切换所述第一销组所含的各可动销的所述支撑部，第一升降磁铁，与所述第一环状磁铁的下方相向，具有与所述第一驱动用磁铁之间相互作用排斥力或吸引力的磁极方向，第一升降单元，使所述第一升降磁铁在这样的两个位置之间升降，即，该第一升降磁铁与所述第一驱动用磁铁之间相互作用所述排斥力或所述吸引力的上方位置，以及所述第一升降磁铁与所述第一驱动用磁铁之间相互作用的所述排斥力或所述吸引力比位于上方位置时小的下方位置；所述第四移动单元包括：第二环状磁铁，围绕所述旋转轴线而成为圆环，第二切换机构，具有第二驱动用磁铁，所述第二驱动用磁铁被设置为能够随着所述第二销组所包括的各可动销一起旋转，所述第二切换机构在所述保持位置与所述开放位置之间切换所述第二销组所含的各可动销的所述支撑部，第二升降磁铁，与所述第二环状磁铁的下方相向，具有与所述第二驱动用磁铁之间相互作用排斥力或吸引力的磁极方向，第二升降单元，使所述第二升降磁铁在这样的两个位置之间升降，即，该第二升降磁铁与所述第二驱动用磁铁之间相互作用所述排斥力或所述吸引力的上方位置，以及所述第二升降磁铁与所述第二驱动用磁铁之间相互作用的所述排斥力或所述吸引力比位于上方位置时小的下方位置。10.如权利要求8所述的基板保持旋转装置，其特征在于，所述第二移动单元包括：第一施力单元，对所述第一销组所含的各可动销的所述支撑部，向所述开放位置以及所述保持位置中的一方施力，第一驱动用磁铁，设置为能够随着所述第一销组所含的各可动销一起旋转，具有彼此相同的磁极方向，第三升降磁铁，具有在与沿着所述旋转轴线的轴线正交的方向上与所述第一驱动用磁铁之间作用排斥力或吸引力的磁极方向，通过该排斥力或该吸引力，对所述第一销组的所述支撑部，施加向所述开放位置以及所述保持位置的另一方的力，第一升降移动单元，使所述第三升降磁铁在这样的两个位置之间升降，即，该第三升降磁铁与所述第一驱动用磁铁之间相互作用所述排斥力或所述吸引力的上方位置，以及所述第三升降磁铁与所述第一驱动用磁铁之间相互作用的所述排斥力或所述吸引力比位于上方位置时小的下方位置；所述第四移动单元包括：第二施力单元，对所述第二销组所含的各可动销的所述支撑部，向所述开放位置以及所述保持位置中的一方施力，第二驱动用磁铁，被设置为能够随着所述第二销组所含的各可动销一起旋转，具有彼此相同且与所述第一驱动用磁铁相反的磁极方向，第四升降磁铁，具有在与沿着所述旋转轴线的轴线正交的方向上与所述第二驱动用磁铁之间作用排斥力或吸引力的磁极方向，通过该排斥力或该吸引力，对所述第二销组的所述支撑部，施加向所述开放位置以...

【专利技术属性】
技术研发人员：石井弘晃，村元僚，
申请(专利权)人：株式会社斯库林集团，
类型：发明
国别省市：日本,JP