致动器制造技术

本发明专利技术提供一种致动器，其具备：包含将第一磁铁(21)和第二磁铁(22)在x方向上交替排列的第一排列部分(Lx)和将第一磁铁(21)和第二磁铁(22)在y方向上交替排列的第二排列部分(Ly)的磁铁结构体(20)和第一及第二配线(30、40)。第一配线(30)在y方向上横穿包含在第一排列部分(Lx)的第一及第二磁铁(21、22)，第二配线(40)在x方向上横穿包含在第二排列部分(Ly)的第一及第二磁铁(21、22)。根据本发明专利技术，由于具备上述的结构，从而通在第一及第二配线(30、40)流通电流，能够实现二维的动作。而且，由于第一及第二配线(30、40)是横穿磁铁的平面的配线，因此，能够实现低高度化。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】致动器
本专利技术涉及一种致动器，尤其是涉及一种可以二维动作的致动器。
技术介绍
作为使用电磁力的致动器，通常是能够在1轴方向上往复运动的致动器，但在专利文献1中记载有能够通过将磁铁排列成矩阵状而进行二维动作的致动器。专利文献1中记载的致动器对1个磁铁分配4个线圈，通过控制在这些线圈中流通的电流的方向来实现二维动作。现有技术文献专利文献专利文献1:日本特开平11－196560号公报非专利文献非专利文献1:薄膜钕磁铁的交替磁化和使用其的MEMS线性电动机的试作(精密工程杂志,Vol.79,No8,2013,p773-p778)
技术实现思路
专利技术所要解决的问题但是，由于专利文献1所记载的致动器对1个磁铁分配4个线圈，因此，存在难以小型化的问题。尤其是难以缩小相对于驱动平面垂直的厚度方向上的尺寸，不适宜如便携式设备那样要求低高度化的用途。作为可以低高度化的致动器，已知有非专利文献1记载的线性电动机。但是，非专利文献1记载的线性电动机仅在1轴方向上往复运动，不能进行二维动作。因此，本专利技术的目的在于，提供一种能够二维动作的低高度型的致动器。用于解决问题的技术方案本专利技术提供一种致动器，其特征在于，具备：磁铁结构体，其包含位于在第一方向及与所述第一方向正交的第二方向上延伸的第一平面的磁极面为N极的多个第一磁铁和位于所述第一平面的磁极面为S极的多个第二磁铁；第一配线，其设置在与所述第一平面平行的第二平面上；第二配线，其设置在与所述第一平面平行的第三平面上，所述磁铁结构体包含：将所述第一磁铁和所述第二磁铁在所述第一方向上交替排列的第一排列部分和将所述第一磁铁和所述第二磁铁在所述第二方向上交替排列的第二排列部分，所述第一配线在所述第二方向上横穿包含在所述第一排列部分的所述第一及第二磁铁的至少一部分，所述第二配线在所述第一方向上横穿包含在所述第二排列部分的所述第一及第二磁铁的至少一部分。根据本专利技术，能够通过在第一及第二配线流通的电流，实现二维动作。而且，由于第一及第二配线是横穿磁铁的平面的配线，因此，能够实现低高度化。在本专利技术中，优选如下构成，所述第一配线包含：在所述第二方向上横穿所述第一磁铁的第一配线部分和在所述第二方向横穿所述第二磁铁的第二配线部分，所述第二配线包含：在所述第一方向横穿所述第一磁铁的第三配线部分和在所述第一方向横穿所述第二磁铁的第四配线部分，在所述第一配线部分和所述第二配线部分流通相互相反方向的电流，在所述第三配线部分和所述第四配线部分流通相互相反方向的电流。据此，能够得到更大的驱动力。在本专利技术中，优选的是，所述多个第一磁铁和所述多个第二磁铁在所述第一及第二的方向上排列成矩阵状。据此，能够将第一排列部分和第二排列部分共通。在本专利技术中，所述第二平面和所述第三平面也可以相互重叠。据此，能够将致动器的平面尺寸小型化。或者，所述第二平面和所述第三平面也可以为同一平面。据此，能够使用单层的配线层。在本专利技术中，优选的是，所述第一配线在所述第二平面上形成为蜿蜒状，所述第二配线在所述第三平面上形成为蜿蜒状。据此，第一及第二配线能够横穿更多的磁铁，因此，能够得到大的驱动力。优选的是，本专利技术的致动器还具备设置在与所述第一平面平行的第四平面上的第三配线，所述第三配线包含俯视图中围绕所述第一磁铁周围的至少一部分的第五配线部分。据此，通过使电流在第一～第三配线流通，能够实现三维动作。这种情况下，优选如下构成，所述第三配线还包含俯视图中围绕所述第二磁铁周围的至少一部分的第六配线部分，在所述第五配线部分和所述第六配线部分流通向相互相反方向环绕的电流。据此，能够得到更大的驱动力。在本专利技术中，优选的是，在所述第一及第二方向上的所述第一及第二磁铁的大小优选为1mm以下，在与所述第一及第二方向正交的第三方向上的所述磁铁结构体的厚度优选为1mm以下。据此，能够提供非常小型且低高度型的致动器。优选的是，本专利技术的致动器还具备支撑所述磁铁结构体的支撑基板，所述支撑基板的热扩散率比所述磁铁结构体的热扩散率低。据此，容易制作小型且薄的磁铁结构体。优选的是，本专利技术的致动器还具备光学透镜和支撑所述第一及第二配线的电路基板，所述光学透镜固定于所述电路基板及所述磁铁结构体的任一方。据此，能够作为照相机抖动修正用的致动器使用。专利技术效果这样，根据本专利技术，能够提供一种可以二维动作的低高度型的致动器。附图说明图1是表示本专利技术第一实施方式的致动器10A的主要部分的结构的大致俯视图。图2是沿着图1所示的A－A线的大致剖视图。图3是第一配线30的俯视图。图4是第二配线40的俯视图。图5是用于说明在第一配线30流通的电流给予磁铁结构体20的影响的图。图6是用于说明在第二配线40流通的电流给予磁铁结构体20的影响的图。图7是用于说明磁铁结构体20的制造方法的工序图。图8是表示本专利技术的第二实施方式的致动器10B的主要部分的结构的大致俯视图。图9是沿着图8所示的B－B线的大致剖视图。图10是第三配线50的俯视图。图11是用于说明在第三配线50流通的电流给予磁铁结构体20的影响的图。图12是表示第三实施方式的致动器10C的主要部分的结构大致立体图。图13是表示使用构成支撑基板23的玻璃的一部分作为光学透镜70的例的示意图。具体实施方式以下，参照附图对本专利技术优选的实施方式详细地进行说明。＜第一实施方式＞图1是表示本专利技术的第一实施方式的致动器10A的主要部分的结构的大致俯视图。另外，图2是沿着图1所示的A－A线的大致剖视图。如图1及图2所示，本实施方式的致动器10A具备由在x方向及y方向上排列成矩阵状的多个第一及第二磁铁21、22构成的磁铁结构体20和相对于磁铁结构体20在z方向上重叠的第一配线30及第二配线40。磁铁结构体20设置在由玻璃等构成的支撑基板23上，磁极面位于在xy方向上延伸的第一平面S1。另外，考虑附图的观察容易度，在图1中未图示支撑基板23。构成磁铁结构体20的磁铁21、22中，第一磁铁21位于第一平面S1的磁极面为N极，相反，第二磁铁22位于第一平面S1的磁极面为S极。而且，这些第一磁铁21和第二磁铁22矩阵状排列成方格图案。即，在x方向延伸的各行构成将第一磁铁21和第二磁铁在x方向上交替排列的第一排列部分Lx，在y方向延伸的各列构成将第一磁铁21和第二磁铁在y方向上交替排列的第二排列部分Ly。如图2所示，在本实施方式中，邻接的第一磁铁21和第二磁铁22经由切缝SL分离，该切缝SL到达支撑基板23的表层。在本专利技术中，这样的切缝SL并非必须，但如后述，在磁铁结构体20的制造工序中，形成这样的切缝SL是有利的。另外，在未形成切缝SL的情况下，支撑基板23也不是必须的。第一配线30及第二配线40层叠在电路基板60上。电路基板60的主面构成与第一平面S1平行的第二平面S2，第一配线30形成于电路基板60的主面上、即第二平面S2。第一配线30由绝缘膜61覆盖。绝缘膜61的表面构成与第一平面S1平行的第三平面S3，第二配线40形成于绝缘膜61的表面上、即第三平面S3。第二配线40由绝缘膜62覆盖。这样，第一配线30和第二配线40以在z方向上相互重叠的方式层叠在电路基板60上。图3是表示抽出第一配线30的俯视图。在图3中，为了明确与磁铁结构体20的平面的位置关系，还表示了第本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种致动器，其特征在于，具备：磁铁结构体，其包含位于在第一方向及与所述第一方向正交的第二方向上延伸的第一平面的磁极面为N极的多个第一磁铁和位于所述第一平面的磁极面为S极的多个第二磁铁；第一配线，其设置在与所述第一平面平行的第二平面上；以及第二配线，其设置在与所述第一平面平行的第三平面上，所述磁铁结构体包含：将所述第一磁铁和所述第二磁铁在所述第一方向上交替排列的第一排列部分和将所述第一磁铁和所述第二磁铁在所述第二方向上交替排列的第二排列部分，所述第一配线在所述第二方向上横穿包含于所述第一排列部分的所述第一及第二磁铁的至少一部分，所述第二配线在所述第一方向上横穿包含于所述第二排列部分的所述第一及第二磁铁的至少一部分。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.01.22 JP 2016-0103221.一种致动器，其特征在于，具备：磁铁结构体，其包含位于在第一方向及与所述第一方向正交的第二方向上延伸的第一平面的磁极面为N极的多个第一磁铁和位于所述第一平面的磁极面为S极的多个第二磁铁；第一配线，其设置在与所述第一平面平行的第二平面上；以及第二配线，其设置在与所述第一平面平行的第三平面上，所述磁铁结构体包含：将所述第一磁铁和所述第二磁铁在所述第一方向上交替排列的第一排列部分和将所述第一磁铁和所述第二磁铁在所述第二方向上交替排列的第二排列部分，所述第一配线在所述第二方向上横穿包含于所述第一排列部分的所述第一及第二磁铁的至少一部分，所述第二配线在所述第一方向上横穿包含于所述第二排列部分的所述第一及第二磁铁的至少一部分。2.根据权利要求1所述的致动器，其特征在于，所述第一配线包含：在所述第二方向上横穿所述第一磁铁的第一配线部分和在所述第二方向上横穿所述第二磁铁的第二配线部分，所述第二配线包含在所述第一方向上横穿所述第一磁铁的第三配线部分和在所述第一方向上横穿所述第二磁铁的第四配线部分，在所述第一配线部分和所述第二配线部分流通相互相反方向的电流，在所述第三配线部分和所述第四配线部分流通相互相反方向的电流。3.根据权利要求1或2所述的致动器，其特征在于，所述多个第一磁铁和所述多个第二磁铁在所述第一及第二方向上排列成矩阵状。4.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：铃木健一，进士忠彦，藤原良元，
申请(专利权)人：TDK株式会社，国立大学法人东京工业大学，
类型：发明
国别省市：日本,JP