含水的铟或铟合金镀浴以及用于沉积铟或铟合金的方法技术

一种含水的铟或铟合金镀浴以及一种用于沉积铟或铟合金的其中使用所述镀浴的方法，所述镀浴包含‑铟离子源，‑酸，‑卤离子源，‑根据式(I)的表面活性剂，其中A选自支链或非支链的C10‑C15烷基；B选自氢和烷基；m是5至25范围内的整数；每个R彼此独立地选自氢和甲基；和‑根据式(II)的二羟基苯衍生物，其中每个X独立地选自氟、氯、溴、碘、烷氧基和硝基；n是1至4范围内的整数。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】含水的铟或铟合金镀浴以及用于沉积铟或铟合金的方法
本专利技术涉及含水的铟或铟合金镀浴以及用于沉积铟或铟合金的方法。利用所述浴和方法，可以获得非常平滑的铟或铟合金层。
技术介绍
由于独特的物理性质，铟在众多行业中都是非常理想的金属。例如，它足够柔软，使得其容易变形并填充两个配合部件之间的微结构，它具有低的熔化温度(156℃)和高的热导率。这些性质使得铟能够用于电子和相关行业中的多种用途。例如，铟可以用作热界面材料(TIM)。TIM对于保护电子器件如集成电路(IC)和有源半导体器件例如微处理器不超出其工作温度极限是至关重要的。它们能够使热产生装置(例如硅半导体)与散热片或散热器(例如铜和铝组件)粘结而不产生过多的热障。TIM还可用于构成整个热阻抗路径的散热片或散热器叠层结构的其它组件的组装。形成有效的热路径是TIM的重要特性。热路径可以根据通过TIM的有效热导率来描述。TIM的有效热导率主要是由于TIM之间的界面完整性和散热器热导率以及TIM的(固有)容积热导率。取决于具体应用，各种其它特性对于TIM也很重要，例如：连接两种材料时热膨胀应力的松弛能力(也称为“柔量”)、在热循环期间形成稳本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种含水的铟或铟合金镀浴，所述镀浴包含‑铟离子源，‑酸，‑卤离子源，‑根据式(I)的表面活性剂

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.01.29 EP 16153379.91.一种含水的铟或铟合金镀浴，所述镀浴包含-铟离子源，-酸，-卤离子源，-根据式(I)的表面活性剂其中A选自支链或非支链的C10-C15烷基；B选自氢和烷基；m是5至25范围内的整数；每个R彼此独立地选自氢和甲基；和-根据式(II)的二羟基苯衍生物其中每个X独立地选自氟、氯、溴、碘、烷氧基和硝基；n是1至4范围内的整数。2.根据权利要求1所述的含水的铟或铟合金镀浴，其中每个R选自氢和甲基，其中氢/甲基的比率为10/1至100/1。3.根据权利要求1所述的含水的铟或铟合金镀浴，其中R是氢。4.根据前述权利要求中的一项所述的含水的铟或铟合金镀浴，其中所述酸选自烷烃磺酸和硫酸中的一种或多种。5.根据前述权利要求中的一项所述的含水的铟或铟合金镀浴，其中所述表面活性剂的亲水-亲脂平衡值(HLB值，根据Griffin方法测定)的范围为13.0-18.0。6.根据前述权利要求中的一项所述的含水的铟或铟合金镀浴，其中所述二羟基苯衍生物是4-氯间苯二酚、5-甲氧基间苯二酚、氯对苯二酚、4-溴间苯二酚、2-硝基间苯二酚或4-氯邻苯二酚。7.根据前述权利要求中的一项所述的含水的铟或铟合金镀浴，所述镀浴的pH是-1至4。8.根据前述权利要求中的一项所述的含水的铟或铟合金镀浴，所述镀浴包含碱金属阳离子源和/或碱土金属阳离子源。9.一种用于沉积铟或铟合金的方法，所述方法包括以下步骤：i.提供具有至少一个表面的...

【专利技术属性】
技术研发人员：扬·斯普尔灵，斯特凡·皮珀，格里戈里·瓦热宁，莫罗·卡斯泰拉尼，安德烈亚斯·奇拉比斯，迪尔克·罗德，
申请(专利权)人：埃托特克德国有限公司，
类型：发明
国别省市：德国,DE