沉积金刚石涂层的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种沉积金刚石涂层的装置。本实用新型专利技术沉积金刚石涂层的装置包括真空腔室和设置在所述真空腔室内的样品台，所述样品台包括传动杆和若干夹具，每一所述夹具包括夹持部和与所述夹持部固定连接的连杆，在所述连杆上设有从动轮，所述传动杆驱动所述从动轮转动实现所述夹持部的旋转。当将待生长金刚石涂层的模具夹设在所述装置的夹具所含夹持部后，在所述传动杆驱动下，所述模具能够发生360度的旋转，从而能够方便控制所述模具特别是大尺寸复杂模具的转动，从而实现在所述模具表面形成生长均匀的金刚石涂层，特别是能够使得拉丝模具的微孔内表面上生长均匀的金刚石涂层，而且提高了金刚石涂层与模具结合强度。

Device for depositing diamond coating

The utility model discloses a device for depositing diamond coating. The device for depositing diamond coating of the utility model comprises a vacuum chamber and a sample table arranged in the vacuum chamber. The sample table comprises a driving rod and a number of clamps, each of which comprises a clamping part and a connecting rod fixed to the clamping part, on which a driven wheel is arranged, and the driving mechanism of the driving rod is provided. The rotation of the clamping part is realized by rotating the driving wheel. When the mold to be coated with diamond is clamped to the clamping part contained in the clamp of the device, the mold can rotate 360 degrees under the drive rod drive, thereby facilitating the control of the mold rotation, especially the rotation of the large-scale complex mold, thereby achieving the formation of uniformly grown diamond on the surface of the mold. The diamond coating, especially the diamond coating which can make the inner surface of the micro-hole of the drawing die grow uniformly, also improves the bonding strength between the diamond coating and the die.

【技术实现步骤摘要】
沉积金刚石涂层的装置
本技术属于超硬复合材料和设备
，具体涉及一种沉积金刚石涂层的装置。
技术介绍
随着高端制造业的发展，传统切削工具和机械元件无论是使用寿命，精度还是加工表面完整性等指标均难以满足精密高端制造业的要求。金刚石是已知物质中硬度最高的物质，不仅具有较低的摩擦系数和最高的弹性模量，而且还具有最高的热导率以及良好的化学稳定性，在精密高端制造领域极具前景。天然金刚石数量小，尺寸有限，且价格异常昂贵，不适合应用在制造领域，而高温高压制备人工金刚石复合片等制备成本高，工艺复杂，更重要的是其极难加工成为特定形状尺寸的机械件。这些都限制了金刚石在现代高端制造领域的应用发展。化学气相沉积技术如热丝辅助化学气相沉积技术是目前常用制备金刚石涂层方法。热丝化学气相沉积制备金刚石涂层的优势是其设备简单，成本低廉，其能够在特殊形状机械工件表面制备金刚石涂层，可以使得机械工件同时兼具基体和金刚石的特性。目前热丝气相沉积在复杂工件表面制备金刚石涂层所需要解决的问题主要存在二个：第一是由于金刚石的热膨胀系数与基体相差较大导致的涂层与基体结合力不好，制备的金刚石涂层在使用的过程会发生剥落而影响金刚本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种沉积金刚石涂层的装置，包括真空腔室和设置在所述真空腔室内的样品台，其特征在于：所述样品台包括传动杆和若干夹具，每一所述夹具包括夹持部和与所述夹持部固定连接的连杆，在所述连杆上设有从动轮，所述传动杆驱动所述从动轮转动实现所述夹持部的旋转。

【技术特征摘要】
1.一种沉积金刚石涂层的装置，包括真空腔室和设置在所述真空腔室内的样品台，其特征在于：所述样品台包括传动杆和若干夹具，每一所述夹具包括夹持部和与所述夹持部固定连接的连杆，在所述连杆上设有从动轮，所述传动杆驱动所述从动轮转动实现所述夹持部的旋转。2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：所述样品台还包括若干热交换器件，每一所述热交换器件具有两端开口的通管状腔体，每一所述夹具的所述夹持部设置在所述通管状腔体内。3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：所述样品台还包括若干热交换器件，每一所述热交换器件具有两端开口的通管状腔体，每一对所述夹具的所述夹持部设置在所述通管状腔体内，且一对所述夹持部是相对设置。4.根据权利要求2或3所述的装置，其特征在于：所述热交换器件为双层通管，所述夹持部设置在所述双层通管的管腔内，在所述双层通管的双层管壁之间填充有热量吸收剂，且若干所述热交换器件所含的所述热量...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐永炳，黄磊，王陶，杨扬，
申请(专利权)人：深圳先进技术研究院，
类型：新型
国别省市：广东,44