一种无蜡抛光吸附垫粘贴装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种无蜡抛光吸附垫粘贴装置，包括两个相互平行的转轴，两个所述转轴之间转动连接传送带，第一支撑架上转动连接主动轴和从动轴，第二支撑架转动连接有滚轴，第三支撑架转动连接有粘贴滚压轴，所述主动轴和所述滚轴之间设有第一皮带，所述滚轴和所述转轴之间设有第二皮带，所述主动轴和所述从动轴之间设有间隙配合的粘贴模板，所述粘贴模板的一端设有多个圆周分布的凸起。本实用新型专利技术所述的一种无蜡抛光吸附垫粘贴装置，使得无蜡抛光吸附垫粘贴实现摆脱手动粘贴的困境，完全机械化的粘贴过程填充了目前没有可直接应用的空白，既省时省力，又可以实现粘贴过程无气泡产生，降低产品的不良率，降低生产成本。

Wax free polishing adsorption pad sticking device

The utility model provides a wax-free polishing adsorption pad sticking device, which comprises two mutually parallel rotating axles, two rotating connecting conveyor belts between the rotating axles, a driving axle and a driven axle rotated on the first support frame, a rolling axle rotated on the second support frame, and a sticking rolling axle rotated on the third support frame. A first belt is arranged between the driving shaft and the roller shaft, and a second belt is arranged between the roller shaft and the rotating shaft, and a pasting template is provided with a clearance fit between the driving shaft and the driven shaft, and one end of the pasting template is provided with a plurality of convexities with circumferential distribution. The utility model relates to a wax-free polishing and adsorbing pad sticking device, which makes the wax-free polishing and adsorbing pad sticking get rid of the predicament of manual sticking, and the completely mechanized sticking process fills up the blank space which can not be directly applied at present, thus saving time and labor, and realizing no bubble formation in the sticking process, and reducing the defective products. And reduce production costs.

【技术实现步骤摘要】
一种无蜡抛光吸附垫粘贴装置
本技术属于单面抛光加工领域，尤其是涉及一种无蜡抛光吸附垫粘贴装置。
技术介绍
无蜡抛光吸附垫是一种由多层树脂材料复合构成的圆形垫，其表面厚度差异在几微米以内，设计嵌有相同深度、尺寸的数个对称排布凹槽圆孔，可用水或研磨液等将硅晶体片、蓝宝石晶体片，以及其外延片等产品粘贴于圆孔内，在半导体晶片材料无蜡抛光时，先将无蜡抛光吸附垫粘贴于陶瓷盘上，然后承载晶片进行加工，由于无蜡抛光吸附垫表面有凹槽圆孔排布，不是平整表面，其中凹槽与平面处材料表面不同，粘贴过程中不能对凹槽处产生损伤，否则在抛光过程中会对抛光片的抛光良率产生影响，这就对粘贴方法要求较为严苛，而且要求粘贴过程不能产生气泡，否则对抛光加工影响很大，目前在抛光加工领域，没有能够直接用来粘贴无蜡抛光吸附垫的装置，实际生产操作时一般都是手动粘贴，但是手动粘贴存在很多问题，不仅费时、费力，贴一套盘对人员的双手伤害很大，而且粘贴过程也很难保证没有气泡，甚至粘贴不牢使得抛光过程存在翻车的隐患，这就严重影响到了抛光良率，针对此种情况，本技术提出了一种无蜡抛光吸附垫粘贴装置，使得无蜡抛光吸附垫粘贴实现摆脱手动粘贴的困境，完本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种无蜡抛光吸附垫粘贴装置，其特征在于：包括两个相互平行的转轴(17)，两个所述转轴(17)之间转动连接传送带(1)，所述传送带(1)两边设有对称的第一支撑架(2)，所述第一支撑架(2)上转动连接主动轴(4)和从动轴(3)，靠近所述第一支撑架(2)的一侧通过第二支撑架(12)转动连接有滚轴(6)，第三支撑架(7)转动连接有粘贴滚压轴(8)，所述滚轴(6)置于所述主动轴(4)和所述粘贴滚压轴(8)之间，所述主动轴(4)和所述滚轴(6)之间设有第一皮带(13)，所述滚轴(6)和其中一个所述转轴(17)之间设有第二皮带(10)，所述主动轴(4)和所述从动轴(3)之间设有间隙配合的粘贴模板(5)，...

【技术特征摘要】
1.一种无蜡抛光吸附垫粘贴装置，其特征在于：包括两个相互平行的转轴(17)，两个所述转轴(17)之间转动连接传送带(1)，所述传送带(1)两边设有对称的第一支撑架(2)，所述第一支撑架(2)上转动连接主动轴(4)和从动轴(3)，靠近所述第一支撑架(2)的一侧通过第二支撑架(12)转动连接有滚轴(6)，第三支撑架(7)转动连接有粘贴滚压轴(8)，所述滚轴(6)置于所述主动轴(4)和所述粘贴滚压轴(8)之间，所述主动轴(4)和所述滚轴(6)之间设有第一皮带(13)，所述滚轴(6)和其中一个所述转轴(17)之间设有第二皮带(10)，所述主动轴(4)和所述从动轴(3)之间设有间隙配合的粘贴模板(5)，所述粘贴模板(5)的一端设有多个圆形凸起(501)，无蜡抛光吸附垫上的凹槽与所述凸起(501)间隙配合置于所述粘贴模板(5)上。2.根据权利要求1所述的一种无蜡抛光吸附垫粘贴装置，其特征在于：所述转轴(17)的两侧为固定架(16)，中间的所述转轴(17)将两个所述固定架(16)连接，所述传送带(1)置于两个所述转轴(17)之间，同一侧的两个所述固定架(16)之间设有固定板(15)，所述第一支撑架(2)、所述第二支撑架(12)和所述第三支撑架(7)均固定在所述固定板(15)上。3.根据权利要求2所述的一种无蜡抛光吸附垫粘贴装置，其特征在于：所述粘贴模板(5)的厚度与所述无蜡抛光吸附垫的厚度相同，所述主动轴(4)和所述从动轴(3)之间的最小距离大于2倍的所述粘贴模板(5)厚度1-3mm。4.根据权利要求3所述的一种无蜡抛光吸附垫粘贴装置，其特征在于：所述主动轴(4)和所述从动轴(3)均通过轴承与所述第一支撑架(2)转动连接，所述滚轴(6)和所述粘贴滚压轴(8)同样通过所述轴承分...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵利芳，由佰玲，石明，王超，王广勇，刘九江，
申请(专利权)人：天津中环领先材料技术有限公司，
类型：新型
国别省市：天津,12