The present invention provides a substrate conveying system which supports the substrate through a guiding device and conveys the substrate through a conveying device, thereby enabling transmission of the substrate; furthermore, there is a gap between the guiding device and the substrate, thereby greatly reducing the transmission process of the substrate. And even avoiding friction between the guiding device and the substrate; furthermore, the conveying device fixes the substrate by adsorption, thereby also avoiding friction between the conveying device and the substrate, thereby enabling friction to be minimal or even Non-frictional throughout the transmission of the substrate, Thus, the particle generation in the process of substrate transmission is greatly reduced or even avoided, and the reliability of substrate transmission is improved.
【技术实现步骤摘要】
基板传送系统
本专利技术涉及显示器制造设备
，特别涉及一种基板传送系统。
技术介绍
平板显示器(FlatPanelDisplay，FPD)本身就是一块平板，没有CRT(CathodeRayTube)显示器中的电子束管，从而能够做得非常薄，是一种比较理想的显示器。平板显示器包括等离子体显示器(PDP)、液晶显示器(LCD)、有机电致显示器(OLED)等。在现有的平板显示器在制作过程中，一般需要利用基板传送系统传送平板显示器中所使用的基板，以进行不同制程之间的转换，从而在所述基板上形成不同的功能器件。现有的基板传送系统一般采用滚轮传送系统，如图1所示，所述滚轮传送系统1主要包括传动轴10及套设固定在所述传动轴10上的多个滚轮11。基板2平放于由多个所述滚轮11构成的水平面上，当传动轴10转动时，带动多个所述滚轮11转动，随着多个所述滚轮11的转动又带动所述基板2运动，从而实现对所述基板2的传送。这种滚轮传送系统属于滚轮与基板接触的方式，由于受滚轮洁净度和震动的影响，基板会持续污染和震动，影响基板洁净度并且加大了破片和裂纹产生的风险。此外，由于滚轮间距的问题，对应...
【技术保护点】
1.一种基板传送系统，所述基板传送系统用于传送一基板，其特征在于，所述基板传送系统包括：导向装置，所述导向装置用于支撑所述基板且所述导向装置与所述基板之间存在间隙；传送装置，所述传送装置用于传送所述基板，所述传送装置通过吸附的方式固定所述基板并进行传送。
【技术特征摘要】
1.一种基板传送系统，所述基板传送系统用于传送一基板，其特征在于，所述基板传送系统包括：导向装置，所述导向装置用于支撑所述基板且所述导向装置与所述基板之间存在间隙；传送装置，所述传送装置用于传送所述基板，所述传送装置通过吸附的方式固定所述基板并进行传送。2.如权利要求1所述的基板传送系统，其特征在于，所述导向装置包括至少一个导板，每个所述导板上至少设置有一个开口，所述开口中能够喷出气体。3.如权利要求2所述的基板传送系统，其特征在于，所述导向装置还包括调节阀，所述调节阀能够调节每个开口中喷出的气体量。4.如权利要求3所述的基板传送系统，其特征在于，所述调节阀能够调节每个开口的大小以调节每个开口中喷出的气体量。5.如权利要求3所述的基板传送系统，其特征在于，所述导向装置还包括至少一个进气管，每个所述导板中至少设置有一个所述进气管，所述进气管向所述开口提供气体。6.如权利要求5所述的基板传送系统，其特征在于，所述调节阀能够调节所述进气管的气体供应...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴凡，王洪亚，
申请(专利权)人：昆山国显光电有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32
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