一种洁净系统技术方案

技术编号:19098800 阅读:78 留言:0更新日期:2018-10-03 02:46
本实用新型专利技术公开了一种洁净系统,包括:与容器连接用于抽出所述容器内气体的动力设备、以及与所述动力设备连接的高效过滤器;所述动力设备设置有第一连接口与所述容器连接,所述高效过滤器设置有第二连接口与所述容器连接。本实用新型专利技术所带来的有益效果是提升容器内的洁净度,并且节约成本。

【技术实现步骤摘要】
一种洁净系统
本技术涉及太阳能
,更具体的说,是涉及一种洁净系统。
技术介绍
在容器清洗设备和湿法处理设备中,对硅片的洁净度对硅片的效率影响较大,特别是在烘干工位,现阶段较大部分硅片所在的容器为厂房内空气,而厂房内空气达到千级洁净度成本较大,尽管有部分设备在厂房内空气进入设备时,增加了初效过滤器,但随着硅片工艺/技术的发展,特别是在HIT、黑硅、PERC等技术的新起,对硅片的洁净度要求越来越高,现在的清洁技术大多达不到高要求的清洁度。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种针对容器清洁的系统,提升所述容器内洁净度的一种洁净系统。本技术的目的是通过以下技术方案来实现的:一种洁净系统,包括:与容器连接用于抽出所述容器内气体的动力设备、以及与所述动力设备连接的高效过滤器;所述动力设备设置有第一连接口与所述容器连接,所述高效过滤器设置有第二连接口与所述容器连接。由于在所述容器外接入一个所述动力设备,加速所述容器内的气体流动,还在所述动力设备与所述容器之间加入所述高效过滤器,过滤气体后回到所述容器内,产用气体循环过滤系统来提升进入所述容器内的洁净度,以及保证容器内的正压,从而提升所述容本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种洁净系统,其特征在于,包括:与容器连接用于抽出所述容器内气体的动力设备、以及与所述动力设备连接的高效过滤器;所述动力设备设置有第一连接口与所述容器连接,所述高效过滤器设置有第二连接口与所述容器连接。

【技术特征摘要】
1.一种洁净系统,其特征在于,包括:与容器连接用于抽出所述容器内气体的动力设备、以及与所述动力设备连接的高效过滤器;所述动力设备设置有第一连接口与所述容器连接,所述高效过滤器设置有第二连接口与所述容器连接。2.根据权利要求1所述的一种洁净系统,其特征在于,还包括设置在容器内用于使所述容器内的空气流动的循环动力装置。3.根据权利要求2所述的一种洁净系统,其特征在于,所述循环动力装置包括电机组件以及与所述电机组件的输出端连接的风轮。4.根据权利要求2或3所述的一种洁净系统,其特征在于,所述容器内包括外槽和内槽,所述循环动力装置用于将所述外槽的气流流到内槽以使气流进行循环。5.根据权利要求1所述的一种洁净系统,其特征在于,所述...

【专利技术属性】
技术研发人员:左国军李雄朋
申请(专利权)人:常州捷佳创精密机械有限公司
类型:新型
国别省市:江苏,32

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