一种洁净系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种洁净系统，包括：与容器连接用于抽出所述容器内气体的动力设备、以及与所述动力设备连接的高效过滤器；所述动力设备设置有第一连接口与所述容器连接，所述高效过滤器设置有第二连接口与所述容器连接。本实用新型专利技术所带来的有益效果是提升容器内的洁净度，并且节约成本。

【技术实现步骤摘要】
一种洁净系统
本技术涉及太阳能
，更具体的说，是涉及一种洁净系统。
技术介绍
在容器清洗设备和湿法处理设备中，对硅片的洁净度对硅片的效率影响较大，特别是在烘干工位，现阶段较大部分硅片所在的容器为厂房内空气，而厂房内空气达到千级洁净度成本较大，尽管有部分设备在厂房内空气进入设备时，增加了初效过滤器，但随着硅片工艺/技术的发展，特别是在HIT、黑硅、PERC等技术的新起，对硅片的洁净度要求越来越高，现在的清洁技术大多达不到高要求的清洁度。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种针对容器清洁的系统，提升所述容器内洁净度的一种洁净系统。本技术的目的是通过以下技术方案来实现的：一种洁净系统，包括：与容器连接用于抽出所述容器内气体的动力设备、以及与所述动力设备连接的高效过滤器；所述动力设备设置有第一连接口与所述容器连接，所述高效过滤器设置有第二连接口与所述容器连接。由于在所述容器外接入一个所述动力设备，加速所述容器内的气体流动，还在所述动力设备与所述容器之间加入所述高效过滤器，过滤气体后回到所述容器内，产用气体循环过滤系统来提升进入所述容器内的洁净度，以及保证容器内的正压，从而提升所述容器内的洁净度，而且只在所述动力设备与所述容器之间加入高效过滤器的方式来提升所述容器内的洁净度，这样不只可以提升所述容器内的洁净度还可以节约成本。优选的，还包括设置在容器内用于使所述容器内的气体流动的循环动力装置。在所述容器内设置有用于使所述容器内的气体流动的所述循环动力装置，加快容器内的气体流动，从而加速所述容器内的气体循环过滤，提升所述容器内的洁净度。优选的，所述循环动力装置包括电机组件以及与所述电机组件的输出端连接的风轮。所述循环动力装置通过所述电机组件提供动力，通过所述风轮与所述电机组件的输出端连接来实现所述容器内的气体循环流动。优选的，所述容器内包括外槽和内槽，所述循环动力装置用于将所述外槽的气流流到内槽以使气流进行循环。所述容器内包括外槽和内槽，这样可以加快容器内的气流循环，从而加快所述容器内的气体过滤，提升所述容器内的洁净度。优选的，所述容器还设置有用于与惰性气体源连接的惰性气体接口。这样可以通过往所述容器内注入惰性气体以保持所述容器内的正压，提升所述容器内的洁净度。优选的，还包括与外部气源连接的初级过滤器，所述初级过滤器与所述动力设备连接。还在所述动力设备外接入一个所述初级过滤器，当选择从外部进入气体时，保证外部气体的初步洁净度，再经过所述高效过滤器的过滤，从而保证所述容器内的正压，到达提升所述容器内的洁净度。优选的，所述动力设备通过第一连接口与所述容器连接，所述动力设备通过第一连接口与所述初级过滤器连接。所述动力设备设置一个连接口分别与所述容器、所述初级过滤器连接，防止多个接口导致气体容易泄漏，还便于后期的维护。优选的，所述初级过滤器与所述动力设备之间设置有用于调节气体流通量的调节阀。在所述初级过滤器和所述动力设备之间设置有所述调节阀，用于调节外部气体进入所述容器内的流通量，从而保证所述容器内的正压，提升所述容器内的洁净度。优选的，所述容器通过第一管道、第二管道与所述动力设备连接。所述容器通过两根管道与所述动力设备的动力设备连接，这样加快所述容器内的气体抽出，从而加速所述容器内的气体循环过滤，提升所述容器内的洁净度。优选的，所述容器通过第三管道、第四管道与所述高效过滤器连接。所述容器通过两根管道与所述动力设备的高效过滤器连接，这样加快经过所述高效过滤器过滤后的气体流入所述容器，从而加速所述容器内的气体循环过滤，提升所述容器内的洁净度。本技术所带来的有益效果是：在所述容器外接入一个所述动力设备，加速所述容器内的气体流动，还在所述动力设备与所述容器之间加入所述高效过滤器，过滤气体后回到所述容器内，产用气体循环过滤系统来提升进入所述容器内的洁净度，以及保证容器内的正压，从而提升所述容器内的洁净度，而且只在所述动力设备与所述容器之间加入高效过滤器的方式来提升所述容器内的洁净度，这样不只可以提升所述容器内的洁净度还可以节约成本。附图说明图1是本技术实施例的一种整体系统第一状态结构示意图；其中：1、容器；2、密封装置；3、循环动力装置；4、动力设备；5、第一连接口；6、高效过滤器；7、第二连接口；8、初级过滤器；9、调节阀；10、第一管道；11、第二管道；12、第三连接口；13、第四连接口；14、第三管道；15、第四管道；16、第五连接口；17、第六连接口。具体实施方式为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本技术，并不用以限定本技术。下面结合附图和较佳的实施例对本技术作进一步说明。如图1所示，本技术提供了一种洁净系统，包括：与容器1通过管道连接用于抽出所述容器1内气体的动力设备4，所述动力设备4为风泵类，在本技术中为高压鼓风机；以及与所述动力设备4通过管道连接的高效过滤器6；所述动力设备4设置有第一连接口5与所述容器1通过管道连接，所述高效过滤器6设置有第二连接口7与所述容器1通过管道连接，所述容器1还设置有密封装置2，防止所述容器1内的气体流出，还可以防止外部的气体流入所述容器1内，保证所述容器1内的正压，达到提升所述容器1内洁净度的效果。由于在所述容器1外通过管道接入一个所述动力设备4，加速所述容器1内的气体流动，还在所述动力设备4与所述容器1之间通过管道加入所述高效过滤器6，过滤气体后通过管道回到所述容器1内，采用气体循环过滤系统来提升进入所述容器1内气体的洁净度，以及保证容器1内的正压，从而提升所述容器1内的洁净度，而且只在所述动力设备4与所述容器1之间加入高效过滤器6的方式来提升所述容器1内的洁净度，这样不只可以提升所述容器1内的洁净度还可以节约成本。在本技术的实施例中，还包括设置在所述容器1内用于使所述容器内的气体流动的循环动力装置3。在所述容器内设置有用于使所述容器内的气体流动的所述循环动力装置，可以加快容器内的气体流动，从而加速所述容器内的气体循环过滤，提升所述容器内的洁净度。在本技术的实施例中，所述循环动力装置3包括电机组件以及与所述电机组件的输出端连接的风轮。所述循环动力装置3通过所述电机组件提供动力，通过所述风轮与所述电机组件的输出端连接来实现所述容器1内的气体循环流动。在本技术的实施例中，所述容器1内包括外槽和内槽（图中未标示），所述循环动力装置3用于将所述外槽的气流流到内槽以使气流进行循环。所述容器1内包括外槽和内槽，这样可以加快容器1内的气流循环，从而加快所述容器1内的气体过滤，提升所述容器1内的洁净度。在本技术的实施例中，所述容器1还设置有用于与惰性气体源连接的惰性气体接口，这样可以通过往所述容器1内注入惰性气体以保持所述容器1内的正压，提升所述容器1内的洁净度。本实施例中可根据需要选择性的利用所述初级过滤器8或所述的惰性气体接口往所述容器1内注入气体以保持所述容器1内的正压，从成本来考虑，选择从所述初级过滤器8往所述容器1内注入外部空气来保持所述容器1内的正压为优选方案，从效果来考虑，选择从所述惰性气体本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种洁净系统，其特征在于，包括：与容器连接用于抽出所述容器内气体的动力设备、以及与所述动力设备连接的高效过滤器；所述动力设备设置有第一连接口与所述容器连接，所述高效过滤器设置有第二连接口与所述容器连接。

【技术特征摘要】
1.一种洁净系统，其特征在于，包括：与容器连接用于抽出所述容器内气体的动力设备、以及与所述动力设备连接的高效过滤器；所述动力设备设置有第一连接口与所述容器连接，所述高效过滤器设置有第二连接口与所述容器连接。2.根据权利要求1所述的一种洁净系统，其特征在于，还包括设置在容器内用于使所述容器内的空气流动的循环动力装置。3.根据权利要求2所述的一种洁净系统，其特征在于，所述循环动力装置包括电机组件以及与所述电机组件的输出端连接的风轮。4.根据权利要求2或3所述的一种洁净系统，其特征在于，所述容器内包括外槽和内槽，所述循环动力装置用于将所述外槽的气流流到内槽以使气流进行循环。5.根据权利要求1所述的一种洁净系统，其特征在于，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：左国军，李雄朋，
申请(专利权)人：常州捷佳创精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32