液滴排出装置、液滴排出方法、程序和计算机存储介质制造方法及图纸

本发明专利技术涉及液滴排出装置、液滴排出方法、程序和计算机存储介质。在向工件排出功能液的液滴来进行描绘的液滴排出装置中，提高从液滴排出头向工件的液滴的着液精度。控制部(150)在使由液滴排出头(34)排出的液滴着液在形成于基准工件(Wf)的上表面的基准标记后，由第二拍摄部(42)获取基准工件(W)的拍摄图像，根据拍摄图像，检测基准标记的位置与液滴的着液位置的位置偏离量，根据位置偏离量，计算工作台(20)与液滴排出头(34)的相对位置的修正量。

Droplet discharge device, droplet discharge method, program and computer storage medium

The invention relates to a droplet discharging device, a droplet discharging method, a program and a computer storage medium. In a droplet discharge device for describing the droplets discharging the functional liquid to the workpiece, the dropping accuracy of the droplets from the droplet discharge head to the workpiece is improved. The control unit (150) acquires a photographic image of the reference workpiece (W) by the second photographic unit (42) after making the reference mark formed on the upper surface of the reference workpiece (Wf) by the droplet discharge head (34), detects the position deviation of the reference mark from the position of the droplet according to the photographic image, and detects the position deviation of the reference mark from the position of the droplet according to the position deviation. The correction of the relative position between the working table (20) and the droplet discharge head (34) is calculated.

【技术实现步骤摘要】
液滴排出装置、液滴排出方法、程序和计算机存储介质
本专利技术涉对工件排出功能液的液滴并进行描绘的液滴排出装置、使用该液滴排出装置的液滴排出方法、程序和计算机存储介质。
技术介绍
在现有技术中，作为使用功能液对工件进行描绘的装置，已知将该功能液以液滴来排出的喷射方式的液滴排出装置。液滴排出装置广泛应用在制造例如有机EL装置、滤色器、液晶显示装置、等离子显示器(PDP装置)、电子发射装置(FED装置、SED装置)等的电光装置(平板显示器：FPD)时等。例如专利文献1中记载的液滴排出装置包括：排出功能液的液滴的功能液滴排出头(液滴排出头)；搭载有工件的工作站(工作台)；和沿导向用的一对支承座延伸的方向(主扫描方向)使工作台移动的移动机构(直线电动机)。然后，利用工作台相对液滴排出头使工件相对地移动，并且从液滴排出头对在工件上预先形成的隔堤排出功能液，由此进行对工件的描绘。在这样的液滴排出装置中，为了在工件上的期望的位置正确地排出功能液，预先进行工件的校准。工作台构成为包含旋转动作并在水平方向上可移动，通过设置于工作台上方的校准用的照相机对工件的校准标记进行拍摄。然后，根据拍摄的图像来修正工作台的水平方向的位置，由此进行工件的校准。之后，使经校准的工件移动到预先指定的位置，从液滴排出头向工件的隔堤内排出功能液。另外，在液滴排出装置的描绘动作中，使工件在主扫描方向(Y轴正方向)移动，并进行第一描绘动作(往复路径)。之后，使工作台在与主扫描方向正交的副扫描方向(X轴方向)上移动，而且使工件在主扫描方向(Y轴负方向)上移动，并且进行第二描绘动作(回程路径)。然后，再次使工作台在副扫描方向(X轴方向)上移动，而且使工件在主扫描方向(Y轴正方向)上移动，并且进行第三描绘动作(往复路径)。通过这样的描绘动作，对工件的整个面进行描绘。此外，在以下的说明中，在如上所述进行第一描绘动作～第三描绘动作的时候，有时将使工作台在副扫描方向(X轴方向)上移动的动作称为“改行”。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2010－198028号公报
技术实现思路
专利技术想要解决的技术问题但是，在进行了工件的校准之后，在使工作站向功能液滴排出头移动的过程中，由于工件的姿态偏离或者工作站的移动机构的机械的精度或者直行性变化、温度变化、随时间变化等要因，存在功能液滴排出头与工件上的隔堤的位置关系发生变化的情况。另外，将工作台进行了改行时，由于该工作台的姿态、重心、直行性发生变化等要因，存在液滴排出头与隔堤的位置关系发生变化的情况。这样的工作台的姿态变化、重心的变化、直行性的变化，可以是由于例如改行时的移动机构的机械的精度或者移动工作台的台的非平坦性等而产生。然而，近年来，通过液滴排出装置制造的电视等的产品，大型、高清晰(例如4K、8K)的成为主流，与工件的大型化对应的液滴排出装置也大型化。因此，成为不能无视由上述的要因导致的液滴排出头与隔堤的位置偏离，即从液滴排出头排出的液滴着液在工件上的隔堤时的位置偏离的情况。但是，由于像素尺寸的影响，该位置偏离的允许范围也能够缩小在例如±2μm以下。因此，在如液滴排出装置那样有必要进行精密控制的台中，要求能够稳健地对应环境变化，并修正工作台与液滴排出头的相对位置的技术。但是，在现有技术中，在这样的精密台中，不能适当地修正上述的相对位置。本专利技术是鉴于上述问题而作成的，其目的在于在向工件排出功能液的液滴并进行描绘的液滴排出装置中，适当地修正工作台与液滴排出头的相对位置，使从该液滴排出头向工件去的液滴的着液精度提高。用于解决技术问题的技术方案为了达到所述的目的，本专利技术是一种向工件排出功能液的液滴来进行描绘的液滴排出装置，其特征在于，包括：载置所述工件的工作台；向载置于所述工作台的所述工件排出液滴的液滴排出头；移动机构，其使所述工作台和所述液滴排出头在主扫描方向、与主扫描方向正交的副扫描方向和旋转方向上相对地移动；拍摄部，其设置于主扫描方向的所述液滴排出头的下游侧，并获取所述工件的拍摄图像；和控制部，其计算所述工作台和所述液滴排出头的相对位置的修正量，根据该修正量来控制所述移动机构，所述工件在计算所述修正量使用，并且包含在上表面形成有多个基准标记的基准工件，所述控制部使由所述液滴排出头排出的液滴着液在所述基准标记后，由所述拍摄部获取所述基准工件的拍摄图像，根据所述拍摄图像，来检测所述基准标记的位置与所述液滴的着液位置的位置偏离量，根据所述位置偏离量来计算所述修正量。根据本专利技术，首先，在使从液滴排出头排出的液滴着液在基准标记之后，由拍摄部获取基准工件的拍摄图像。然后，基于拍摄图像，检测基准标记的位置与液滴的着液位置的位置偏离量，接着基于该位置偏离量，计算工作台与液滴排出头的相对位置的修正量。然后，基于如上所述计算出的修正量对移动机构进行控制。在上述情形中，即使由于液滴排出装置的各部件的温度变化或随时间变化等要因而产生工件的位置偏离，或者在将工作台改行时产生工件的位置偏离，基于计算出的修正量，也能够适当地修正工作台与液滴排出头的相对位置。因此，能够使液滴排出头与工件高精度地位置匹配，提高从该液滴排出头向工件去的液滴的排出精度(着液精度)。上述控制部可以计算上述工作台的旋转方向的位置和副扫描方向的位置的修正量，之后，计算上述液滴排出头的旋转方向的位置和副扫描方向的位置的修正量，之后，计算上述工作台的主扫描方向的位置的修正量，之后，计算上述液滴排出头的液滴排出时机的修正量。可以在上述基准工件的上表面形成有包含多上述基准标记并且将液滴着液在该基准标记的着液区域，上述着液区域配置成在副扫描方向上延伸，并且在主扫描方向上排列多个。上述控制部可以对每一条扫描线计算修正量，上述扫描线设定为在主扫描方向上延伸，并在副扫描方向上排列多个。多个上述扫描线可以具有计算出上述修正量的第一扫描线和不计算上述修正量的第二扫描线，上述控制部可以对上述第一扫描线的所述修正量进行插值，来计算上述第二扫描线的上述修正量。根据本专利技术的另一方面，提供一种使用液滴排出装置以向工件排出功能液的液滴来进行描绘的液滴排出方法，其特征在于：所述液滴排出装置包括：载置所述工件的工作台；向载置于所述工作台的所述工件排出液滴的液滴排出头；移动机构，其使所述工作台和所述液滴排出头在主扫描方向、与主扫描方向正交的副扫描方向和旋转方向上相对地移动；和拍摄部，其设置于主扫描方向的所述液滴排出头的下游侧，并获取所述工件的拍摄图像，所述工件包含在上表面形成有多个基准标记的基准工件，所述液滴排出方法包括：使由所述液滴排出头排出的液滴着液在所述基准标记的第一步骤；之后，由所述拍摄部获取所述基准工件的拍摄图像的第二步骤；之后，根据所述拍摄图像，检测所述基准标记的位置和所述液滴的着液位置的位置偏离量的第三步骤；和之后，根据所述位置偏离量，计算所述工作台与所述液滴排出头的相对位置的修正量，根据该修正量以控制所述移动机构的第四步骤。在上述第四步骤中，可以计算上述工作台的旋转方向的位置和副扫描方向的位置的修正量，之后，上述液滴排出头的旋转方向的位置和副扫描方向的位置的修正量，之后，计算上述工作台的主扫描方向的位置的修正量，之后，计算上述液滴排出头的液滴排出时机的修正量。在上述基准工件的上表面可以本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种液滴排出装置，其向工件排出功能液的液滴来进行描绘，所述液滴排出装置的特征在于，包括：载置所述工件的工作台；向载置于所述工作台的所述工件排出液滴的液滴排出头；移动机构，其使所述工作台和所述液滴排出头在主扫描方向、与主扫描方向正交的副扫描方向和旋转方向上相对地移动；拍摄部，其设置于主扫描方向的所述液滴排出头的下游侧，用于获取所述工件的拍摄图像；和控制部，其计算所述工作台和所述液滴排出头的相对位置的修正量，基于该修正量来控制所述移动机构，所述工件包括在计算所述修正量时使用的、在上表面形成有多个基准标记的基准工件，所述控制部使从所述液滴排出头排出的液滴着液在所述基准标记后，由所述拍摄部获取所述基准工件的拍摄图像，基于所述拍摄图像，来检测所述基准标记的位置与所述液滴的着液位置的位置偏离量，基于所述位置偏离量来计算所述修正量。

【技术特征摘要】
2017.03.07 JP 2017-0427541.一种液滴排出装置，其向工件排出功能液的液滴来进行描绘，所述液滴排出装置的特征在于，包括：载置所述工件的工作台；向载置于所述工作台的所述工件排出液滴的液滴排出头；移动机构，其使所述工作台和所述液滴排出头在主扫描方向、与主扫描方向正交的副扫描方向和旋转方向上相对地移动；拍摄部，其设置于主扫描方向的所述液滴排出头的下游侧，用于获取所述工件的拍摄图像；和控制部，其计算所述工作台和所述液滴排出头的相对位置的修正量，基于该修正量来控制所述移动机构，所述工件包括在计算所述修正量时使用的、在上表面形成有多个基准标记的基准工件，所述控制部使从所述液滴排出头排出的液滴着液在所述基准标记后，由所述拍摄部获取所述基准工件的拍摄图像，基于所述拍摄图像，来检测所述基准标记的位置与所述液滴的着液位置的位置偏离量，基于所述位置偏离量来计算所述修正量。2.如权利要求1所述的液滴排出装置，其特征在于：所述控制部计算所述工作台的旋转方向的位置和副扫描方向的位置的修正量，之后，计算所述液滴排出头的旋转方向的位置和副扫描方向的位置的修正量，之后，计算所述工作台的主扫描方向的位置的修正量，之后，计算所述液滴排出头的液滴排出时机的修正量。3.如权利要求1或2所述的液滴排出装置，其特征在于：在所述基准工件的上表面形成有包含多个所述基准标记并且供液滴向该基准标记着液的着液区域，所述着液区域配置成在副扫描方向上延伸，并在主扫描方向上排列多个。4.如权利要求1或2所述的液滴排出装置，其特征在于：所述控制部对每一条扫描线计算所述修正量，所述扫描线设定为在主扫描方向上延伸并在副扫描方向上排列多个。5.如权利要求4所述的液滴排出装置，其特征在于：多个所述扫描线包括计算出所述修正量的第一扫描线和未计算所述修正量的第二扫描线，所述控制部对所述第一扫描线的所述修正量进行插值，来计算所述第二扫描线的所述修正量。6.一种液滴排出方法，其使用液滴排出装置向工件排出功能液的...

【专利技术属性】
技术研发人员：宫崎一仁，柿野彰，吉富济，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP