防着板及物理气相沉积设备制造技术

本发明专利技术提供一种防着板及物理气相沉积设备。本发明专利技术的防着板包括支撑架及能转动设于支撑架上的多条防着条，所述多条防着条能组合形成一个防着面，所述多条防着条转动后能组合形成另一个防着面，当一个防着面沉积膜层较厚时可以翻转使用另一个防着面，防止沉积膜层过厚造成脱落或颗粒污染，保证沉积效果，可提高防着板使用寿命，应用于物理气相沉积设备还可减少防着板的更换和清洗工序，提高设备的稼动率。

【技术实现步骤摘要】
防着板及物理气相沉积设备
本专利技术涉及显示
，尤其涉及一种物理气相沉积用的防着板及物理气相沉积设备。
技术介绍
平面显示装置具有机身薄、省电、无辐射等众多优点，得到了广泛的应用。现有的平面显示装置主要包括液晶显示器(LiquidCrystalDisplay，LCD)及有机电致发光显示器(OrganicLightEmittingDisplay，OLED)。液晶显示器与有机电致发光显示器的制作过程均涉及镀膜制程，这使得镀膜设备和沉积方法等广泛应用于液晶显示器与有机电致发光显示器的镀膜制程中。例如，采用物理气相沉积(PhysicalVaporDeposition，PVD)工艺对铜、钼、铝等进行沉积并形成金属导线和金属电极，对氧化铟锡、氧化铟镓锌等金属氧化物进行沉积形成半导体层和金属电极等。物理气相沉积是在真空条件下，采用物理方法，将材料源—固体或液体表面气化成气态原子、分子或部分电离成离子，并通过低压气体(或等离子体)过程，在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜的技术。在成膜过程中，材料源成分并不会完全沉积在目标基板表面，还会沉积在不该沉积的基板或者设备腔体上，从而影响设备及后续成膜本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种防着板(10)，其特征在于，包括支撑架(30)及能转动设于支撑架(30)上的多条防着条(20)，所述多条防着条(20)能组合形成一个防着面，所述多条防着条(20)转动后能组合形成另一个防着面。

【技术特征摘要】
1.一种防着板(10)，其特征在于，包括支撑架(30)及能转动设于支撑架(30)上的多条防着条(20)，所述多条防着条(20)能组合形成一个防着面，所述多条防着条(20)转动后能组合形成另一个防着面。2.如权利要求1所述的防着板(10)，其特征在于，每一防着条(20)包括条状本体(22)及固定于条状本体(22)两端的两旋转部(23)，所述旋转部(23)能转动设于所述支撑架(30)上。3.如权利要求2所述的防着板(10)，其特征在于，所述旋转部(23)位于所述条状本体(22)的中心轴线(21)上，每一防着条(20)具有相对设置的第一面(24)和第二面(25)，每一防着条(20)能够沿中心轴线(21)旋转以实现第一面(24)和第二面(25)的翻转，所述多条防着条(20)的第一面(24)组合形成一个防着面，所述多条防着条(20)的第二面(25)组合形成另一个防着面。4.如权利要求2所述的防着板(10)，其特征在于，还包括伺服马达(40)，所述伺服马达(40)能驱动所述旋转部(23)旋转进而带动防着条(20)旋转。5.如权利要求3所述的防着板(10)，其特征在于，所述条状本体(22)的宽度大于相邻两个条状本体(22)的中心轴线(21)之间的距离。6.一种物理气相沉积设备(60)，其特征在于，包括：真空腔室(61)，设于所述真空腔室(61)内的蒸发源(62)和基板支撑部(63)，以及设于所述基板...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡小波，
申请(专利权)人：深圳市华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44