【技术实现步骤摘要】
MEMS麦克风
本技术涉及电声转换领域，尤其涉及一种应用于移动电子设备的MEMS麦克风。
技术介绍
近年来移动通信技术已经得到快速发展，消费者越来越多地使用移动通信设备，例如便携式电话、能上网的便携式电话、个人数字助理或专用通信网络进行通信的其他设备，其中麦克风则是其中重要的部件之一，特别是MEMS麦克风。微机电系统(Micro-Electro-MechanicalSystem，MEMS)麦克风是一种利用微机械加工技术制作出来的电能换声器，其具有体积小、频响特性好、噪声低等特点。随着电子设备的小巧化、轻薄化发展，MEMS麦克风被越来越广泛地运用到这些设备上。相关技术的MEMS麦克风包括振膜和与所述振膜相对间隔设置的背板，为了防止两者粘合，相关技术的MEMS麦克风在所述背板上设置了位于所述振膜与所述背板之间的若干个防粘凸起，通过所述防粘凸起减小所述振膜与所述背板的粘附面积，降低粘附力，避免粘连现象。然而，由于工艺条件或成本的限制，所述防粘凸起自身的形貌尺寸很难做到很小，所述振膜与所述防粘凸起的接触面积并没有降低到可以忽略不计的程度，导致两者之间的粘黏力依旧较...
【技术保护点】
1.一种MEMS麦克风，包括具有背腔的基底以及设置在所述基底上的电容系统，所述电容系统包括背板以及与所述背板相对的振膜，所述背板与所述振膜间隔设置，所述背板的朝向所述振膜的一侧或所述振膜的朝向所述背板的一侧设有多个用于防止所述振膜振动时粘黏于所述背板的绝缘凸起，其特征在于，所述绝缘凸起包括与所述背板或所述振膜固定的固定端以及与所述固定端相对的接触端，所述接触端的中央部分较其周缘部分更靠近所述固定端。
【技术特征摘要】
1.一种MEMS麦克风，包括具有背腔的基底以及设置在所述基底上的电容系统，所述电容系统包括背板以及与所述背板相对的振膜，所述背板与所述振膜间隔设置，所述背板的朝向所述振膜的一侧或所述振膜的朝向所述背板的一侧设有多个用于防止所述振膜振动时粘黏于所述背板的绝缘凸起，其特征在于，所述绝缘凸起包括与所述背板或所述振膜固定的固定端以及与所述固定端相对的接触端，所述接触端的中央部分较其周缘部分更靠近所述固定端。2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述绝缘凸起的所述接触端设有向所述固...
【专利技术属性】
技术研发人员：柏杨，张睿，
申请(专利权)人：瑞声声学科技深圳有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44
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