一种基于混合等离激元波导的场局域增强器件制造技术

本发明专利技术揭示了一种基于混合等离激元波导的场局域增强器件，该场局域增强器件包括三层结构，即第一层结构、第二层结构和第三层结构，第一层结构、第二层结构和第三层结构由内向外逐层构成一同轴圆锥形结构，三层结构分别为高折射率介质、低折射率介质和贵金属，当径向偏振光从圆锥底端垂直进入结构时，该结构能够有效地降低损耗，使得更多的光能向顶端传播，在顶端汇集并且在圆锥顶点有很强的电场增强效应，实现了更强的聚焦性能。此结构可应用于超高密度集成光路，对实现纳米光子器件设计及其集成、新型光源、通信光纤的加工、微纳传感探测等领域具有十分重要的应用。

【技术实现步骤摘要】
一种基于混合等离激元波导的场局域增强器件
本专利技术涉及一种基于混合等离波元波导的场局域增强器件，可用于纳米光子器件设计及其集成、新型光源、通信光纤的加工、微纳传感探测等

技术介绍
现代信息技术对于器件微型化和高度集成化的要求，要求单元器件的尺寸越来越小，器件的空间距离也越来越小，均要突破光学衍射极限，基于传统光学的基本原理和技术因受衍射极限的限制，在纳米尺度层面和结构上就难以实现与此相关的信息的传输、处理和相关技术应用等，不能满足科学技术发展的需要，因此迫切需要实现突破衍射极限的新机理和新技术。表面等离激元(SurfacePlasmonPolaritons)是指金属表面上的自由振荡电子与光子相互作用产生沿着金属-介质表面传播的横磁偏振态的衰逝场。利用表面等离激元(SPP)可得到在纳米尺度上电磁能量局域汇聚放大，其有限的空间尺度、场空间局域增强的特点，对在纳米光子器件设计及其集成、制作微纳尺度量级的光子器件有显著的应用。径向偏振光的轴对称分布特点，使得它具有许多线偏振光和圆偏振光不具备的特性。例如径向偏振光具有沿轴对称的电场分布以及中空的圆环型光束结构；径向偏振光在高数值孔本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于混合等离激元波导的场局域增强器件，其特征在于：该场局域增强器件包括三层结构，即第一层结构、第二层结构和第三层结构，所述第一层结构、第二层结构和第三层结构由内向外逐层构成一同轴圆锥形结构。

【技术特征摘要】
1.一种基于混合等离激元波导的场局域增强器件，其特征在于：该场局域增强器件包括三层结构，即第一层结构、第二层结构和第三层结构，所述第一层结构、第二层结构和第三层结构由内向外逐层构成一同轴圆锥形结构。2.根据权利要求1所述的一种基于混合等离激元波导的场局域增强器件，其特征在于：所述第一层结构为高折射率介质。3.根据权利要求2所述的一种基于混合等离激元波导的场局域增强器件，其特征在于：所述高折射率介质为Si或GaN，其中Si的折射率为3.455。4.根据权利要求1所述的一种基于混合等离激元波导的场局域增强器件，其特征在于：所述第二层结构为低折射率介质。5.根据权利要求4所述的一种基于混合等离激元波导的场局域增强器件，其特征在于：所述低折射率介质为SiO2或MgF2，其中SiO2的折射率为1.445。6.根据权利要求1所述的一种基于混合等离激元波导的场局域增强器件，其特征在于：所述第三层结构为贵金属。7.根据权利要求6所述的一种基于混合等离激元波导的场局域增强器件，其特征在于：所述贵金属为金或...

【专利技术属性】
技术研发人员：许吉，时楠楠，谭朝幻，陆昕怡，陆云清，谌静，刘宁，
申请(专利权)人：南京邮电大学，南京邮电大学南通研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32