一种剥离液再生装置及再生工艺制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种剥离液再生装置及再生工艺，涉及的装置结构包括沿剥离液废液提纯工艺剥离液流动方向依次设置的脱水精馏塔、薄膜蒸发器和脱色精馏塔，脱水精馏塔进料口端设置有依次相接的剥离液废液熔炼池和一级膜过滤池。本发明专利技术有助于提高剥离液整体再生效率和剥离液终产率，满足光刻胶剥离液废液的回收利用需求。

Stripping liquid regeneration device and regeneration process

The invention relates to a stripping liquid regeneration device and a regeneration process. The device structure includes a dewatering distillation tower, a film evaporator and a decolorizing rectification tower arranged sequentially along the flow direction of stripping liquid waste liquor in the stripping liquid purification process. The inlet of the dewatering rectification tower is provided with a smelting pool of stripping liquid waste liquor and a first-stage membrane passing through which the stripping liquid is successively connected Filter. The invention is helpful to improve the overall regeneration efficiency of the stripping liquid and the final yield of the stripping liquid, and meets the demand of the recycling and utilization of the waste liquid of the photoresist stripping liquid.

【技术实现步骤摘要】
一种剥离液再生装置及再生工艺
本专利技术涉及剥离液再生
，特别涉及一种剥离液再生装置及再生工艺。
技术介绍
国内电子制造产业发展迅速，使剥离液等电子化学品的使用量大幅度増加。液晶显示面板、半导体集成电路等电子元器件生产过程中，需要用剥离液将涂覆在微电路保护区域上作为掩膜的光刻胶除去，通常使用的剥离液是由有机胺与极性有机溶剂组成的混合物，并含有少量以水分为代表的轻组分。上述有机胺包括单乙醇胺（MEA）、二甲基乙酰胺（DMAC）、N-甲基甲酰胺（NMF）或N-甲基二乙醇胺（MDEA）等；极性有机溶剂包括二乙二醇甲醚（DGME）、二乙二醇单丁醚（DGBE）或二甲基亚砜（DMSO）等。使用剥离液对光刻胶进行去除时会产生大量剥离液废液，剥离液废液中除了含有少量高分子树脂（或PR胶）和水之外，大部分是有再利用价值的有机组分。通常清洗光刻胶需要大量的溶剂，而这些溶剂价格昂贵直接排放容易造成严重的环境污染，且提高了企业的经营成本。现有光刻胶去除工艺中，使用的主流剥离液组分包括70%的乙醇胺和30%的二甲基亚砜；剥离液在光刻胶清洗完成后即为剥离液废液，剥离液废液的组分包括水、光刻胶、乙醇胺和二甲本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种剥离液再生装置，其特征在于，结构包括：沿剥离液废液提纯工艺剥离液流动方向依次设置的脱水精馏塔（1）、薄膜蒸发器（2）和脱色精馏塔（3）；所述脱水精馏塔（1）进料口端设置有依次相接的剥离液废液熔炼池（12）和一级膜过滤池（14）；所述剥离液废液熔炼池（12）、一级膜过滤池（14）、脱水精馏塔（1）、薄膜蒸发器（2）及脱色精馏塔（3）沿剥离液废液流动方向依次连通；所述剥离液废液熔炼池（12）进料口端设置原料进料泵（11），一级膜过滤池（14）进料口端设置废液输送泵（13），脱水精馏塔（1）进料口端设置雾化泵（15）；所述雾化泵（15）与脱水精馏塔（1）之间设置预热器（16），预热器（16）...

【技术特征摘要】
1.一种剥离液再生装置，其特征在于，结构包括：沿剥离液废液提纯工艺剥离液流动方向依次设置的脱水精馏塔（1）、薄膜蒸发器（2）和脱色精馏塔（3）；所述脱水精馏塔（1）进料口端设置有依次相接的剥离液废液熔炼池（12）和一级膜过滤池（14）；所述剥离液废液熔炼池（12）、一级膜过滤池（14）、脱水精馏塔（1）、薄膜蒸发器（2）及脱色精馏塔（3）沿剥离液废液流动方向依次连通；所述剥离液废液熔炼池（12）进料口端设置原料进料泵（11），一级膜过滤池（14）进料口端设置废液输送泵（13），脱水精馏塔（1）进料口端设置雾化泵（15）；所述雾化泵（15）与脱水精馏塔（1）之间设置预热器（16），预热器（16）出口端通过分支管路分别连通至脱水精馏塔（1）和薄膜蒸发器（2）；所述脱水精馏塔（1）底部连接有脱水塔循环泵（18），脱水塔循环泵（18）出口端通过分支管路与脱水再沸器（17）连接，脱水再沸器（17）出口端连通至脱水精馏塔（1），脱水塔循环泵（18）出口端通过分支管路与预热器（16）连通；所述脱水精馏塔（1）顶部出口端连接脱水塔冷凝器（101），脱水塔冷凝器（101）外接一级去真空系统（104），脱水塔冷凝器（101）底部连接脱水塔回流罐（102），脱水塔回流罐（102）底部连接脱水塔回流泵（103），脱水塔回流泵（103）通过分支管路分别连接至脱水精馏塔（1）和一级工艺废水输出阀（105）；所述薄膜蒸发器（2）底部设置残渣中储罐（21），残渣中储罐（21）底部设置残渣出料泵（22），残渣出料泵（22）出口端设置残渣卸料阀（23）；所述脱色精馏塔（3）左下侧设置精馏塔再沸器（31），精馏塔再沸器（31）出口端连接至脱色精馏塔（3），脱色精馏塔（3）底端部设置精馏塔循环泵（32），精馏塔循环泵（32）出口端通过分支管路分别连接至薄膜蒸发器（2）和精馏塔再沸器（31）；所述精制塔冷凝器（33）外接二级去真空系统；所述在线混料器（4）外接乙醇胺添加泵（41）和二甲基亚砜添加泵（42）；所述在线混料器（4）出口端设置剥离液纯品输送泵（401）。2.根据权利要求1所述的剥离液再生装置，其特征在于，所述脱水再沸器为降膜式再沸器。3.根据权利要求1所述的剥离液再生装置，其特征在于，所述薄膜蒸发器（2）外接有剥离液纯品雾化泵（24），剥离液纯品雾化泵（24）外接剥离液纯品储存罐（2401）。4.根据权利要求1所述的剥离液再生装置，其特征在于，所述一级膜过滤池（14）内部集成有2组可独立控制的中空纤维膜组件（1400）。5.根据权利要求4所述的剥离液再生装置，其特征在于，所述中空纤维膜组件（1400）输出端设置有用于对中空纤维膜组件（1400）输出管路进行控制的电磁控制阀（1401）。6.根据权利要求1所述的剥离液再生装置，其特征在于，所述脱水塔冷凝器（101）与一级去真空系统（104）之间设置有气体过滤器（1010），气体过滤器（1010）内部装配有一级填料过滤层（1011）和二级填料过滤层（1012），一级填料过滤层（1011）和二级填料过滤层（1012）均采用外孔径为1.6mm、内孔径为1.3mm、长度为3mm的中空纤维膜丝堆积而成，一级填料过滤层（1011）和二级填料过滤层（1012）外层采用滤网包裹；所述一级填料过滤层（1011）和二级填料过滤层（1012）均通过软密封连接件与气体过滤器（1010）内侧壁软密封连接。7.一种剥离液再生工艺，其特征在于，包括以下步骤：步骤1）采...

【专利技术属性】
技术研发人员：周建，蔡雅棠，马晓明，申丹丹，王超，
申请(专利权)人：四川久远化工技术有限公司，
类型：发明
国别省市：四川,51