楔形尖端纳米结构集成光纤表面等离子体共振生化传感器制造技术

本发明专利技术公开了一种楔形尖端纳米结构集成光纤表面等离子体共振生化传感器，属于光纤传感技术领域。本发明专利技术的技术方案要点为：传感器的主体为光纤纤芯直径为400‑600μm、数值孔径为0.24的阶跃折射率多模光纤，裸露的光纤纤芯端面通过研磨并抛光处理形成楔形斜面，该楔形斜面的倾斜角度为20°‑80°，楔形斜面上均匀溅射厚度为50nm的金膜，并且该楔形斜面上利用聚焦离子束刻蚀技术制备正六棱柱形金纳米孔阵列。本发明专利技术中的楔形端面纳米结构传感器易于集成化处理，具有便携性、多功能性、远程操控性及结构设计更加灵活多样性等特点，能够同时实现两种生化分子的实时检测，传感效果显著，具有更高的灵敏度和品质因数。

Integrated optical fiber surface plasmon resonance biosensor based on wedge tip nanostructure

The invention discloses a wedge-shaped tip nanostructure integrated optical fiber surface plasmon resonance biochemical sensor, which belongs to the technical field of optical fiber sensing. The main body of the sensor is a step-index multimode fiber with a diameter of 400_600 micron and a numerical aperture of 0.24. The bare end face of the fiber core is ground and polished to form a wedge-shaped inclined plane. The inclined angle of the wedge-shaped inclined plane is 20_80_and the splash thickness is uniform on the wedge-shaped inclined plane. The gold film with a degree of 50 nm was fabricated by focused ion beam etching on the wedge inclined plane. The wedge-shaped end-face nanostructured sensor in the invention is easy to be integrated, has the characteristics of portability, versatility, remote control and more flexible and diverse structure design, and can simultaneously realize the real-time detection of two biochemical molecules, with remarkable sensing effect, higher sensitivity and quality factor.

【技术实现步骤摘要】
楔形尖端纳米结构集成光纤表面等离子体共振生化传感器
本专利技术属于光纤传感
，具体涉及一种楔形尖端纳米结构集成光纤表面等离子体共振生化传感器。
技术介绍
目前研究者提出的基于金属纳米结构的等离子共振传感器多基于大型仪器设备，该类传感器的体积庞大、成本昂贵，不利于生化样品多功能化检测，难以实现传感检测的集成化及便携化；目前虽然有基于光纤结构的反射式局域等离子共振光纤探针，但多为平头设计，依旧难以实现光的斜入射，检测灵敏度相对较低，品质因数较小；而目前已出现的基于倾斜端面的金属微纳结构的等离子共振传感器不能满足生化样品的多功能检测，集成化程度相对较低。
技术实现思路
本专利技术解决的技术问题是提供了一种结构简单、设计合理且能够同时实时检测两种生化分子的楔形尖端纳米结构集成光纤表面等离子体共振生化传感器，该传感器是在光纤纤芯尖端表面具有一定倾斜角度（楔形）的等离子共振集成生化光纤传感器，这种传感器结构具有成本低、灵敏度高和多角度控制等特点；通过控制楔形尖端的角度能够有效控制传感器的灵敏度；采用溅射镀膜的方法在楔形斜面上均匀溅射一层厚度为50nm的金膜，之后采用聚焦离子束刻蚀技术在楔形结构本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.楔形尖端纳米结构集成光纤表面等离子体共振生化传感器，其特征在于：该传感器采用终端反射式传感结构，所述传感器的主体为光纤纤芯直径为400‑600μm、数值孔径为0.24的阶跃折射率多模光纤，裸露的光纤纤芯端面通过研磨并抛光处理形成楔形斜面，该楔形斜面的倾斜角度为20°‑80°，楔形斜面上均匀溅射厚度为50nm的金膜，并且该楔形斜面上利用聚焦离子束刻蚀技术制备正六棱柱形金纳米孔阵列，两个倾斜端面表面分别做不同的生化分子修饰，实现对两种不同生化分子的同时检测。

【技术特征摘要】
1.楔形尖端纳米结构集成光纤表面等离子体共振生化传感器，其特征在于：该传感器采用终端反射式传感结构，所述传感器的主体为光纤纤芯直径为400-600μm、数值孔径为0.24的阶跃折射率多模光纤，裸露的光纤纤芯端面通过研磨并抛光处理形成楔形斜面，该楔形斜面的倾斜角度为20°-80°，楔形斜面上均匀溅射厚度为50nm的金膜，并且该楔形斜面上利用聚焦离子束刻蚀技术制备正六棱柱形金纳米孔阵列，两个倾斜端面表面分别做不同的生化分子修饰，实现对两种不同生化分子的同时检测。2.根据权利要求1所述的楔形尖端纳米结构集成光纤表面等离子体共振生化传感器，其特征在于：所述光纤纤芯的外侧依次包覆有光纤包层和光纤涂覆层，其中光纤纤芯直径为400μm，光纤包层直径为430μm，光纤涂覆层直径为730μm。3.根据权利要求1所述的楔形尖端纳米结构集成光纤表面等离子体共振生化传感器，其特征在于：所述金纳米孔阵列的结构周期为700nm，该金纳米孔阵列横截面的外接圆直径为200nm。4.一种权利要求1-3中任意一项所述的楔形尖端纳米结构集成光纤表面等离子体共振生化传感器的制备方法，其特征在于具体步骤为：步骤S1：取一段长为60mm、光纤纤芯直...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘玉芳，李丽霞，宗雪阳，
申请(专利权)人：河南师范大学，
类型：发明
国别省市：河南,41