【技术实现步骤摘要】
一种使用铒镓掺杂材料密封圈的电子级磷酸生产系统
本专利技术属于环保设备制造
；具体涉及一种使用铒镓掺杂材料密封圈的电子级磷酸生产系统。
技术介绍
电子级磷酸是电子行业使用的一种高纯化学试剂，广泛应用于超大规模集成电路、大屏幕液晶显示器等微电子工业，主要用于芯片的湿法清洗和湿法蚀刻。近年来随着电子行业的快速发展，电子产品的种类和数量呈几何级数增长，电子级磷酸的市场需求量越来越大。CN103435021A公开了一种湿法磷酸生产装置及方法，所述装置包括酸解反应槽、旋流器、大结晶收集槽和固液分离装置；所述酸解反应槽为多格方截面反应槽，由反应槽1-6室组成，所述反应槽6室连接旋流器；所述旋流器的下段出口连接大结晶收集槽，所述旋流器的上段出口设有管道连接到酸解反应槽；所述大结晶收集槽出口连通到固液分离装置；所述固液分离装置的洗水排除管道连接到酸解反应槽。CN103011106A公开了一种食品级磷酸的生产装置，主要设置脱砷反应器、喷射泵、循环泵Ⅰ、板式过滤机、脱气塔、空气净化器、循环泵Ⅱ和成品罐；喷射泵、脱砷反应器、循环泵、板式过滤机、脱气塔、循环泵Ⅱ和成品罐依次连接；喷...
【技术保护点】
1.一种使用铒镓掺杂材料密封圈的电子级磷酸生产系统，包括原料净化系统、燃烧吸收系统和产品提纯系统；原料净化系统设备包括黄磷漂洗槽、空气洗涤塔和高位供磷槽；燃烧吸收系统设备包括螺旋管气化燃烧炉、主吸收塔、副吸收塔、文丘里管、电除雾器和引风机；产品提纯系统设备包括调酸槽、脱砷反应器、脱砷过滤机、脱硫塔、U型管结晶器、板框压滤机和产品调配槽；黄磷漂洗槽、高位供磷槽、螺旋管气化燃烧炉、主吸收塔、副吸收塔、调酸槽、脱砷反应器、脱砷过滤机、脱硫塔、U型管结晶器、板框压滤机和产品调配槽依次连接，其中螺旋管气化燃烧炉并与空气洗涤塔连接，副吸收塔另与文丘里管、电除雾器和引风机依次连接，其特征...
【技术特征摘要】
1.一种使用铒镓掺杂材料密封圈的电子级磷酸生产系统，包括原料净化系统、燃烧吸收系统和产品提纯系统；原料净化系统设备包括黄磷漂洗槽、空气洗涤塔和高位供磷槽；燃烧吸收系统设备包括螺旋管气化燃烧炉、主吸收塔、副吸收塔、文丘里管、电除雾器和引风机；产品提纯系统设备包括调酸槽、脱砷反应器、脱砷过滤机、脱硫塔、U型管结晶器、板框压滤机和产品调配槽；黄磷漂洗槽、高位供磷槽、螺旋管气化燃烧炉、主吸收塔、副吸收塔、调酸槽、脱砷反应器、脱砷过滤机、脱硫塔、U型管结晶器、板框压滤机和产品调配槽依次连接，其中螺旋管气化燃烧炉并与空气洗涤塔连接，副吸收塔另与文丘里管、电除雾器和引风机依次连接，其特征在于：所述螺旋管气化燃烧炉和所述空气洗涤塔的连接处采用铒镓掺杂材料密封圈进行密封。2.权利要求1所述的一种使用铒镓掺杂材料密封圈的电子级磷酸生产系统，其特征在于：所述铒镓掺杂材料密封圈按照如下方法进行制备：将甲基苯基硅树脂60-100份、硬脂酰胺丙基吡咯烷酮亚甲基二甲基氯化铵0.5-2份、云母粉20-35份、双(三甲基硅烷基)硒醚1-6份、二硼化钛纤维15-25份、海泡石纤维复合材料25-35份、苯乙烯/甲基苯乙烯/茚共聚物20-3...
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