【技术实现步骤摘要】
一种具有冷凝功能的多晶硅生产制造用氯化氢合成炉
本技术涉及多晶硅生产设备
,具体为一种具有冷凝功能的多晶硅生产制造用氯化氢合成炉。
技术介绍
多晶硅是单质硅的一种形态。熔融的单质硅在过冷条件下凝固时,硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核,如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒,则这些晶粒结合起来,就结晶成多晶硅。现有的西门子法多晶硅制备方法需要使用到氯化氢合成炉,通过氯化氢合成炉进行氯化氢的合成,通过合成氯化氢方便进行多晶硅的制备,氯化氢的合成需要进行氯气和氢气的点燃,点燃会产生大量的反应热,过大的热量,会造成仪器设备的损坏,从而影响氯化氢的生产。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种具有冷凝功能的多晶硅生产制造用氯化氢合成炉,具备冷凝功能的优点,解决了现有氯化氢合成炉不能进行有效的散热容易造成合成炉损坏影响氯化氢生产的问题。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种具有冷凝功能的多晶硅生产制造用氯化氢合成炉,包括氯化氢合成炉,所述氯化氢合成炉包括合成炉体,所述合成炉体的外侧设有保护外壳,所述合成炉体的内部设有点燃合成内炉,所述保护外壳与点燃合成内炉之间形成有冷凝室, ...
【技术保护点】
1.一种具有冷凝功能的多晶硅生产制造用氯化氢合成炉,包括氯化氢合成炉(1),其特征在于:所述氯化氢合成炉(1)包括合成炉体(2),所述合成炉体(2)的外侧设有保护外壳(8),所述合成炉体(2)的内部设有点燃合成内炉(10),所述保护外壳(8)与点燃合成内炉(10)之间形成有冷凝室(9),所述冷凝室(9)的内部设有冷凝吸热水管(11),所述冷凝吸热水管(11)套接在点燃合成内炉(10)的外侧,所述冷凝吸热水管(11)的顶端连接有冷凝进水管(6),所述冷凝吸热水管(11)的底端连接有冷凝出水管(7),所述保护外壳(8)的内部开设有延伸开口,所述冷凝进水管(6)和冷凝出水管(7) ...
【技术特征摘要】
1.一种具有冷凝功能的多晶硅生产制造用氯化氢合成炉,包括氯化氢合成炉(1),其特征在于:所述氯化氢合成炉(1)包括合成炉体(2),所述合成炉体(2)的外侧设有保护外壳(8),所述合成炉体(2)的内部设有点燃合成内炉(10),所述保护外壳(8)与点燃合成内炉(10)之间形成有冷凝室(9),所述冷凝室(9)的内部设有冷凝吸热水管(11),所述冷凝吸热水管(11)套接在点燃合成内炉(10)的外侧,所述冷凝吸热水管(11)的顶端连接有冷凝进水管(6),所述冷凝吸热水管(11)的底端连接有冷凝出水管(7),所述保护外壳(8)的内部开设有延伸开口,所述冷凝进水管(6)和冷凝出水管(7)均通过延伸开口延伸至合成炉体(2)的外侧,所述冷凝进水管(6)的内部开设有进水口(15),所述冷凝吸热水管(11)的顶端固定连通有第二连接管(14),所述冷凝吸热水管(11)的顶端通过第二连接管(14)与冷凝进水管(6)进行连接,所述冷凝出水管(7)的内部开设有出水口(13),所述冷凝吸热水管(11)的底端固定连通有第一连接管(12),所述冷凝吸热水管(11)的底端通过第一连接管(12)与冷凝出水管(7)进行连接。2.根据权利要求1所述的一种具有冷凝功能的多晶硅生产制造用氯化氢合成炉,其特征在于:所述点燃合成内炉(10)的底部分别固定连通有氢气进气管(3)和氯气进气管(4),所述氢气进气管(3)和氯气进气管(4)的另一端均贯穿保护外壳(8)延伸至合成炉体(2)的外侧,所述氢气进气管(...
【专利技术属性】
技术研发人员:张靖,田晓军,姚兴平,李素琴,张何,严磊,
申请(专利权)人:江苏新潮光伏能源发展有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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