体声波谐振器制造技术

本发明专利技术提供一种体声波谐振器，所述体声波谐振器包括：基板；下电极连接构件，设置在所述基板上；谐振构件，包括设置在所述下电极连接构件上的下电极、设置在所述下电极上的压电层和设置在所述压电层上的上电极；以及上电极连接构件，将所述上电极和所述基板彼此电连接。所述上电极连接构件在所述谐振构件的外部从所述基板延伸并连接到所述上电极的顶表面。所述下电极连接构件将所述下电极和所述基板彼此电连接并具有与所述谐振构件的形状对应的环形形状，从而支撑所述谐振构件的边缘。

【技术实现步骤摘要】
体声波谐振器本申请要求分别于2017年2月14日和2017年5月23日在韩国知识产权局提交的第10-2017-0020159号和第10-2017-0063577号韩国专利申请的优先权和权益，所述韩国专利申请的全部公开内容出于所有目的通过引用包含于此。
下面的描述涉及一种体声波谐振器。
技术介绍
随着使用的带宽增大，当制造体声波谐振器和微机电系统(MEMS)元件时，除了小型化以外，通信公司持续地需要元件特性的高性能和稳定性。具体地，随着越来越多地使用整个带宽内的频带的类型，因此应当逐渐减小频带之间的带隙(bandgap)。另外，由于这种现象引起带内和带间间隙(interbandgap)变窄，因此出现针对防止干扰的需求。为了改善上述特性，存在改善插入损耗、显著减小带间干扰(interbandinterference)并抑制带内陷波(intrabandnotch)的发生的需求。
技术实现思路
提供本
技术实现思路
以按照简化的形式对选择的构思进行介绍，下面在具体实施方式中进一步描述所述构思。本
技术实现思路
既不意在限定所要求保护的主题的主要特征或必要特征，也不意在帮助确定所要求保护的主题的范围。在一个总体方面，一种体声波谐振器包括：基板；下电极连接构件，设置在所述基板上；谐振构件，包括设置在所述下电极连接构件上的下电极、设置在所述下电极上的压电层和设置在所述压电层上的上电极；以及上电极连接构件，将所述上电极和所述基板彼此电连接。所述上电极连接构件在所述谐振构件的外部从所述基板延伸并连接到所述上电极的顶表面。所述下电极连接构件可将所述下电极和所述基板彼此电连接，并可具有与所述谐振构件的形状对应的环形形状，从而支撑所述谐振构件的边缘。所述下电极连接构件可连接到所述下电极的底表面。所述上电极连接构件可包括：锚构件，设置在所述基板上；板构件，从所述锚构件延伸；以及连接部，设置在所述上电极的所述顶表面上并连接到所述板构件。所述连接部可设置在所述上电极的边缘的区域的部分上。所述连接部可设置在所述上电极的边缘的整个区域上。所述上电极可具有比所述压电层的尺寸小的尺寸。所述连接部可连接到所述上电极的边缘的区域的部分并具有与所述谐振构件的所述形状对应的环形形状。所述体声波谐振器还可包括：反射层，设置在所述基板的顶表面上，其中，所述下电极连接构件和所述上电极连接构件设置在所述反射层上。所述体声波谐振器还可包括覆盖腔的膜层。在另一总体方面，一种体声波谐振器包括：基板；下电极连接构件，设置在所述基板上；谐振构件，包括设置在所述下电极连接构件上的下电极、设置在所述下电极上的压电层和设置在所述压电层上的上电极；以及上电极连接构件，将所述上电极和所述基板彼此电连接。所述下电极连接构件将所述下电极和所述基板彼此电连接并在所述谐振构件和所述基板之间形成腔。所述下电极连接构件支撑所述谐振构件的中央部。所述上电极连接构件在所述谐振构件的外部从所述基板延伸并连接到所述上电极的顶表面。所述下电极连接构件可包括：基部，设置在所述基板上；以及支撑部，从所述基部延伸并连接到所述下电极的底表面。所述支撑部可设置在所述下电极的中央部上。所述上电极连接构件可连接到所述上电极的中央部。在另一总体方面，一种体声波谐振器包括：基板；下电极连接构件，设置在所述基板上；谐振构件，包括设置在所述下电极连接构件上的下电极、设置在所述下电极上的压电层和设置在所述压电层上的上电极；以及上电极连接构件，将所述上电极和所述基板彼此电连接。所述下电极连接构件将所述基板和所述下电极彼此电连接并支撑所述谐振构件的边缘的一部分。所述上电极连接构件与所述下电极连接构件分开并支撑所述谐振构件的所述边缘的另一部分。所述下电极连接构件和所述上电极连接构件在所述谐振构件和所述基板之间形成腔。所述上电极可包括连接到所述上电极连接构件的连接部。所述体声波谐振器还可包括形成为覆盖所述腔的膜层。在另一总体方面，一种体声波谐振器包括：基板；下电极连接构件，设置在所述基板上；第一谐振构件，设置在所述下电极连接构件上；谐振构件连接构件，连接到所述第一谐振构件；第二谐振构件，通过所述谐振构件连接构件连接到所述第一谐振构件并设置在所述第一谐振构件上，以及上电极连接构件，将所述基板和所述第二谐振构件彼此电连接。所述第一谐振构件的下电极可设置在第一膜层上。所述下电极连接构件可与所述第一膜层和所述基板一起形成第一腔。所述第二谐振构件的下电极可设置在第二膜层上。所述谐振构件连接构件可与所述第二膜层和所述第一谐振构件一起形成第二腔。通过以下具体实施方式、附图和权利要求，其他特征和方面将是显而易见的。附图说明图1是示出根据实施例的体声波谐振器的示意性构造图。图2是示出根据另一实施例的体声波谐振器的示意性构造图。图3是示出根据另一实施例的体声波谐振器的示意性构造图。图4是示出根据另一实施例的体声波谐振器的示意性构造图。图5是示出根据另一实施例的体声波谐振器的示意性构造图。图6是示出根据另一实施例的体声波谐振器的示意性构造图。图7是示出根据另一实施例的体声波谐振器的示意性构造图。图8是示出根据另一实施例的体声波谐振器的示意性构造图。图9是示出根据另一实施例的体声波谐振器的示意性构造图。图10是示出根据另一实施例的体声波谐振器的示意性构造图。图11是示出根据另一实施例的体声波谐振器的示意性构造图。图12是示出根据实施例的滤波器装置的示意性构造图。图13至图22是示出根据实施例的用于制造体声波谐振器的方法的步骤流程图。在所有的附图和具体实施方式中，相同的标号指示相同的元件。附图可不按照比例绘制，并且为了清楚、说明及方便起见，可夸大附图中元件的相对尺寸、比例和描绘。具体实施方式提供以下具体实施方式以帮助读者获得对这里所描述的方法、设备和/或系统的全面理解。然而，在理解本申请的公开内容之后，这里所描述的方法、设备和/或系统的各种改变、修改及等同物将是显而易见的。例如，这里所描述的操作的顺序仅仅是示例，其并不限于这里所阐述的顺序，而是除了必须以特定顺序发生的操作之外，可做出在理解本申请的公开内容之后将是显而易见的改变。此外，为了提高清楚性和简洁性，可省略本领域中已知的特征的描述。这里所描述的特征可以以不同的形式实施，并且不应被解释为局限于这里所描述的示例。更确切地说，已经提供了这里所描述的示例仅用于示出在理解本申请的公开内容之后将是显而易见的实现这里描述的方法、设备和/或系统的诸多可行方式中的一些方式。在整个说明书中，当元件(诸如，层、区域或基板)被描述为“在”另一元件“上”、“连接到”另一元件、“结合到”另一元件、“在”另一元件“之上”或“覆盖”另一元件时，其可直接“在”另一元件“上”、“连接到”另一元件、“结合到”另一元件、“在”另一元件“之上”或“覆盖”另一元件，或者可存在介于它们之间的一个或更多个其他元件。相比之下，当元件被描述为“直接在”另一元件“上”、“直接连接到”另一元件、“直接结合到”另一元件、“直接在”另一元件“之上”或“直接覆盖”另一元件时，可不存在介于它们之间的其他元件。如在此所使用的，术语“和/或”包括所列出的相关项中的任意一项和任意两项或更多项的任何组合。尽管可在这里使用诸如“第一”、“第二”和“第三”的术语来描述各个构件本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种体声波谐振器，包括：基板；下电极连接构件，设置在所述基板上；谐振构件，所述谐振构件包括：下电极，设置在所述下电极连接构件上；压电层，设置在所述下电极上；和上电极，设置在所述压电层上；以及上电极连接构件，将所述上电极和所述基板彼此电连接，其中，所述上电极连接构件在所述谐振构件的外部从所述基板延伸并连接到所述上电极的顶表面，并且其中，所述下电极连接构件将所述下电极和所述基板彼此电连接，并具有与所述谐振构件的形状对应的环形形状，从而支撑所述谐振构件的边缘。

【技术特征摘要】
2017.02.14 KR 10-2017-0020159;2017.05.23 KR 10-2011.一种体声波谐振器，包括：基板；下电极连接构件，设置在所述基板上；谐振构件，所述谐振构件包括：下电极，设置在所述下电极连接构件上；压电层，设置在所述下电极上；和上电极，设置在所述压电层上；以及上电极连接构件，将所述上电极和所述基板彼此电连接，其中，所述上电极连接构件在所述谐振构件的外部从所述基板延伸并连接到所述上电极的顶表面，并且其中，所述下电极连接构件将所述下电极和所述基板彼此电连接，并具有与所述谐振构件的形状对应的环形形状，从而支撑所述谐振构件的边缘。2.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其中，所述下电极连接构件连接到所述下电极的底表面。3.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其中，所述上电极连接构件包括：锚构件，设置在所述基板上；板构件，从所述锚构件延伸；以及连接部，设置在所述上电极的所述顶表面上并连接到所述板构件。4.根据权利要求3所述的体声波谐振器，其中，所述连接部设置在所述上电极的边缘的区域的部分上。5.根据权利要求3所述的体声波谐振器，其中，所述连接部设置在所述上电极的边缘的整个区域上。6.根据权利要求3所述的体声波谐振器，其中，所述上电极具有比所述压电层的尺寸小的尺寸，并且所述连接部连接到所述上电极的边缘的区域的部分并具有与所述谐振构件的所述形状对应的环形形状。7.根据权利要求1所述的体声波谐振器，所述体声波谐振器还包括：反射层，设置在所述基板的顶表面上，其中，所述下电极连接构件和所述上电极连接构件设置在所述反射层上。8.根据权利要求1所述的体声波谐振器，所述体声波谐振器还包括覆盖腔的膜层。9.一种体声波谐振器，包括：基板；下电极连接构件，设置在所述基板上；谐振构件，所述谐振构件包括：下电极，设置在所述下电极连接构件上；压电层，设置在所述下电极上；和上电极，设置在所述压电层上；以及上电极连接构件，将所述上电极和所述基板彼此电连接，其中，所述下电极连接构件将所述下电极和所述基板...

【专利技术属性】
技术研发人员：李泰勋，丁大勋，林昶贤，金泰润，李文喆，
申请(专利权)人：三星电机株式会社，
类型：发明
国别省市：韩国,KR