【技术实现步骤摘要】
一种氮化铬基硬质涂层的过渡层的制备方法
本专利技术属于涂层制备
,涉及一种氮化铬基硬质涂层的过渡层的制备方法,具体地说,涉及一种应用于钢制基底的氮化铬(CrN)基硬质涂层的过渡层的制备方法。
技术介绍
氮化铬(CrN)基硬质膜涂层具有较高的硬度,良好的耐磨性、高温稳定性和化学惰性,被广泛应用于机械加工保护涂层中。此类硬质膜尝尝因为与基体的脱离和剥裂从而影响应用性能,因此采用合适的过渡层材料和制备方法,加强涂层与基体的结合强度,是提高氮化铬(CrN)基硬质膜涂层应用性能和使用寿命的关键。过渡金属钛,重量轻、强度高,有良好的抗腐蚀能力(包括海水、王水及氯气)及稳定的化学性质,具有耐高温、耐低温、抗强酸、抗强碱,以及高强度、低密度等特性。采用Ti作为氮化铬(CrN)基硬质涂层的过渡层,在钢制基底上Ti与Fe相互扩散生长,形成中间界面产物FeTi,FeTi与钢制基底及Ti过渡层之间结合良好,能有效提高氮化铬(CrN)基硬质涂层与基底的结合强度,阻止涂层表面裂纹的生成和扩散。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服上述技术存在的缺陷,提供一种氮化铬基硬质涂层的过渡层的制备方法,该方法制备出的涂层能提高氮化铬(CrN)基硬质膜涂层应用性能和使用寿命。其具体技术方案为:一种氮化铬基硬质涂层的过渡层的制备方法,包括以下步骤:钢制基底用甲苯、丙酮和无水酒精各超声清洗10min并烘干后装入真空室。将磁控溅射真空室背底真空抽至9.0×10-4Pa后,通入高纯Ar气,Ar流量为20-60sccm,总气压保持在2.0-3.0Pa。开启Ti靶射频溅射电源,逐渐调大溅射电流,使Ti靶 ...
【技术保护点】
1.一种氮化铬基硬质涂层的过渡层的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:钢制基底用甲苯、丙酮和无水酒精各超声清洗10min并烘干后装入真空室;将磁控溅射真空室背底真空抽至9.0×10‑4Pa后,通入高纯Ar气,Ar流量为20‑60sccm,总气压保持在2.0‑3.0Pa;开启Ti靶射频溅射电源,逐渐调大溅射电流,使Ti靶起辉,将Ti靶的溅射功率调至为120‑200W,溅射电压为1100‑1500V,溅射电流为0.11‑0.13A,先进行预溅射,不打开靶材挡板对Ti靶表面进行轰击清洗10min,之后打开Ti靶挡板进行过渡层沉积,沉积时间60‑120min。
【技术特征摘要】
1.一种氮化铬基硬质涂层的过渡层的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:钢制基底用甲苯、丙酮和无水酒精各超声清洗10min并烘干后装入真空室;将磁控溅射真空室背底真空抽至9.0×10-4Pa后,通入高纯Ar气,Ar流量为20-60sccm,总气压保持在2.0-3.0Pa;开启Ti...
【专利技术属性】
技术研发人员:杨坤,李镇江,王博,王雪艳,刘云虎,孙茂珠,张吉东,
申请(专利权)人:石河子大学,
类型:发明
国别省市:新疆,65
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